一种圆形基板中心定位装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种圆形基板中心定位装置，涉及半导体加工技术领域，包括安装底座，所述安装底座上端安装有安装支架，所述安装支架外表面固定套接有固定底板，所述固定底板上端安装有三个气动滑动模块，三个所述气动滑动模块呈环形阵列分布，三个所述气动滑动模块上端均安装有弧形定位板，所述安装支架上端安装有定位限位板，所述定位限位板呈圆形结构，三个所述弧形定位板均位于定位限位板外侧，所述固定底板上端安装有感应探头模块，所述定位限位板上端开有感应探头检测口。本发明专利技术通过设置气动滑动模块、弧形定位板和定位限位板实现圆形硅片基板的中心定位，相比于传统的光学定位方法，本装置的定位精度提高4倍，定位效率提高6倍。倍。倍。

【技术实现步骤摘要】
一种圆形基板中心定位装置


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，特别涉及一种圆形基板中心定位装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒再经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增大。要实现多层布线，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和洁净度，而化学机械抛光是目前最有效的晶圆平坦化技术。
[0003]目前圆形硅片基板的中心位置的确定是集成电路制造工艺中的重要环节。目前圆形硅片基板的中心位置的确定方法主要是光学定位方法，其通过采集圆形硅片基板局部边缘图像，记录物理坐标，然后在图像上选择边缘点，通过非同一直线上的三点定位圆心，但是该方法选择的边缘点可能存在误差，在高精度圆心定位要求下，计算结果会有误差。定位过程中硅片基板一边测量一边移动纠正中心，该种定位方法定位时间长，生产效率低；基于上述背景，如何提高圆形硅片基板中心的定位准确度成为当前面临的一个技术难题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的在于提供一种圆形基板中心定位装置，该装置有利于快速、精确地定位并校准硅片基板中心，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
[0006]一种圆形基板中心定位装置，包括安装底座，所述安装底座上端安装有安装支架，所述安装支架外表面固定套接有固定底板，所述固定底板上端安装有三个气动滑动模块，三个所述气动滑动模块呈环形阵列分布，三个所述气动滑动模块上端均安装有弧形定位板，所述安装支架上端安装有定位限位板，所述定位限位板呈圆形结构，三个所述弧形定位板均位于定位限位板外侧，所述固定底板上端安装有感应探头模块，所述定位限位板上端开有感应探头检测口，所述感应探头模块延伸至感应探头检测口内，所述安装支架上端开有第二固定螺丝孔，所述定位限位板上端设置有第一固定螺丝，所述第一固定螺丝与第二固定螺丝孔螺纹连接，三个所述气动滑动模块均连接有高压气管。
[0007]优选的，所述安装底座上端开有四个第一固定螺丝孔，四个所述第一固定螺丝孔呈环形阵列分布。
[0008]优选的，所述安装支架呈圆柱形结构，所述安装支架外表面开有高压气管通过孔，所述安装支架外表面上部设置有限位台阶，所述高压气管通过孔与高压气管相匹配，所述限位台阶与固定底板相匹配。
[0009]优选的，所述固定底板上端开有三组第三固定螺丝孔，三组所述第三固定螺丝孔分别位于三个气动滑动模块正下方，所述固定底板上端中部开有穿过孔，所述固定底板上
端开有感应探头安装螺丝孔。
[0010]优选的，所述气动滑动模块包括上滑块和下滑块，所述上滑块和下滑块传动连接，所述上滑块上端开有弧形定位板安装螺丝孔，所述下滑块下端安装有第二固定螺丝，所述第二固定螺丝贯穿第三固定螺丝孔。
[0011]优选的，所述弧形定位板包括侧壁和底座，所述底座位于定位限位板下方，所述侧壁位于定位限位板外侧，所述底座上端安装有第三固定螺丝，所述第三固定螺丝与弧形定位板安装螺丝孔螺纹连接。
[0012]优选的，所述定位限位板上端开有第四固定螺丝孔，所述第一固定螺丝贯穿第四固定螺丝孔。
[0013]优选的，所述感应探头模块包括感应探头本体，所述感应探头本体外表面固定安装有固定支架，所述固定支架螺纹穿插连接有第四固定螺丝，所述第四固定螺丝与感应探头安装螺丝孔螺纹连接。
[0014]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：
[0015]1、本专利技术中，通过设置气动滑动模块、弧形定位板和定位限位板实现圆形硅片基板的中心定位，且定位精度为
±
0.05mm，定位时间小于1秒，传统的光学定位方法定位精度为
±
