压力传感器及其制造方法技术

技术编号:3679824 阅读:118 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种压力传感器(例如,电容式传声器)及其制造方法。该压力传感器包括:具有固定电极的板;具有相对于该固定电极设置的移动电极的膜片,其中该膜片经历由于施加于其的压力变化引起的位移;以及支撑,具有形成第一腔体的第一内壁,该板的端部固定在第一腔体中;以及第二内壁,其中台阶部沿该膜片的相对于该第一内壁的厚度方向形成,且该第二内壁形成第二腔体,在该膜片的平面方向上该第二腔体的截面积大于该第一腔体的截面积。该第一和第二腔体可以被重新设计为通过通道相互连通,由此使得可以同时改善压力传感器的低频特性和高频特性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压力传感器,包括:    具有固定电极的板;    具有相对于所述固定电极设置的移动电极的膜片,其中所述膜片经历由于施加于其的压力变化引起的位移;以及    支撑,具有形成第一腔体的第一内壁,在第一腔体中所述板的端部固定;以及第二内壁,其中台阶部沿所述膜片的相对于所述第一内壁的厚度方向形成,且所述第二内壁形成第二腔体,在所述膜片的平面方向上所述第二腔体的截面积大于所述第一腔体的截面积。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:植屋夕辉
申请(专利权)人:雅马哈株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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