用于衬底处理系统的处理模块偏置组件的滑动和枢转组件技术方案

一种滑动和枢转组件，其用于衬底处理系统的处理模块偏置组件，所述滑动和枢转组件包含滑动扭矩板、一条或更多条轨道及轴承、偏置安装板以及铰链组件。该一条或更多条轨道和轴承附接于所述滑动扭矩板或处理室。偏置安装板被配置成保持用于处理衬底的处理模块的一部分。铰链组件附接于所述滑动扭矩板和所述偏置安装板。所述滑动扭矩板、所述偏置安装板和所述铰链组件被配置成相对于所述处理室在横向方向上经由所述一条或更多条轨道与所述轴承滑动。所述偏置安装板被配置成当所述滑动和枢转组件处于至少部分拉出状态中相对于所述滑动扭矩板而枢转。扭矩板而枢转。扭矩板而枢转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于衬底处理系统的处理模块偏置组件的滑动和枢转组件
相关申请的交叉引用
[0001]本申请要求于2020年4月6日提交的美国临时申请No.63/005,688的权益。上述引用的申请其全部公开内容都通过引用合并于此。


[0002]本公开涉及允许对衬底处理系统的处理室的处理模块以及内部进行访问的滑动和枢转组件。

技术介绍

[0003]这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。当前指定的专利技术人的工作在其在此
技术介绍
部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面中描述的范围内既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。
[0004]衬底处理系统可用于处理衬底，例如半导体晶片。可以在衬底上执行的示例性工艺包括但不限于化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)、导体蚀刻和/或其他蚀刻、沉积或清洁工艺。衬底可以布置在衬底处理系统的处理室中的衬底支撑件上，例如基座、静电卡盘(ESC)等上。在蚀刻期间，可以将包括一种或多种前体的气体混合物引入处理室中，并且可以使用等离子体来引发化学反应。

