本发明专利技术涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种用于圆形硅片旋转清洗夹持装置，本装置包括外盖壳体，旋转驱动模块，连接主轴，夹具固定底座，夹头旋转基座，夹爪伸缩驱动模块，夹爪本体，夹爪安装盖板，圆形硅片承托杆；本旋转清洗夹持装置带动圆形硅片在清洗槽内高速旋转，进行边旋转边清洗的动作，实现无遮蔽无死角清洗，提高清洗效果。本装置用于改善圆形硅片边缘清洗效果，本圆形硅片旋转清洗夹持装置主要用于电镀工艺后的清洗工序。本发明专利技术所涉及的圆形硅片旋转清洗夹持装置可以减少夹具与圆形硅片的接触面99.94％，减少圆形硅片边沿的遮蔽面积99.94％％，提高圆形硅片边沿清洗效果99％以上。99％以上。99％以上。
【技术实现步骤摘要】
圆形硅片旋转清洗夹持装置
[0001]本专利技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种用于圆形硅片旋转清洗夹持装置。
技术介绍
[0002]集成电路技术在过去的几十年里一直遵循摩尔定律不断发展，即单位集成电路面积上可容纳的晶体管数目大约每隔18个月可以增加一倍。然而，当晶体管尺寸减小到纳米级后，想再通过减小晶体管尺寸来提升集成电路的性能己经变得非常困难，而随着人类生活品质的提高，电子产品随身携带多样性的发展，最终产品需依轻、薄、小、快的规格发展。随着微电子技术的进步，芯片的集成度不断提高，元器件的尺度不断缩小，相应地对圆形硅片洁净度的要求也越来越高。对半导体圆形硅片清洗一般采用高纯水进行冲洗，但在冲洗过程中由于受夹具周围压环的遮挡限制，圆形硅片边沿难以被清洗干净。基于上述背景，如何提高圆形硅片边沿的表面清洁度成为当前面临的一个技术难题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是提出一种圆形硅片旋转清洗夹持装置，用于改善圆形硅片边缘清洗效果，在清洗过程中夹持装置会高速旋转，进一步提高清洗效果，提高圆形硅片边缘的清洁度，本圆形硅片旋转清洗夹持装置主要用于电镀工艺后的清洗工序。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
[0005]根据本专利技术提出的圆形硅片旋转清洗夹持装置，包括外盖壳体，旋转驱动模块，连接主轴，夹具固定底座，夹头旋转基座，夹爪伸缩驱动模块，夹爪本体，夹爪安装盖板，圆形硅片承托杆。旋转驱动模块安装在夹具固定底座上，旋转驱动模块与连接主轴的一端连接，连接主轴的另一端法兰端与夹头旋转基座连接，夹头旋转基座上安装有夹爪伸缩驱动模块，夹爪伸缩驱动模块连接夹爪本体，夹爪本体安装在夹头旋转基座上，夹爪本体活动部位安装有夹爪安装盖板，用于限制夹爪本体的活动范围，夹爪安装盖板安装在夹头旋转基座上，夹头旋转基座上安装有圆形硅片承托杆，外盖壳体安装在夹具固定底座上。
[0006]具体的，外盖壳体为圆形，壳体侧壁上开有一个与外部机构连接的通路口，壳体侧壁边缘上开有四个第一固定螺丝孔，四个所述第一固定螺丝孔呈环形阵列分布，外盖壳体通过第一固定螺丝孔安装在夹具固定底座上。
[0007]具体的，旋转驱动模块包含有一台驱动马达，驱动马达四角设置有4个第二固定螺丝孔，驱动马达通过第二安装螺丝孔安装在固定支架上，安装支架为金属材质，呈UL组合形状，固定支架底部设置有4个第三固定螺丝孔，固定支架通过第三安装螺丝孔固定在夹具固定底座上。
[0008]具体的，所述连接主轴呈圆柱形结构，连接主轴金属材质，连接主轴连接电机端设有一个第一连接孔，连接端侧壁设置有一个第四固定螺丝孔，连接主轴通过第四固定螺丝孔与驱动马达主轴连接连，连接主轴另一端设置有固定法兰，固定法兰边缘有4个第五固定
