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本发明涉及一种晶圆传输装置，包括：传输轨道，其包括多个相互平行设置的传输辊，用以传输晶圆；相邻两个所述传输辊之间形成过道；定位机构，其设置于所述传输轨道下方，包括第一升降驱动组件和止挡结构；所述止挡结构固定于所述第一升降驱动组件的驱动端，所...
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