技术实现思路

[0005]提供了一种滑动和枢转组件，其用于衬底处理系统的处理模块偏置组件。所述滑动和枢转组件包含：滑动扭矩板；一条或更多条轨道和轴承，其被配置成附接于所述滑动扭矩板或处理室；偏置安装板，其被配置成保持用于处理衬底的处理模块的一部分；以及铰链组件，其附接于所述滑动扭矩板和所述偏置安装板。所述滑动扭矩板、所述偏置安装板和所述铰链组件被配置成相对于所述处理室在横向方向上经由所述一条或更多条轨道与所述轴承滑动。所述偏置安装板被配置成当所述滑动和枢转组件处于至少部分拉出状态中时相对于所述滑动扭矩板而枢转。
[0006]在其他特征中，所述铰链组件包含：第一铰链构件，其附接于所述滑动扭矩板；以及第二铰链构件，其附接于所述偏置安装板，并且连接以相对于所述第一铰链构件枢转。所述偏置安装板和所述第二铰链构件被配置成当所述滑动和枢转组件处于完全拉出状态中时相对于所述滑动扭矩板与所述第一铰链构件枢转。
[0007]在其他特征中，所述滑动和枢转组件还包含附接于所述滑动扭矩板的销。所述第一铰链构件被配置成相对于所述销转动，以补偿在所述偏置安装板中的下垂(sag)。在其他特征中，所述铰链组件包含一个或更多个调整螺丝，其用于调整相对于所述滑动扭矩板的所述第一铰链构件的倾斜角度。
[0008]在其他特征中，所述滑动和枢转组件还包含动作连锁机构，其附接于所述滑动扭矩板并且被配置成：将所述滑动扭矩板、所述铰链组件以及所述偏置安装板相对于所述处
理室保持在拉出状态；以及如果预定量的横向力施加于所述偏置安装板，则使得所述滑动扭矩板、所述铰链组件以及所述偏置安装板能从拉出位置滑动至推入位置。
[0009]在其他特征中，所述动作连锁机构被配置成：当处于接合状态时，防止所述第二铰链构件与所述偏置安装板相对于所述第一铰链构件与所述滑动扭矩板枢转；以及当处于脱离状态时，允许所述第二铰链构件与所述偏置安装板相对于所述第一铰链构件与所述滑动扭矩板枢转。
[0010]在其他特征中，所述动作连锁机构包含：附接杆，其附接到所述滑动扭矩板上；闩锁杆；以及弹簧，其被配置成在所述滑动扭矩板处于拉出状态时使所述闩锁杆能相对于所述附接杆转动至脱离位置。
[0011]在其他特征中，所述动作连锁机构还包含锁扣支架，所述锁扣支架附接到所述第二铰链构件上；以及所述闩锁杆。所述闩锁杆被配置成：当所述偏置安装板处于完全非转动状态下时，与所述锁扣支架接合，并且从完全拉出位置将所述滑动扭矩板推入；以及当所述滑动扭矩板被拉出至所述完全拉出位置时，与所述锁扣支架脱离。
[0012]在其他特征中，所述动作连锁机构还包含切换停止支架和弹簧。所述闩锁杆包含停止凸缘或销。当所述第二铰链构件枢转远离关闭位置时，所述弹簧使所述切换停止支架滑动以接触所述闩锁杆，从而防止所述闩锁杆从滑动锁定位置转动，并且防止所述闩锁杆与所述锁扣支架的接合。当过渡至所述关闭位置时，所述第二铰链构件推动所述切换停止支架，从而挤压所述弹簧并且移动所述切换停止支架，以使得所述闩锁杆能转动离开所述滑动锁定位置，并且使得所述闩锁杆能与所述锁扣支架接合。
[0013]在其他特征中，所述一条或更多条轨道包含两条轨道，其安装于所述滑动扭矩板上，且被配置为搭载于(ride on)被安装在所述处理室上的轴承座上。在其他特征中，所述铰链组件包含枢转锁组件，其用于将所述铰链组件锁定在多种状态中，所述多种状态包含关闭状态和开启状态。
[0014]在其他特征中，所述滑动和枢转组件还包含滑动锁组件，其用于相对于所述处理室将所述滑动扭矩板锁定在多种状态中，所述多种状态包含推入状态和拉出状态。在其他特征中，所述滑动锁组件包含柱塞与滚子，所述柱塞与滚子延伸进入在所述滑动扭矩板中的凹槽中。在其他特征中，所述偏置安装板将所述处理室的开启侧关闭。
[0015]在其他特征中，所述滑动和枢转组件还包含螺旋千斤顶组件(ajack screw assembly)，其附接于所述偏置安装板，并且被配置为使所述偏置安装板从所述处理室脱离。在其他特征中，所述螺旋千斤顶组件包含：螺旋千斤顶块，其附接于所述偏置安装板；以及千斤顶螺丝，其延伸进入所述螺旋千斤顶块，并穿过所述偏置安装板，且耦合至所述处理室。
[0016]在其他特征中，所述千斤顶块具有相对于所述千斤顶螺丝的两个位置，该两个位置包含第一位置和第二位置，所述第一位置与将所述偏置安装板附接于所述处理室相关，所述第二位置与将所述偏置安装板顶离所述处理室相关。
[0017]在其他特征中，所述滑动和枢转组件还包含：对准销；以及套管，其被配置为接收所述对准销。所述千斤顶螺丝被配置为当转动时：(i)将所述对准销拉或推入所述套管，以相对于所述处理室对准所述偏置安装板，以及(ii)当开启所述处理室时，从所述套管释放所述对准销。
[0018]在其他特征中，所述滑动和枢转组件还包含：一个或更多个对准销，其附接于所述处理室或所述偏置安装板；以及一个或更多个套管，其分别用于接收所述一个或更多个对准销。所述一个或更多个对准销当被接收于所述一个或更多个套管中时将所述偏置安装板与所述处理室对准。
[0019]在其他特征中，所述铰链组件包含一个或更多个轴承组件。在其他特征中，一种衬底处理系统被提供，且包含所述滑动和枢转组件、所述处理室以及衬底支撑件，其附接于所述偏置安装板，并且被配置以保持所述衬底。