0.2mm，定位时间大于6秒，采用本装置相比于传统的光学定位方法定位精度提高4倍，定位效率提高6倍。
[0016]2、本专利技术中，感应探头本体检测到圆形硅片基板就发出定位信号，控制系统收到信号后就会给气动滑动模块发出定位指令，高压气管给气动滑动模块供气，气动滑动模块中的上滑块向中心滑动，安装在上滑块上的弧形定位块就会夹住圆形硅片基板和定位限位板，圆形硅片基板和定位限位板就会完全重叠在同一个中心上，达到中心定位的效果。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的整体结构爆炸图；
[0019]图2为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的安装底座的结构示意图；
[0020]图3为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的安装支架的结构示意图；
[0021]图4为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的固定底板的结构示意图；
[0022]图5为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的气动滑动模块的结构示意图；
[0023]图6为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的弧形定位板的结构示意图；
[0024]图7为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的定位限位板的结构示意图；
[0025]图8为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的感应探头模块的结构示意图；
[0026]图9为本专利技术一种圆形基板中心定位装置的整体结构示意图。
[0027]图中：100、安装底座；200、安装支架；300、固定底板；400、气动滑动模块；500、弧形定位板；600、第一固定螺丝；700、定位限位板；800、感应探头模块；900、高压气管；101、第一固定螺丝孔；201、第二固定螺丝孔；202、高压气管通过孔；203、限位台阶；301、第三固定螺
丝孔；302、穿过孔；303、感应探头安装螺丝孔；401、上滑块；402、下滑块；403、弧形定位板安装螺丝孔；404、第二固定螺丝；501、侧壁；502、底座；503、第三固定螺丝；701、感应探头检测口；702、第四固定螺丝孔；801、感应探头本体；802、固定支架；803、第四固定螺丝。
具体实施方式
[0028]为使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。
[0029]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆形基板中心定位装置，包括安装底座(100)，其特征在于：所述安装底座(100)上端安装有安装支架(200)，所述安装支架(200)外表面固定套接有固定底板(300)，所述固定底板(300)上端安装有三个气动滑动模块(400)，三个所述气动滑动模块(400)呈环形阵列分布，三个所述气动滑动模块(400)上端均安装有弧形定位板(500)，所述安装支架(200)上端安装有定位限位板(700)，所述定位限位板(700)呈圆形结构，三个所述弧形定位板(500)均位于定位限位板(700)外侧，所述固定底板(300)上端安装有感应探头模块(800)，所述定位限位板(700)上端开有感应探头检测口(701)，所述感应探头模块(800)延伸至感应探头检测口(701)内，所述安装支架(200)上端开有第二固定螺丝孔(201)，所述定位限位板(700)上端设置有第一固定螺丝(600)，所述第一固定螺丝(600)与第二固定螺丝孔(201)螺纹连接，三个所述气动滑动模块(400)均连接有高压气管(900)。2.根据权利要求1所述的一种圆形基板中心定位装置，其特征在于：所述安装底座(100)上端开有四个第一固定螺丝孔(101)，四个所述第一固定螺丝孔(101)呈环形阵列分布。3.根据权利要求2所述的一种圆形基板中心定位装置，其特征在于：所述安装支架(200)呈圆柱形结构，所述安装支架(200)外表面开有高压气管通过孔(202)，所述安装支架(200)外表面上部设置有限位台阶(203)，所述高压气管通过孔(202)与高压气管(900)相匹配，所述限位台阶(203)与固定底板(300)相匹配。4.根据权利要求3所述的一种圆形基板中心定位装...

【专利技术属性】
技术研发人员：代胜利，董风娥，李金涛，
申请(专利权)人：广东芯微精密半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：