螺丝孔，四个所述第五固定螺丝孔呈环形阵列分布，固定法兰通过第五固定螺丝孔与夹头旋转基座相连。
[0009]进一步的，夹具固定底座为圆形，底座周围有底座侧壁，底座侧壁呈圆管状，底座侧壁的上方有一个环状限位台阶，底座平面设置有4个第六固定螺丝孔，旋转驱动模块通过第六固定螺丝孔安装在底座平面上，底座平面中心位置设置有一个连接主轴通过孔，底座侧壁顶部设置有3个第七固定螺丝孔，外盖壳体通过第七固定螺丝孔安装在夹具固定底座上。
[0010]具体的，夹爪伸缩驱动模块包含伸缩电缸和固定支架，所述伸缩电缸包含电缸外壳和电缸主轴，进一步的，电缸主轴的末端设置有连接卡槽和第二连接孔，第二连接孔与夹爪本体螺丝端的第三连接孔相连，所述固定支架包含电缸固定孔，电缸外壳通过电缸固定孔安装在固定支架上，固定支架底座上设置有2个第八固定螺丝孔，固定支架底座通过第八固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，所述夹头旋转基座上安装有四个夹爪伸缩驱动模块，四个所述夹爪伸缩驱动模块呈环形阵列分布。
[0011]优选的，夹爪安装盖板为圆形，其中心位置设计有夹爪本体通过孔，夹爪本体通过孔周围设置有4个第九固定螺丝孔，四个所述第九固定螺丝孔呈环形阵列分布，夹爪安装盖板通过第九固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。
[0012]优选的，夹头旋转基座为圆形，夹头旋转基座周围有侧壁，侧壁呈圆管状，夹头旋转基座底部中心处设有连接主轴中心定位孔，连接主轴中心定位孔周围设置有4个第十固定螺丝孔，4个所述第十固定螺丝孔呈环形阵列分布，连接主轴法兰通过第十固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，第十固定螺丝孔周围还设置有8个第十一固定螺丝孔，8个所述第十一固定螺丝孔呈环形阵列分布，4个夹爪伸缩驱动模块通过第十固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上，第十一固定螺丝孔周围还设置有4个夹爪本体安装孔，所述4个夹爪本体安装孔呈环形阵列分布，夹爪本体通过夹爪本体安装孔安装在夹头旋转基座上，进一步的，夹爪本体安装孔周围设置有4个第十二固定螺丝孔，所述第十二固定螺丝孔呈环形阵列分布，夹爪安装盖板通过第九固定螺丝孔和第十二固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。
[0013]优选的，夹爪本体为柱状结构，夹持端有一个弧形卡槽，用于夹持固定圆形硅片，夹爪本体的中部安装有一个球形部件，以便于夹爪本体做张开闭合动作，球形部件被夹爪安装盖板固定在夹头旋转基座上，夹爪本体的另一端为螺丝端，其上安装有异形连接螺丝，异形连接螺丝顶部有一个第三连接孔，第三连接孔与夹爪伸缩驱动模块相连，所述4个夹爪本体呈环形阵列分布，夹爪本体通过第十一固定螺丝孔安装在夹头旋转基座上。
[0014]优选的，夹头旋转基座上安装有圆形硅片承托杆，圆形硅片承托杆的上部为圆锥形杆，顶部为圆球形，圆形硅片承托杆的中部设置有限位台阶，圆形硅片承托杆底部为固定螺纹端，用于固定在夹头旋转基座上。
[0015]具体的，当需要夹持圆形硅片时，控制系统给夹爪伸缩驱动模块通电，夹爪伸缩驱动模块收缩使夹爪本体发生位移，夹爪本体夹持端张开，圆形硅片被放在四个夹爪本体夹持端中间，放在四个圆形硅片承托杆上，控制系统切断夹爪伸缩驱动模块的电源，夹爪伸缩驱动模块在弹簧的作用下伸开，夹爪伸缩驱动模块推动夹爪本体夹持端夹住圆形硅片的边缘，完成夹持动作；圆形硅片夹持成功后整个夹持装置会翻转180度使圆形硅片向下放在清洗槽内，旋转驱动模块通电后驱动连接主轴旋转，连接主轴带动夹头旋转基座旋转，夹头旋
