压力传感器及其制造方法技术

一种压力传感器(10)，包括容纳在本体(14)和保持器(16)之间的陶瓷传感器(18)。在传感器(18)的端表面(38a)上，多个电阻体(40a‑40d)通过丝网印刷并使用厚膜电阻浆料沿直线被印刷和烧结。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于检测流入流体通道的压力流体的压力的压力传感器及其制造方法。
技术介绍
迄今为止，在使用水、油和化学溶液等的生产线上，压力传感器被用于测量这些流体的压力。这种压力传感器，例如在欧洲专利No.2175252中公开的，包括陶瓷传感器，该陶瓷传感器的表面上布置多个电阻体，并且在该传感器容纳在本体内部的状态下，电阻体根据通过端口引入本体内部的压力流体的压力发生变形，该压力通过对应于上述变形的输出电压被检测。例如，电阻体通过厚膜印刷，比如丝网印刷等技术印刷以便相对于传感器以大体菱形的形状排列并在此后被烧结而形成。
技术实现思路
然而，对于以上描述的压力传感器，由于多个电阻体以大体菱形形状排列，当在丝网印刷期间，电阻体通过印刷掩膜使用浆料印刷时，由于其排列，该电阻体不能同时印刷，并且印刷时间会发生小偏差。因此，由于电阻体的印刷时间的这种偏差，各个电阻体的印刷条件发生差异，并且电阻体的厚度变得不一致。因此，各个电阻体的阻抗值发生变化，从而使得调整其阻抗值的操作变得复杂，导致降低生产率。本专利技术的主要目的是提供一种压力传感器，其中可以容易地且一致地生产多个电阻体，借此能够提高产品本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力传感器(10)，其特征在于，包含：本体(14)，所述本体(14)包括引入压力流体的流体通道(12)；和陶瓷传感器(18)，所述传感器(18)布置在所述本体(14)的一端，并且包括面向所述流体通道(12)的薄膜隔膜部分(56)；其中，通过厚膜印刷技术印刷的多个电阻体(40a至40d)沿直线设置在所述隔膜部分(56)上，并以预定距离互相分离。

【技术特征摘要】
2015.09.18 JP 2015-1856861.一种压力传感器(10)，其特征在于，包含：本体(14)，所述本体(14)包括引入压力流体的流体通道(12)；和陶瓷传感器(18)，所述传感器(18)布置在所述本体(14)的一端，并且包括面向所述流体通道(12)的薄膜隔膜部分(56)；其中，通过厚膜印刷技术印刷的多个电阻体(40a至40d)沿直线设置在所述隔膜部分(56)上，并以预定距离互相分离。2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述电阻体(40a至40d)以一行或者多行设置。3.一种用于制造压力传感器的制造方法，所述压...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤充浩，大岛裕太，山岸健，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP