【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅微电容传声器芯片,包括硅基片及其上的穿孔背板、隔离层、振动膜和电极,所述隔离层位于所述穿孔背板和所述振动膜之间,用以提供所述穿孔背板和所述振动膜之间的空气隙,所述穿孔背板包括一掺杂层且具有由多个声学孔组成的声学孔图案;其特征在于,所述穿孔背板上的声学孔是刻蚀一连续的掺杂层形成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:乔东海,田静,徐联,汪承灏,
申请(专利权)人:中国科学院声学研究所,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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