【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆吸附，具体涉及一种晶圆吸附结构。
技术介绍
1、对于具有一定曲量的晶圆的搬运，一般采用真空吸附牙叉下涝吸附，但传统的真空吸附牙叉吸附点不具弹性，无法对高翘曲量的晶圆进行吸附，由此，在真空吸附牙叉的吸附点上安装橡胶吸嘴，使吸附点具有弹性，满足对高翘曲量的吸附，但橡胶吸嘴为耗材，需要经常更换，现有的橡胶吸嘴通常采用紧固件固定安装在牙叉上，更换橡胶吸嘴时还需拆卸和安装紧固件，致使更换橡胶吸嘴不方便。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆吸附结构，解决现有技术中橡胶吸嘴通常采用紧固件固定安装在牙叉上，导致更换橡胶吸嘴不方便的问题。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种晶圆吸附结构，包括牙叉，所述牙叉内开设有真空通道，所述牙叉包括连接部以及设于所述连接部一端的叉头部，所述叉头部上开设有与所述真空通道连通的安装孔，所述安装孔内设有橡胶吸嘴，其中，所述牙叉包括分别设于所述安装孔内缘两端的卡环部和止挡环部，所述卡环部和所述止挡环部之间构造出环状卡沟；所述橡胶吸嘴包括呈圆管状的气管以及设于所述气管一端呈喇叭状的吸头，所述气管另一端插入所述安装孔内与所述真空通道连通，且所述气管外周具有沿自身径向上间隔设置的上密封环部和下密封环部，所述上密封环部和所述下密封环部之间构造出用于密封卡接所述卡环部的环状密封槽，所述下密封环部密封卡接在所述环状卡沟。
4、作为本专利技术进一步的方案：所述环状密封槽的横截面呈鸠尾状。
...【技术保护点】
1.一种晶圆吸附结构，其特征在于，包括牙叉，所述牙叉内开设有真空通道，所述牙叉包括连接部以及设于所述连接部一端的叉头部，所述叉头部上开设有与所述真空通道连通的安装孔，所述安装孔内设有橡胶吸嘴，其中，所述牙叉包括分别设于所述安装孔内缘两端的卡环部和止挡环部，所述卡环部和所述止挡环部之间构造出环状卡沟；所述橡胶吸嘴包括呈圆管状的气管以及设于所述气管一端呈喇叭状的吸头，所述气管另一端插入所述安装孔内与所述真空通道连通，且所述气管外周具有沿自身径向上间隔设置的上密封环部和下密封环部，所述上密封环部和所述下密封环部之间构造出用于密封卡接所述卡环部的环状密封槽，所述下密封环部密封卡接在所述环状卡沟。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述环状密封槽的横截面呈鸠尾状。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述环状密封槽具有相对的上侧槽面和下侧槽面，所述上侧槽面从所述环状密封槽的腔口向上倾斜延伸至所述环状密封槽的腔底，所述下侧槽面包括靠近所述环状密封槽的腔口的平面段以及从所述平面段尾端向下倾斜延伸至所述环状密封槽的腔底的斜面段。>
4.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，沿所述气管径向上，所述下密封环部凸出所述上密封环部。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述止挡环部为沿所述安装孔周向设置的U型环，所述真空通道设于所述止挡环部一侧，所述止挡环部与所述真空通道连通。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述叉头部呈圆弧形，所述橡胶吸嘴设有三个且分别安装在所述叉头部的两端头和中部。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述叉头部从自身两端至自身中部沿自身径向上的宽度渐宽。
8.根据权利要求6所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述真空通道包括位于所述叉头部内的弧形段以及位于所述连接部内的直线段，所述弧形段将三个所述橡胶吸嘴串联。
9.根据权利要求6所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，三个所述橡胶吸嘴呈等边三角分布。
10.根据权利要求1-9任一所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述牙叉采用陶瓷牙叉或铝制牙叉。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆吸附结构，其特征在于，包括牙叉，所述牙叉内开设有真空通道，所述牙叉包括连接部以及设于所述连接部一端的叉头部，所述叉头部上开设有与所述真空通道连通的安装孔，所述安装孔内设有橡胶吸嘴，其中，所述牙叉包括分别设于所述安装孔内缘两端的卡环部和止挡环部，所述卡环部和所述止挡环部之间构造出环状卡沟；所述橡胶吸嘴包括呈圆管状的气管以及设于所述气管一端呈喇叭状的吸头，所述气管另一端插入所述安装孔内与所述真空通道连通，且所述气管外周具有沿自身径向上间隔设置的上密封环部和下密封环部，所述上密封环部和所述下密封环部之间构造出用于密封卡接所述卡环部的环状密封槽，所述下密封环部密封卡接在所述环状卡沟。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述环状密封槽的横截面呈鸠尾状。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆吸附结构,其特征在于，所述环状密封槽具有相对的上侧槽面和下侧槽面，所述上侧槽面从所述环状密封槽的腔口向上倾斜延伸至所述环状密封槽的腔底，所述下侧槽面包括靠近所述环状密封槽的腔口的平面段以及从所述平面段尾端向下倾斜延伸至所述环状密...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾麒文，洪成都，
申请(专利权)人：苏州桔云科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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