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本发明涉及一种电子束控制方法、装置、设备及介质，其中，电子束控制方法包括：获取坩埚内靶材释放红外线产生的整体温度分布图；对整体温度分布图进行识别，确定整体温度分布图中电子束光斑在坩埚内的当前位置；将当前位置与电子束光斑在坩埚内的预设位置进行...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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