本申请提供了修补装置及其制备方法、修补方法。其中修补装置包括修补件及支撑架。修补件包括修补基板、修补部及连接部；支撑架，包括支撑框与多个支撑柱，多个支撑柱围设形成缓冲空间，修补部与至少部分连接部设于缓冲空间内，支撑框设有连通缓冲空间的避让空间，避让空间的面积小于修补部背离修补基板一侧表面的面积，且连接部可通过避让空间与待修补基板上的待连接部连接。在修补过程中，当修补部从修补基板上进行分离时，由于修补部与至少部分连接部可设于缓冲空间内，使得修补部从修补基板上分离后，不会直接掉落至待修补基板上，而是会先落至支撑框上，从而避免待修补基板与修补部损坏，提高了待修补基板与修补部的使用寿命。命。命。
【技术实现步骤摘要】
修补装置及其制备方法、修补方法
[0001]本申请属于机械修补
，具体涉及修补装置及其制备方法、修补方法。
技术介绍
[0002]在机械修补的过程中，通常需要将修补件上的修补部转移至待修补基板上。例如，在修补微型元件时，为了不干涉待修补基板上完好的部件，通常要求修补部与待修补基板之间保留一定的距离。因此，通常使用非接触式的转移方法以进行修补。但是，在非接触式转移的过程中，修补部容易直接掉落至待修补基板上，导致待修补基板与修补部易损坏。
技术实现思路
[0003]鉴于此，本申请第一方面提供了一种修补装置，包括修补件及支撑架，修补件包括修补基板、修补部及连接部，所述修补部设于所述修补基板的一侧，所述连接部设于所述修补部背离所述修补基板的一侧；支撑架，包括支撑框与多个支撑柱，所述支撑柱的两端分别连接所述修补基板与所述支撑框，所述多个支撑柱围设形成缓冲空间，所述修补部与至少部分所述连接部设于所述缓冲空间内，所述支撑框设有连通所述缓冲空间的避让空间，所述避让空间的面积小于所述修补部背离所述修补基板一侧表面的面积，且所述连接部可通过所述避让空间与待修补基板上的待连接部连接。
[0004]本申请第一方面提供的修补装置，通过增设由支撑框和支撑柱构成的支撑架，并使多个支撑柱围设形成缓冲空间，修补部与至少部分连接部可设于缓冲空间内。这样在修补的过程中，由于通常需要先翻转修补装置，使修补部与待修补基板上的待连接部面对面设置。随后便需将修补部从修补基板上进行分离，此时由于修补部与至少部分连接部可设于缓冲空间内，即支撑框的径向尺寸要比修补部小一些，从而使支撑框可抵接支撑修补部，故修补部从修补基板上分离后，不会直接掉落至待修补基板上，而是会先落至支撑框上，随后便可通过继续移动修补装置，使修补部与待连接部连接。本申请正是通过增设支撑架，使修补部从修补基板上分离后，不会直接掉落至待修补基板上，而是利用支撑框抵接支撑修补部，从而避免待修补基板与修补部损坏，提高了待修补基板与修补部的使用寿命。
[0005]另外，本申请的支撑框还设有连通所述缓冲空间的避让空间，避让空间的面积小于修补部背离修补基板一侧表面的面积，连接部可通过避让空间与待修补基板上的待连接部连接。即支撑框的形状为环形，环形围设形成避让空间，故连接部可通过环形中间的区域即避让空间来与待连接部进行连接，使支撑架的增设不会影响其正常连接，保证修补的顺利进行。
[0006]其中，所述修补基板靠近所述支撑框一侧的表面至所述支撑框靠近所述修补基板一侧的表面的高度不小于所述修补基板靠近所述连接部一侧的表面至所述连接部靠近所述修补基板一侧的表面的高度。
[0007]其中，所述修补基板包括对应所述修补部的收容部，所述收容部具有弹性，当所述修补部受到朝向所述修补基板方向的外力，且所述修补件抵接所述修补基板时，所述修补
部、所述连接部及所述支撑架可朝向靠近所述收容部的方向移动，并使所述收容部压缩。其中，所述修补基板包括对应所述修补部的收容部，所述收容部包括相连接的第一部分与第二部分，所述第一部分相较于所述第二部分靠近所述修补部，所述第二部分设有避让槽；所述第一部分用于支撑所述修补部，所述第一部分还用于当所述修补部受到朝向所述修补基板方向的外力，所述外力大于预设力、且所述修补部抵接所述第一部分时，使所述修补部、所述连接部及所述支撑架设于所述避让槽内。
[0008]其中，所述预设力包括所述第一部分的断裂应力；或者所述第一部分包括间隔设置的多个弹性部，所述多个弹性部对应所述第二部分的周缘设置，且每个所述弹性部朝向其余的所述弹性部延伸设置，所述预设力包括可使所述弹性部发生弹性变形的弹性力。其中，所述多个支撑柱具有柔性。
[0009]其中，所述修补部背离所述修补基板一侧的表面具有多个侧边，所述支撑框在所述修补部上的正投影覆盖相邻的两个所述侧边夹设的区域。
[0010]其中，所述支撑框上设有断裂槽。
[0011]本申请第二方面提供了一种修补装置的制备方法，包括：
[0012]提供修补件，所述修补件包括修补基板、修补部及连接部，所述修补部设于所述修补基板上，所述连接部设于所述修补部背离所述修补基板的一侧；
[0013]形成覆盖所述修补基板及所述修补部的光刻层；
