驻极体电容麦克风及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种用于制造能够进行软熔安装的驻极体电容麦克风的方法。该方法具有：准备具备背面电极的背面电极基板的第一工序；准备在具有进行了湿式或干式化学腐蚀处理后的表面的膜状含氟树脂体上层叠粘合剂层而作成的带粘合剂含氟树脂体的第二工序；隔着上述粘合剂层，在上述背面电极基板的上述背面电极上层叠上述带粘合剂含氟树脂体的第三工序；使上述粘合剂层固化，将上述含氟树脂体固着到上述背面电极基板的背面电极上的第四工序；对固着在背面电极上的上述含氟树脂体进行带电处理的第五工序。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及耐热性优越的。
技术介绍
以前，已知相对地配置作为振动板的膜片和驻极层(积蓄电荷的树脂层)而构成电容来作为振动检测装置的驻极体电容麦克风。现有的驻极体电容麦克风(以下简称为ECM)例如如特开2002-345087号公报所揭示的那样，在形成作为带电树脂体的驻极层时，有以下的方式在作为检测电极的金属制的背面基板上形成树脂层，对该树脂层进行带电处理，由此形成驻极层的方式(参考该公报的图3)；在树脂制或陶瓷制的背面基板上形成背面电极的膜(参考该公报的图1)，在该背面电极上形成上述驻极层的方式。在安装在民用设备等中的情况下，通常用焊料将具有上述驻极层的ECM安装在安装有其他电气元件的电路基板上。在进行安装的情况下，为了降低成本，要求用软熔炉进行焊料安装。但是，在基于软熔炉(reflow oven)的焊料安装中，由于在160℃～180℃下加热约100秒，然后在250℃下加热约10秒，所以在驻极层上起电的电荷减少，由此有无法维持麦克风的性能的问题，即驻极层的耐热性低的问题。为了解决这样的问题，以前提出了若干种提案。例如在特表2001-518246号公报中揭示的ECM揭示了代替耐热性低的有机质的树脂体而使用了无机质的硅酮树脂的驻极层。但是，硅酮树脂与有机质的树脂体相比价格高。另外，在特开2000-32596号公报中，揭示对现有的有机质的带电树脂层(驻极层)进行改进而能够基于软熔装置进行焊料安装的ECM。即，在该ECM中，在背面基板的金属板上熔接用于构成驻极层的有机质的树脂体，在使其带电前，在约200℃下实施1～6小时左右的高温退火，然后使其带电成为耐热性高的该带电树脂层。另外，在特开2005-191467号公报中，揭示了在金属板上顺序地熔接具有耐热性的作为驻极体用树脂材料的聚四氟乙烯(以下简称为PTFE)的膜，形成由2层或以上的PTFE构成的带电用树脂层的方法。在该方法中，为了改善金属板和PTFE膜的粘合性差的情况，而在370～390℃的高温下熔接第一层的PTFE膜，在该熔接了的第一层的PTFE膜上，在比上述第一层的熔接温度低的330～350℃下熔接第二层的PTFE膜。另外，在上述特开2005-191467号公报中，揭示了提高PTFE膜与金属板的粘合性的方法。另外，作为一个方法，记载了在金属板与PTFE膜之间设置热可塑性树脂的粘合层，但在该公报的第0009段落中，有“设置该粘合层并不能得到作为固定电极的希望的特性，另外带电特性恶化”的记载。可以认为这是因为在隔着热可塑性树脂的粘合层将PTFE膜粘合到金属板上后，如果将该金属板冲切(die-cut)加工为需要的电极形状，则由于冲切加工的冲击力而粘合层产生变形，对作为驻极层的PTFE膜的特性产生恶劣影响。另外，近年来，着眼于上述PTFE膜等的含氟树脂体其耐热性和耐湿性优越而作为防湿密封材料的需求提高，为了改善其粘合性差的情况，作为在液体氨中用碱金属氨基化合物对表面进行表面处理而使其活性化了的材料，正在销售层叠了粘合剂的带有粘合剂的含氟树脂体膜。将该带有粘合剂的含氟树脂体膜用作高温和高湿等条件的恶劣环境下的胶带材料。在上述现有技术所揭示的技术，即通过熔接而在金属板的表面上固着驻极材料膜，通过压力(press)加工而对固着了该驻极材料膜的金属板进行冲切，构成电极形状的背面电极的技术中，有以下这样的缺点。即，通过熔接而将驻极材料膜直接粘贴到作为电极的金属板上，因此如果在带电处理后有很大的温度变化，则上述金属板的热膨胀对驻极材料膜产生影响，驻极材料膜通过分子运动所带的电荷丢失。另外，在用于进行形状加工的压力加工等金属切断加工中，在固着了的驻极材料膜中产生内部变形，带电状态变得不稳定而成为电荷减少的原因。