【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子束控制，尤其涉及电子束控制方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、真空蒸镀机在高真空下，电子枪灯丝加热后发射热电子，被加速阳极加速，获得很大的动能轰击到的蒸发材料上，把动能转化成热使蒸发材料加热气化，形成一层高纯高精的薄膜，而实现电子束蒸发镀膜。
2、目前，在真空蒸镀的过程中，需要通过视窗口目视观察坩埚内电子束的运行情况，并根据实际情况进行手动调节电子束光斑的位置和扫描范围。电子束加热蒸发材料时会释放出强光和弱x射线，这种x射线将损伤眼睛。大多数x射线被真空室内壁吸收，但有部分很容易通过普通玻璃做的观察窗辐射出来。因此，长时间通过视窗口观察易引起充血、视力低下、疲劳等症状。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供电子束控制方法、装置、设备及介质，以提高坩埚内电子束光斑等的监控安全性。
2、一种电子束控制方法，包括：
3、获取坩埚内靶材释放红外线产生的整体温度分布图；
4、对所述整体温度分布图进行识别，...
【技术保护点】
1.一种电子束控制方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的电子束控制方法，其特征在于，所述获取坩埚内靶材释放红外线产生的整体温度分布图，包括：
3.如权利要求2所述的电子束控制方法，其特征在于，将各所述局部温度分布图进行拼接，生成所述整体温度分布图，包括：
4.如权利要求3所述的电子束控制方法，其特征在于，获取坩埚内靶材释放红外线产生的局部温度分布图后，所述方法还包括：
5.如权利要求4所述的电子束控制方法，其特征在于，所述液位高度H2满足以下条件：
6.一种电子束控制装置，其特征在于，包括蒸镀腔，所
【技术特征摘要】
1.一种电子束控制方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的电子束控制方法，其特征在于，所述获取坩埚内靶材释放红外线产生的整体温度分布图，包括：
3.如权利要求2所述的电子束控制方法，其特征在于，将各所述局部温度分布图进行拼接，生成所述整体温度分布图，包括：
4.如权利要求3所述的电子束控制方法，其特征在于，获取坩埚内靶材释放红外线产生的局部温度分布图后，所述方法还包括：
5.如权利要求4所述的电子束控制方法，其特征在于，所述液位高度h2满足以下条件：
<...【专利技术属性】
技术研发人员：王河新，王怀超，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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