蒸镀系统和真空蒸镀设备技术方案

本发明专利技术公开了一种蒸镀系统和真空蒸镀设备，包括：蒸发槽，其内设置蒸发器皿，用于产生金属蒸汽；加热组件，用于加热蒸发器皿；以及输气管，输气管可在蒸发器皿形成的蒸发路径中往复摆动。本发明专利技术设置可往复摆动的输气管路结构，使得输出气流相对均匀的分布在金属蒸汽的路径上，提升均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空蒸镀设备，尤其涉及一种蒸镀系统和真空蒸镀设备。

技术介绍

1、真空蒸镀简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。

2、在铝复合集流体加工过程中，一般会用到蒸镀设备，其主体结构包括蒸发槽，在其内部设置坩埚或蒸发舟，通过感应加热或电阻加热的方式，使得蒸发器皿上的铝液蒸发，并冷却沉积在薄膜表面。现有技术中，为增加铝晶体的附着力，往往会在薄膜上形成打底层。其中，氧化铝为常用的打底层，其通过传统蒸镀的方式，是通过在送丝过程中通过氧气(cn112048700a)，使得蒸发后的铝蒸汽直接反应形成氧化铝，沉积在薄膜表面，上述结构一般是在蒸发的气体路径上设置输气管，输气管气孔朝向铝蒸汽氛围中输出。

3、上述结构的蒸发槽，存在两个问题，由于输出位置固定，因此蒸发路径中氧气浓度不同，影响均匀性；另一个是，输气管固定安装，长期处于铝蒸汽氛围中(或附近)，容易积铝、也容易堵塞损坏，积铝后铝渣还存在掉落风险，蒸镀时容易污染靶材。

4、因此需要进一步改善本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸镀系统，包括：

2.如权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于：输气管设置在蒸发器皿和待蒸镀材料间，且输气管长度方向沿横向或纵向设置。

3.如权利要求2所述的蒸镀系统，其特征在于：输气管设置为多组，独立进行往复运动。

4.如权利要求2或3所述的蒸镀系统，其特征在于：输气管轴向上设置若干气孔，气孔对应分布在输气管往复移动方向的两侧。

5.如权利要求4所述的蒸镀系统，其特征在于：气孔朝向基膜方向向上倾斜，其倾斜角度α为0-90°。

6.如权利要求5所述的蒸镀系统，其特征在于：设置在输气管两侧的气孔错位设置。

7.如...

【技术特征摘要】

1.一种蒸镀系统，包括：

2.如权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于：输气管设置在蒸发器皿和待蒸镀材料间，且输气管长度方向沿横向或纵向设置。

3.如权利要求2所述的蒸镀系统，其特征在于：输气管设置为多组，独立进行往复运动。

4.如权利要求2或3所述的蒸镀系统，其特征在于：输气管轴向上设置若干气孔，气孔对应分布在输气管往复移动方向的两侧。

5.如权利要求4所述的蒸镀系统，其特征在于：气孔朝向基膜方向向上倾斜，其倾斜角度α为0-90°。

6.如权利要求5所述的蒸镀系统，其特征在于：设置在输...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志康，伽龙，吴明忠，吴林海，
申请(专利权)人：浙江柔震科技有限公司，
类型：发明
国别省市：