另外，在特开2002-345087号公报的图1中，揭示了以下的结构在树脂制或陶瓷制的背面基板上形成背面电极的膜，在该背面电极上形成上述驻极层。但并没有具体说明形成驻极层的膜的方法。进而，作为提高耐热性而改善电荷减少的方法，特开2000-32596号公报所揭示的技术基本是对树脂的退火技术，因此需要在高温下长时间放置，在制造时间长的缺点以外，随着时间管理、温度管理的变化而产品稳定性也有问题。另外，特开2005-191467号公报所揭示的技术需要在金属板的上面至少熔接2层或以上的驻极材料膜，使熔接温度变化的多次熔接工序的生产性差，最终需要通过机械加工进行金属板的切断加工。因此，本专利技术人对不降低生产性地制造能够进行软熔安装的耐热性优越的ECM的方法进行了研究，其结果关注于上述正在销售的在液体氨中用碱金属氨基化合物进行了表面处理的带粘合剂含氟树脂体膜。即，使用该带粘合剂含氟树脂体膜能够制造出最大限地体现其优越的带电特性的ECM。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种制造容易并且耐热性优越，能够对应作为现有技术困难的软熔安装高温问题的ECM及其制造方法。即，本专利技术提供一种驻极体电容麦克风的制造方法，其特征在于包括准备具备背面电极的背面电极基板的第一工序；准备在具有进行了湿式或干式化学腐蚀处理后的表面的膜状含氟树脂体上层叠粘合剂层(adhesive)而作成的带粘合剂含氟树脂体的第二工序；隔着上述粘合剂层，在上述背面电极基板的上述背面电极上层叠上述带粘合剂含氟树脂体的第三工序；使上述粘合剂层固化，将上述含氟树脂体固着到上述背面电极基板的背面电极上的第四工序；对固着在上述背面电极上的上述含氟树脂体进行带电处理的第五工序。即，在该方法中，使用耐热性高的含氟树脂体。另外，该含氟树脂体对其表面进行了腐蚀处理，因此能够确实地使该含氟树脂体和背面电极粘合在一起。因此，即使在软熔炉中对通过该方法作成的驻极体电容麦克风进行加热处理，也能够将该含氟树脂体维持为材料稳定的状态，能够降低该含氟树脂体中的电荷减少，能够有效地将加热处理后的含氟树脂体作为驻极体使用。另外，该方法在制作这样的驻极体电容麦克风时，与现有的制造方法相比，其工序简单。第二工序可以具有与背面电极的形状一致地对上述带粘合剂含氟树脂体进行成形的工序。作为含氟树脂体，可以是从聚四氟乙烯、四氟乙烯与六氟丙稀的共聚物、四氟乙烯与全氟烷基乙烯醚的共聚物的组中选择的一个。上述第二工序可以具有对膜状的含氟树脂体的表面进行湿式或干式化学腐蚀处理的腐蚀工序。该腐蚀处理可以是在含有碱金属离子的溶液中浸渍含氟树脂体而进行的湿式化学腐蚀处理。该情况下的碱金属可以是锂、钠、钾的任意一个。另外，含有碱金属离子的溶液可以是含有氨、萘或菲的溶液的任意一个的溶液。粘合剂可以是具有高分子量的有机系粘合剂。具体地说，理想的是粘合剂是丙稀系或硅酮系粘合剂。上述第四工序可以具有在180℃～250℃下对含氟树脂体进行加热而固化的工序。更具体地说，理想的是第四工序具有在210℃～235℃下对含氟树脂体进行加热而固化的工序。本专利技术还提供一种驻极体电容麦克风的制造方法，其特征在于包括准备具有排列为栅格状的多个电路基板的集合电路基板的第一工序；准备具有与上述集合电路基板的电路基板对应地排列为栅格状的多个背面电极基板的集合背面电极基板的第二工序，其中该集合背面电极基板的各背面电极基板具有背面电极和具有进行了化学腐蚀处理的表面的膜状的含氟树脂体，该含氟树脂体通过隔着粘合剂层层叠到该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驻极体电容麦克风的制造方法，其特征在于包括：准备具备背面电极的背面电极基板的第一工序；准备在具有进行了湿式或干式化学腐蚀处理后的表面的膜状含氟树脂体上层叠粘合剂层而作成的带粘合剂含氟树脂体的第二工序；隔着上述粘合 剂层，在上述背面电极基板的上述背面电极上层叠上述带粘合剂含氟树脂体的第三工序；使上述粘合剂层固化，将上述含氟树脂体固着到上述背面电极基板的背面电极上的第四工序；对固着在背面电极上的上述含氟树脂体进行带电处理的第五工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：土屋裕纪，
申请(专利权)人：株式会社西铁城电子，
类型：发明
国别省市：JP[日本]