下载晶圆暂存储料装置的技术资料

文档序号:38556422

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本实用新型提供一种晶圆暂存储料装置,它包括上下层位置水平的边层框,上下的边层框之间装配有两层以上的中层框,所述边层框的两侧与中层框之间分别通过中间可以弯折的v字型折板相连,所述中层框与相邻的中层框之间通过两侧位置的所述折板相连,所述中层框三...
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