[0014]形成贯穿所述光刻层的多个支撑柱，所述多个支撑柱连接所述修补基板，所述多个支撑柱围设形成缓冲空间，所述修补部与至少部分所述连接部设于所述缓冲空间内；
[0015]形成贯穿部分所述光刻层的支撑框，所述支撑框连接所述支撑柱，所述支撑框设有连通所述缓冲空间的避让空间，所述避让空间的面积小于所述修补部背离所述修补基板一侧表面的面积，且所述连接部可通过所述避让空间与待修补基板上的待连接部连接；
[0016]去除所述光刻层。
[0017]本申请第二方面提供的制备方法，工艺简单，通过先形成覆盖修补基板以及修补部的光刻层，随后便可在光刻层上制备出支撑柱与支撑框，最后只需去除光刻层便可得到所需的修补装置。通过增设支撑架可使修补部从修补基板上分离后，不会直接掉落至待修补基板上，而是利用支撑框抵接支撑修补部，从而避免待修补基板与修补部损坏，提高了待修补基板与修补部的使用寿命。
[0018]本申请第三方面提供了一种修补方法，包括：
[0019]提供如本申请第一方面提供的修补装置；
[0020]提供待修补件，包括所述待修补基板、及依次层叠设置的待连接部及待修补部，所述待修补部围设形成待修补区，位于所述待修补区内的所述待连接部露出；
[0021]翻转所述修补装置，以使所述连接部与所述待连接部面对面设置，且所述连接部正对应所述待连接部；
[0022]分离所述修补部与所述修补基板，以使所述修补部抵接于所述支撑框上；
[0023]移动所述修补装置，使所述连接部朝向靠近所述待修补基板的方向移动，并使所述连接部连接位于所述待修补区内的所述待连接部；
[0024]移除剩余的所述修补装置。
[0025]本申请第三方面提供的修补方法，通过采用本申请提供的修补装置，在修补件靠
近修补部一侧的表面增设由支撑框和支撑柱构成的支撑架，可使修补部从修补基板上分离后，不会直接掉落至待修补基板上，而是利用支撑框抵接支撑修补部，从而避免待修补基板与修补部损坏，提高了待修补基板与修补部的使用寿命。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施方式中的技术方案，下面将对本申请实施方式中所需要使用的附图进行说明。
[0027]图1为本申请一实施方式中修补装置的的俯视图。
[0028]图2为图1的侧视图。
[0029]图3为本申请一实施方式中修补装置翻转且修补部与支撑框抵接时的侧视图。
[0030]图4为本申请一实施方式中修补装置翻转且连接部与待连接部连接时的侧视图。
[0031]图5为本申请一实施方式中移除修补装置时的侧视图。
[0032]图6为本申请另一实施方式中修补装置的俯本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种修补装置，其特征在于，包括：修补件，包括修补基板、修补部及连接部，所述修补部设于所述修补基板的一侧，所述连接部设于所述修补部背离所述修补基板的一侧；支撑架，包括支撑框与多个支撑柱，所述支撑柱的两端分别连接所述修补基板与所述支撑框，所述多个支撑柱围设形成缓冲空间，所述修补部与至少部分所述连接部设于所述缓冲空间内，所述支撑框设有连通所述缓冲空间的避让空间，所述避让空间的面积小于所述修补部背离所述修补基板一侧表面的面积，且所述连接部可通过所述避让空间与待修补基板上的待连接部连接。2.如权利要求1所述的修补装置，其特征在于，所述修补基板靠近所述支撑框一侧的表面至所述支撑框靠近所述修补基板一侧的表面的高度不小于所述修补基板靠近所述连接部一侧的表面至所述连接部靠近所述修补基板一侧的表面的高度。3.如权利要求1所述的修补装置，其特征在于，所述修补基板包括对应所述修补部的收容部，所述收容部具有弹性，当所述修补部受到朝向所述修补基板方向的外力，且所述修补件抵接所述修补基板时，所述修补部、所述连接部及所述支撑架可朝向靠近所述收容部的方向移动，并使所述收容部压缩。4.如权利要求1所述的修补装置，其特征在于，所述修补基板包括对应所述修补部的收容部，所述收容部包括相连接的第一部分与第二部分，所述第一部分相较于所述第二部分靠近所述修补部，所述第二部分设有避让槽；所述第一部分用于支撑所述修补部，所述第一部分还用于当所述修补部受到朝向所述修补基板方向的外力，所述外力大于预设力、且所述修补部抵接所述第一部分时，使所述修补部、所述连接部及所述支撑架设于所述避让槽内。5.如权利要求4所述的修补装置，其特征在于，所述预设力包括所述第一部分的断裂应力；或者所述第一部分包括间隔设置的多个弹性部，所述多个弹性部对应所述第二部分的周缘设置，且每个所述弹性部朝向其余的所述弹...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾强，洪温振，蔡明达，李勋，李欣曈，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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