【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金刚石生成，具体为一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置。
技术介绍
1、金刚石具有优异的物理化学性能，在国民经济的许多领域都具有广阔的应用前景，在众多制备金刚石的方法中，微波等离子体化学气相沉积(mpcvd)法利用微波电磁场能量来激发等离子体，不会产生电极污染，是制备高品质金刚石首选的方法，现有的微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置一般由谐波腔、石英管、基台和衬底等组成，在制备的过程中，微波进入到谐波腔的内部，石英管中反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石粉，基台和衬底一般通过多颗螺栓固定到谐波腔的底部，进而在制备后需要将螺栓逐一松开，然后再将衬底取出，拆卸过程繁琐，并且拆卸的过程中一般缺少移动导向，衬底容易发生倾斜造成金刚石的洒落。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，可以通过旋转手轮将出气管松开，同时可以对内部的衬底提供移动导向，衬底取出方便使用便利性好，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，包括谐波腔体和固定单元；
3、谐波腔体：其上端设有波导管，谐波腔体的中部贯穿设有石英管，石英管的上端设有气管接头，谐波腔体的下端设有对称分布的连接座，连接座的内部均滑动连接有连接头，两个连接头之间设有出气管，出气管的上端与谐波腔体的底部对应，出气管的内部通过支撑块设
4、固定单元：设置于谐波腔体的下端，连接座和连接头均与固定单元配合设置，金刚石粉制备完成后，可以旋转手轮将出气管松开，出气管可以带动基台和衬底向下滑动，进而可以避免衬底的倾斜金刚石粉的洒落，方便衬底取出，保证了微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置使用时的便利性。
5、进一步的，所述固定单元包括固定条、连接板、支撑板和丝杆，所述支撑板设置于谐波腔体的下端，支撑板的中部螺纹连接有丝杆，丝杆的后端通过轴承转动连接有连接板，连接板的后侧面设有对称分布的固定条，固定条分别贯穿至纵向对应的连接座的内部，固定条位于连接头的下方，方便连接头的定位。
6、进一步的，所述连接头的前下端自后至前向上倾斜设置，固定条的后下端自前至后向下倾斜设置，方便控制连接头的上移。
7、进一步的，所述固定单元还包括手轮，所述手轮设置于丝杆的前端，方便控制丝杆的旋转。
8、进一步的，所述出气管的上端设有橡胶垫，提升连接处的密封性。
9、进一步的，所述衬底上表面的边缘处设有挡环，避免金刚石粉的洒落。
10、进一步的，所述出气管的下端螺纹连接有过滤壳，可以对废气进行过滤。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，具有以下好处：
12、1、制备完毕后，可以旋转手轮，手轮带动丝杆旋转，丝杆带动连接板向前移动，连接板带动固定条向前移动与连接头分离，然后连接头和出气管可以沿着连接座的长滑槽向下滑动，出气管带动橡胶垫下移与谐波腔体分离，当连接头移动到下方后，橡胶垫与谐波腔体之间有较大的距离，然后可以将出气管和基台内部的衬底取出，挡环可以避免金刚石粉末的散落，金刚石粉制备完成后，可以旋转手轮将出气管松开，出气管可以带动基台和衬底向下滑动，进而可以避免衬底的倾斜金刚石粉的洒落，方便衬底取出，保证了微波等离子体化学气相沉积金刚石粉反应装置使用时的便利性。
13、2、反向旋转手轮，手轮带动丝杆旋转后移，丝杆通过连接板带动固定条沿连接座的矩形滑孔向后滑动，固定条倾斜的端头与连接头的斜面发生相对滑动，进而固定条后移的过程中会推动连接头的上移，连接头带动出气管上移，出气管带动橡胶垫上移与谐波腔体挤紧，在对利用固定条对出气管进行定位的同时，还能对出气管提供向上的作用力，保证了连接处的密封性，有良好的使用效果。
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1.一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：包括谐波腔体(1)和固定单元(8)；
2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：所述固定单元(8)包括固定条(81)、连接板(82)、支撑板(83)和丝杆(84)，所述支撑板(83)设置于谐波腔体(1)的下端，支撑板(83)的中部螺纹连接有丝杆(84)，丝杆(84)的后端通过轴承转动连接有连接板(82)，连接板(82)的后侧面设有对称分布的固定条(81)，固定条(81)分别贯穿至纵向对应的连接座(5)的内部，固定条(81)位于连接头(6)的下方。
3.根据权利要求2所述的一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：所述连接头(6)的前下端自后至前向上倾斜设置，固定条(81)的后下端自前至后向下倾斜设置。
4.根据权利要求2所述的一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：所述固定单元(8)还包括手轮(85)，所述手轮(85)设置于丝杆(84)的前端。
5.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气
6.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：所述衬底(11)上表面的边缘处设有挡环(13)。
7.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：所述出气管(7)的下端螺纹连接有过滤壳(12)。
...【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：包括谐波腔体(1)和固定单元(8)；
2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：所述固定单元(8)包括固定条(81)、连接板(82)、支撑板(83)和丝杆(84)，所述支撑板(83)设置于谐波腔体(1)的下端，支撑板(83)的中部螺纹连接有丝杆(84)，丝杆(84)的后端通过轴承转动连接有连接板(82)，连接板(82)的后侧面设有对称分布的固定条(81)，固定条(81)分别贯穿至纵向对应的连接座(5)的内部，固定条(81)位于连接头(6)的下方。
3.根据权利要求2所述的一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置，其特征在于：所述连接头(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁佩，杨鹏，段向阳，许坤，
申请(专利权)人：郑州港芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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