晶圆暂存储料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆暂存储料装置，它包括上下层位置水平的边层框，上下的边层框之间装配有两层以上的中层框，所述边层框的两侧与中层框之间分别通过中间可以弯折的v字型折板相连，所述中层框与相邻的中层框之间通过两侧位置的所述折板相连，所述中层框三个边的内侧装配有夹块，所述夹块的中间加工有夹槽，晶圆片放置在中层框的三个夹块的夹槽中，上下层的所述边层框四个角位置分别通过竖直管状的抽拉件相连，上下的所述边层框、中层框之间通过抽拉件具有竖直的展开和压缩两种状态。展开状态便于晶圆片的放置和取出，压缩状态使得该装置整体占用空间较小，方便放置储存。方便放置储存。方便放置储存。

【技术实现步骤摘要】
晶圆暂存储料装置


[0001]本技术涉及晶圆片储存设备
，具体涉及晶圆暂存储料装置。

技术介绍

[0002]晶圆片加工需要经过多个工艺步骤，在不同的工艺流程中需要使用不同的加工设备，因此在一道工艺流程完成后就需要对晶圆片进行暂存，然后转运到下一个晶圆片加工的流程设备中。因为晶圆片易碎，并且需要保护晶圆片表面光洁度，因此就需要专门的用于晶圆片储存的箱体。如公开号为CN 208544579U的专利中就公开了一种两用晶圆放置箱，这种放置箱可以用来放置晶圆片，但是传统的放置箱一旦放置晶圆片后，就无法再改变外形和高度，为了拿取放置晶圆片方便，传统的放置箱通常设计的放置层较高，这样放置箱的体积很大，但是放置晶圆片反而不多，空间利用率较低。

技术实现思路

[0003]针对以上问题，本技术提供一种方便改变放置晶圆片箱体高度，空间利用更加合理的晶圆暂存储料装置。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：该晶圆暂存储料装置包括上下层位置水平的边层框，上下的边层框之间装配有两层以上的中层框，所述边层框为四方形状，所述中层框为具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆暂存储料装置，它包括上下层位置水平的边层框(1)，上下的边层框(1)之间装配有两层以上的中层框(2)，所述边层框(1)为四方形状，所述中层框(2)为具有三边结构的n形框架，其特征在于：所述边层框(1)的两侧与中层框(2)之间分别通过中间可以弯折的v字型折板(3)相连，所述中层框(2)与相邻的中层框(2)之间通过两侧位置的所述折板(3)相连，所述中层框(2)三个边的内侧装配有夹块(21)，所述夹块(21)的中间加工有夹槽，晶圆片(4)放置在中层框(2)的三个夹块(21)的夹槽中，上下层的所述边层框(1)四个角位置分别通过竖直管状的抽拉件(5)相连，上下的所述边层框(1)、中层框(2)之间通过抽拉件(5)具有竖直的展开和压缩两种状态。2.根据权利要求1所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述边层框(1)、中层框(2)均使用金属方管制作而成。3.根据权利要求1所述的晶圆暂存储料装置，其特征在于：所述折板(3)包括两片铰接的硬质板，底部硬质板上设计有顶块(31)，当所述中层框(2)与边层框(1)位于压缩位置时，所述折板(3)的上边板压紧在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾麒文，洪成都，
申请(专利权)人：苏州桔云科技有限公司，
类型：新型
国别省市：