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电容式微型硅麦克风及制备方法技术

技术编号:3680073 阅读:217 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种电容式微型硅麦克风及制备方法,其包括用于形成电容的一极且具有导电功能的背极板、用于形成所述电容的另一极且具有导电功能的振动膜、用于起绝缘支撑作用的位于所述振动膜与所述背极板之间且支撑在所述振动膜的中部的绝缘支撑体、以及分别形成在所述振动膜及所述背极板上的多个金属压点,由于绝缘支撑体的支撑在振动膜中部,而非传统的在振动膜四周支撑,可使振动膜对残余应力不敏感且提高设计灵活性,同时在相同灵敏度情况下可减小芯片面积。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电容式微型硅麦克风,其特征在于包括:    具有导电功能的背极板,用于形成电容的一极;    具有导电功能的振动膜,用于形成所述电容的另一极;    绝缘支撑体,形成在所述振动膜与所述背极板之间,且支撑在所述振动膜的中部;    多个金属压点,分别形成在所述振动膜及所述背极板上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:胡维李刚
申请(专利权)人:胡维李刚
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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