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一种电容式微型硅麦克风及制备方法，其包括用于形成电容的一极且具有导电功能的背极板、用于形成所述电容的另一极且具有导电功能的振动膜、用于起绝缘支撑作用的位于所述振动膜与所述背极板之间且支撑在所述振动膜的中部的绝缘支撑体、以及分别形成在所述振动...
该专利属于胡维;李刚所有，仅供学习研究参考，未经过胡维;李刚授权不得商用。

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