一种晶圆传输装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种晶圆传输装置，包括：传输轨道，其包括多个相互平行设置的传输辊，用以传输晶圆；相邻两个所述传输辊之间形成过道；定位机构，其设置于所述传输轨道下方，包括第一升降驱动组件和止挡结构；所述止挡结构固定于所述第一升降驱动组件的驱动端，所述止挡结构与所述传输轨道的其中一个过道位置相对应；其中，当所述第一升降驱动组件驱动所述止挡结构向上运动时，所述止挡结构能够穿过与其位置相对应的所述过道后挡在所述晶圆的前方，以将所述晶圆定位于待缓存位置。通过设置定位机构，能够将晶圆精准定位于待缓存位置，便于后续缓存工作的执行，且定位机构结构简单、操作简便。简便。简便。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传输装置


[0001]本专利技术涉及晶圆传输设备
，特别是涉及一种晶圆传输装置。

技术介绍

[0002]在晶圆制造工艺中，通常需借助晶圆传输装置传输晶圆。在晶圆传输过程中，若下料机器出现故障，需将传输装置上运输的晶圆进行及时转移。现有晶圆制造工艺中，通过设置缓存装置用以缓存晶圆。
[0003]在缓存操作过程中，由于晶圆处于传输运动中，晶圆在缓存区域的位置具有不确定性，则需配置光学传感器先对晶圆进行定位后再进行转移，光学传感器定位精确度和可靠性不够高，还是会存在不能对晶圆精准定位的问题。

