一种硅片片篮治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种硅片片篮治具，包括主支撑板；若干检测件安装板，检测件安装板为形状厚度均一致的平板，间隔设置于主支撑板上，每个检测件安装板上均设置有检测件；若干片篮限位装置，每个片篮限位装置对应地设置于一个检测件安装板上方，片篮限位装置用于对放置的片篮进行限位。本实用新型专利技术的有益效果是有效解决目前对硅片进行插片生产过程中容易出现片篮固定不稳的情况，引起片篮位移，造成插片不良，影响生产质量的问题，能够实现片篮自动插片，且能够对片篮进行限位固定，避免了在插片过程中片篮移动引起插片不良的问题，且可以根据实际生产需求灵活选择治具尺寸，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省人工成本。节省人工成本。节省人工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片片篮治具


[0001]本技术属于硅片制备设备
，具体涉及一种硅片片篮治具。

技术介绍

[0002]在硅片制备工序中，需要对硅片进行插片，目前对硅片进行插片生产过程中容易出现片篮固定不稳的情况，引起片篮位移，造成插片不良，影响生产质量。
[0003]因此，基于以上需求，本技术提供一种硅片片篮治具，能够实现片篮自动插片，且能够对片篮进行限位固定，避免了在插片过程中片篮移动引起插片不良的问题，且可以根据实际生产需求灵活选择治具尺寸，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省人工成本。该治具结构简单，定位稳定，工作精准，通用性好。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为解决上述
技术介绍
中提出的目前对硅片进行插片生产过程中容易出现片篮固定不稳的情况，引起片篮位移，造成插片不良，影响生产质量的问题，提供了一种硅片片篮治具，能够实现片篮自动插片，且能够对片篮进行限位固定，避免了在插片过程中片篮移动引起插片不良的问题，且可以根据实际生产需求灵活选择治具尺寸，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省人工成本。该治具结构简单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片片篮治具，其特征在于，包括：主支撑板；若干检测件安装板，所述检测件安装板为形状厚度均一致的平板，间隔设置于所述主支撑板上，每个所述检测件安装板上均设置有检测件；若干片篮限位装置，每个所述片篮限位装置对应地设置于一个所述检测件安装板上方，所述片篮限位装置用于对放置的片篮进行限位。2.根据权利要求1所述的一种硅片片篮治具，其特征在于，所述检测件包括：平衡传感器，所述平衡传感器设置于所述检测件安装板一侧，片篮放置时与所述片篮接触，用于检测所述片篮是否平衡并进行反馈；低频读写器，所述低频读写器设置于所述检测件安装板一侧，用于在对所述片篮中的插片进行信息读取并进行反馈。3.根据权利要求2所述的一种硅片片篮治具，其特征在于：每个所述检测件安装板上设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨骅，杜晨朋，杨亮，王德智，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：