转基座带动夹爪本体旋转，夹爪本体带动圆形硅片旋转，开始清洗作业，清洗完成后旋转驱动模块断电停止旋转，夹持装置再翻转180度使圆形硅片向上，夹爪伸缩驱动模块收缩使夹爪本体夹持端张开，取走圆形硅片完成整个清洗程序。
[0016]具体地，夹爪本体的夹持端设计有卡槽，方便夹持圆形硅片，夹持端卡槽为弧形卡槽，其与圆形硅片的边沿为点接触，极大的减小了与圆形硅片的接触面积，极大的减小了夹具对圆形硅片边缘的遮蔽，常规夹具对圆形硅片边缘的遮蔽面积(以8吋圆形硅片计算)为1244平方毫米，本圆形硅片旋转清洗夹持装置夹持端与圆形硅片的接触面积小于0.8平方毫米，接触面积减小了99.94％，极大的提高了清洗效果。
[0017]进一步地，当驱动马达通电时，驱动马达带动连接主轴旋转，连接主本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于，包括外盖壳体，旋转驱动模块，连接主轴，夹具固定底座，夹头旋转基座，夹爪伸缩驱动模块，夹爪本体，夹爪安装盖板，圆形硅片承托杆，旋转驱动模块安装在夹具固定底座上，旋转驱动模块与连接主轴的一端连接，连接主轴的另一端法兰端与夹头旋转基座连接，夹头旋转基座上安装有夹爪伸缩驱动模块，夹爪伸缩驱动模块连接夹爪本体，夹爪本体安装在夹头旋转基座上，夹爪本体活动部位安装有夹爪安装盖板，用于限制夹爪本体的活动范围，夹爪安装盖板安装在夹头旋转基座上，夹头旋转基座上安装有圆形硅片承托杆，外盖壳体安装在夹具固定底座上。2.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：外盖壳体为圆形，壳体侧壁上开有一个与外部机构连接的通路口，壳体侧壁边缘上开有四个第一固定螺丝孔，四个所述第一固定螺丝孔呈环形阵列分布，外盖壳体通过第一固定螺丝孔安装在夹具固定底座上。3.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：旋转驱动模块包含有一台驱动马达，驱动马达四角设置有4个第二固定螺丝孔，驱动马达通过第二安装螺丝孔安装在固定支架上，安装支架为金属材质，呈UL组合形状，固定支架底部设置有4个第三固定螺丝孔，固定支架通过第三安装螺丝孔固定在夹具固定底座上。4.根据权利要求3所述的连接主轴，其特征在于：所述连接主轴呈圆柱形结构，连接主轴金属材质，连接主轴连接电机端设有一个第一连接孔，连接端侧壁设置有一个第四固定螺丝孔，连接主轴通过第四固定螺丝孔与驱动马达主轴连接连，连接主轴另一端设置有固定法兰，固定法兰边缘有4个第五固定螺丝孔，四个所述第五固定螺丝孔呈环形阵列分布，固定法兰通过第五固定螺丝孔与夹头旋转基座相连。5.根据权利要求1所述的圆形硅片旋转清洗夹持装置，其特征在于：夹具固定底座为圆形，底座周围有底座侧壁，底座侧壁呈圆管状，底座侧壁的上方有一个环状限位台阶，底座平面设置有4个第六固定螺丝孔，旋转驱动模块通过第六固定螺丝孔安装在底座平面上，底座平面中心位置设置有一个连接主轴通过孔，底座侧壁顶部设置有3个第七固定螺丝孔，外盖壳体通过第七固定螺丝孔安装在夹具固定底座上。6.根据权利要求1所述的夹爪伸缩驱动模块，其特征在于：夹爪伸缩驱动模块包含伸缩电缸和固定支架，所述伸缩电缸包含电缸外壳和电缸主轴，进一步的，电缸主轴的末端设置有连接卡槽和第...
【专利技术属性】
技术研发人员：代胜利，董风娥，李金涛，
申请(专利权)人：广东芯微精密半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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