技术实现思路

[0004]基于现有技术中的上述缺陷，本专利技术的目的在于提供一种晶圆传输装置，设置定位机构，能够将晶圆精准定位于待缓存位置，便于后续缓存工作的执行。
[0005]为此，本专利技术提供如下技术方案。
[0006]本专利技术提供一种晶圆传输装置，包括：传输轨道，其包括多个相互平行设置的传输辊，用以传输晶圆；相邻两个所述传输辊之间形成过道；定位机构，其设置于所述传输轨道下方，包括第一升降驱动组件和止挡结构；所述止挡结构固定于所述第一升降驱动组件的驱动端，所述止挡结构与所述传输轨道的其中一个过道位置相对应；其中，当所述第一升降驱动组件驱动所述止挡结构向上运动时，所述止挡结构能够穿过与其位置相对应的所述过道后挡在所述晶圆的前方，以将所述晶圆定位于待缓存位置。
[0007]优选地，所述止挡结构包括至少两个竖杆，所述至少两个竖杆所在平面与所述过道的延伸方向相互平行。/>[0008]优选地，至少有两个所述竖杆关于所述传输轨道的传输中心线所在竖直平面对称。
[0009]优选地，所述竖杆为圆柱形。
[0010]优选地，所述竖杆外周设有防静电橡胶层。
[0011]优选地，所述定位机构还包括水平驱动组件，其驱动端与所述第一升降驱动组件相连接，所述水平驱动组件用以驱动所述第一升降驱动组件带着所述止挡结构一起沿所述传输轨道的传输方向运动。
[0012]优选地，所述第一升降驱动组件和所述水平驱动组件均为气缸驱动组件。
[0013]优选地，还包括缓存机构，其包括第二升降驱动组件和至少两个竖直并排设置的支架组件；
其中，每个所述支架组件均对应一个过道地设置，所述第二升降驱动组件用于驱动所述支架组件在其对应的过道中升降移动以暂存所述晶圆或将所述晶圆卸载于所述传输轨道上。
[0014]优选地，每个所述支架组件均包括相对设置的第一安装架和第二安装架，所述第一安装架上设置有第一支杆，所述第二安装架上设置有第二支杆，所述第一支杆和所述第二支杆在所述过道延伸方向上对齐设置。
[0015]优选地，所述第一支杆和所述第二支杆之间的间距大于所述止挡结构在所述过道延伸方向上的长度。
[0016]本专利技术具有以下技术效果：本专利技术提供一种晶圆传输装置，通过设置定位机构，能够将晶圆精准定位于待缓存位置，便于后续缓存工作的执行，且定位机构结构简单、操作简便。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的定位机构的立体结构示意图；图2为本专利技术的晶圆传输装置在传输状态时的立体结构示意图；图3为本专利技术的缓存机构的立体结构示意图。
[0018]附图标记说明100、传输装置；1、传输轨道；11、传输辊；12、过道；2、定位机构；21、第一升降驱动组件；22、止挡结构；221、竖杆；23、水平驱动组件；3、缓存机构；31、第二升降驱动组件；32、支架组件；321、第一安装架；322、第二安装架；323、第一支杆；324、第二支杆；200、晶圆。
具体实施方式
[0019]为使本专利技术的技术方案和有益效果能够更加明显易懂，下面通过列举具体实施例的方式进行详细说明。除非另有定义，本文所使用的技术和科学术语与本申请所属的
中的技术和科学术语的含义相同。
[0020]在本专利技术的描述中，除非另有明确的限定，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于本专利技术的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，即不能理解为对本专利技术的限制。
[0021]在本专利技术中，术语“第一”、“第二”仅用于描述清楚的目的，不能理解为所指示特征的相对重要性或所指示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个；“若干个”的含义是至少一个；另有明确限定的除外。
[0022]在本专利技术中，除非另有明确的限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等应作广义理解。例如，“连接”，可以是固定连接、可拆卸连接或一体成型；可以是机械连
接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0023]在本专利技术中，除非另有明确的限定，第一特征在第二特征“上”、“之上”、“上方”和“上面”、“下”、“之下”、“下方”或“下面”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征的水平高度高于第二特征的水平高度。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征的水平高度小于第二特征的水平高度。
[0024]本专利技术中提及的“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”均以图2中的标示为准。
[0025]下面根据图1至图3详细说明本专利技术的晶圆传输装置。
[0026]在本实施方式中，如图1和图2所示，晶圆传输装置100包括传输轨道1和定位机构2，传输轨道1包括多个相互平行设置的传输辊11，晶圆200放置在多个传输辊11形成的支撑台面上，传输辊11转动以产生推动晶圆200的作用力，实现晶圆传输。
[0027]在本实施方式中，定位机构2设置于传输轨道1下方，有效利用传输轨道1下方的空间，有利于晶圆传输装置100的小型化设计。如图1所示，定位机构2包括第一升降驱动组件21和止挡结构22；止挡结构22固定于第一升降驱动组件21的驱动端。如图2所示，传输轨道1的相邻两个传输辊11之间形成过道12。止挡结构22与传输轨道1的其中一个过道12位置相对应，其中，当第一升降驱动组件21驱动止挡结构22向上运动时，止挡结构22能够穿过与其位置相对应的过道12后挡在晶圆200的前方，以将晶圆200定位于待缓存位置；当无需缓存时，第一升降驱动组件21驱动止挡结构22向下运动至原位，这样，传输轨道1可以继续传输晶圆20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包括：传输轨道（1），其包括多个相互平行设置的传输辊（11），用以传输晶圆（200）；相邻两个所述传输辊（11）之间形成过道（12）；定位机构（2），其设置于所述传输轨道（1）下方，包括第一升降驱动组件（21）和止挡结构（22）；所述止挡结构（22）固定于所述第一升降驱动组件（21）的驱动端，所述止挡结构（22）与所述传输轨道（1）的其中一个过道（12）位置相对应；其中，当所述第一升降驱动组件（21）驱动所述止挡结构（22）向上运动时，所述止挡结构（22）能够穿过与其位置相对应的所述过道（12）后挡在所述晶圆（200）的前方，以将所述晶圆（200）定位于待缓存位置。2.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述止挡结构（22）包括至少两个竖杆（221），所述至少两个竖杆（221）所在平面与所述过道（12）的延伸方向相互平行。3.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，至少有两个所述竖杆（221）关于所述传输轨道（1）的传输中心线所在竖直平面对称。4.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述竖杆（221）为圆柱形。5.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述竖杆（221）外周设有防静电橡胶层。6.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述定位机构（2）还包括水平驱动组件（23），其驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪成都，任中辛，
申请(专利权)人：苏州桔云科技有限公司，
类型：发明
国别省市：