当前位置: 首页 > 专利查询>胡维专利>正文

电容式微型硅麦克风及其制备方法技术

技术编号:3680055 阅读:268 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种电容式微型硅麦克风及其制备方法,其包括用于作为电容的一极且具有导电功能的背极板、用于作为所述电容的另一极且具有导电功能的振动膜、支撑在所述振动膜的边缘且与所述振动膜及所述背极板固定连接的多个绝缘支撑体,同时在所述振动膜开设有窄槽,由此可使振动膜对残余应力不敏感且提高设计灵活性,同时在相同灵敏度情况下可减小芯片面积。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电容式微型硅麦克风,包括:用于作为电容的一极且具有导电功能的背极板、用于作为所述电容的另一极且具有导电功能的振动膜、及支撑在所述振动膜的边缘的多个绝缘支撑体,其特征在于:    所述多个绝缘支撑体与所述振动膜及所述背极板固定连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:胡维李刚
申请(专利权)人:胡维李刚
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1