[0020]在其他特征中，所述滑动和枢转组件还包含：凸轮从动件，其被配置为附接于所述处理室；以及支架，其被配置为附接于所述处理室。所述一条或更多条轨道包含两个中间构件，其附接于或整体形成为所述滑动扭矩板的部分，并且沿着所述滑动扭矩板的顶边缘与底边缘横向延伸。所述支架被配置为与所述处理室的侧壁形成通道，并且维持所述滑动扭矩板不移动远离所述处理室。所述凸轮从动件被设置在所述通道中。所述滑动扭矩板与所述中间构件通过所述凸轮从动件并且相对于所述处理室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种滑动和枢转组件，其用于衬底处理系统的处理模块偏置组件，所述滑动和枢转组件包含：滑动扭矩板；一条或更多条轨道，其被配置成附接于所述滑动扭矩板或处理室，或整体形成作为所述滑动扭矩板或处理室的部分；轴承，其邻近所述一条或更多条轨道设置；偏置安装板，其被配置成保持用于处理衬底的处理模块的一部分；以及铰链组件，其附接于所述滑动扭矩板和所述偏置安装板，其中，所述滑动扭矩板、所述偏置安装板和所述铰链组件被配置成相对于所述处理室在横向方向上经由所述一条或更多条轨道与所述轴承滑动，并且其中，所述偏置安装板被配置成当所述滑动和枢转组件处于至少部分拉出状态中时相对于所述滑动扭矩板而枢转。2.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其中：所述铰链组件包含第一铰链构件，其附接于所述滑动扭矩板，以及第二铰链构件，其附接于所述偏置安装板，并且连接以相对于所述第一铰链构件枢转；并且所述偏置安装板和所述第二铰链构件被配置成当所述滑动和枢转组件处于完全拉出状态中时相对于所述滑动扭矩板与所述第一铰链构件枢转。3.根据权利要求2所述的滑动和枢转组件，其还包含附接于所述滑动扭矩板的销，其中，所述第一铰链构件被配置成相对于所述销转动，以补偿在所述偏置安装板中的下垂。4.根据权利要求3所述的滑动和枢转组件，其中所述铰链组件包含一个或更多个调整螺丝，其用于调整相对于所述滑动扭矩板的所述第一铰链构件的倾斜角度。5.根据权利要求2所述的滑动和枢转组件，其还包含动作连锁机构，其附接于所述滑动扭矩板并且被配置成：将所述滑动扭矩板、所述铰链组件以及所述偏置安装板相对于所述处理室保持在拉出状态；以及如果预定量的横向力施加于所述偏置安装板，则使得所述滑动扭矩板、所述铰链组件以及所述偏置安装板能从拉出位置滑动至推入位置。6.根据权利要求5所述的滑动和枢转组件，其中所述动作连锁机构配置成：当在接合状态中，防止所述第二铰链构件与所述偏置安装板相对于所述第一铰链构件与所述滑动扭矩板枢转；以及当在脱离状态中，允许所述第二铰链构件与所述偏置安装板相对于所述第一铰链构件与所述滑动扭矩板枢转。7.根据权利要求5所述的滑动和枢转组件，其中所述动作连锁机构包含：附接杆，其附接到所述滑动扭矩板上；以及闩锁杆，其在所述滑动扭矩板处于拉出状态时能相对于所述附接杆转动至脱离位置。8.根据权利要求7所述的滑动和枢转组件，其中：
所述动作连锁机构还包含锁扣支架，所述锁扣支架附接到所述第二铰链构件上；以及所述闩锁杆被配置成：当所述偏置安装板处于完全非转动状态下时，与所述锁扣支架接合，并且从完全拉出位置将所述滑动扭矩板推入；以及当所述滑动扭矩板被拉出至所述完全拉出位置时，与所述锁扣支架脱离。9.根据权利要求8所述的滑动和枢转组件，其中：所述动作连锁机构还包含切换停止支架和弹簧；所述闩锁杆包含停止凸缘或销；当所述第二铰链构件枢转远离关闭位置时，所述弹簧使所述切换停止支架滑动以接触所述闩锁杆，从而防止所述闩锁杆从滑动锁定位置转动，并且防止所述闩锁杆与所述锁扣支架的接合；并且当过渡至所述关闭位置时，所述第二铰链构件推动所述切换停止支架，从而挤压所述弹簧并且移动所述切换停止支架，以使得所述闩锁杆能转动离开所述滑动锁定位置，并且使得所述闩锁杆能与所述锁扣支架接合。10.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其中所述一条或更多条轨道包含两条轨道，其安装于所述滑动扭矩板上，且被配置为搭载于被安装在所述处理室上的轴承座上。11.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其中所述铰链组件包含枢转锁组件，其用于将所述铰链组件锁定在多种状态中，所述多种状态包含关闭状态和开启状态。12.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其还包含滑动锁组件，其用于相对于所述处理室将所述滑动扭矩板锁定在多种状态中，所述多种状态包含推入状态和拉出状态。13.根据权利要求12所述的滑动和枢转组件，其中所述滑动锁组件包含柱塞与滚子，所述柱塞与滚子延伸进入在所述滑动扭矩板中的凹槽中。14.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其中所述偏置安装板将所述处理室的开启侧关闭。15.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其还包含螺旋千斤顶组件，其附接于所述偏置安装板，并且被配置为使所述偏置安装板从所述处理室脱离。16.根据权利要求15所述的滑动和枢转组件，其中所述螺旋千斤顶组件包含：螺旋千斤顶块，其附接于所述偏置安装板；以及千斤顶螺丝，其延伸进入所述螺旋千斤顶块，并穿过所述偏置安装板，且耦合至所述处理室。17.根据权利要求16所述的滑动和枢转组件，其中所述螺旋千斤顶块具有相对于所述千斤顶螺丝的两个位置，该两个位置包含第一位置和第二位置，所述第一位置与将所述偏置安装板附接于所述处理室相关联，所述第二位置与将所述偏置安装板顶离所述处理室相关联。18.根据权利要求16所述的滑动和枢转组件，其还包含：对准销；以及套管，其被配置为接收所述对准销，其中，所述千斤顶螺丝被配置为当转动时：将所述对准销拉或推入所述套管，以相对于所述处理室对准所述偏置安装板，以及
当开启所述处理室时，从所述套管释放所述对准销。19.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其还包含：一个或更多个对准销，其附接于所述处理室或所述偏置安装板；以及一个或更多个套管，其分别用于接收所述一个或更多个对准销，其中，所述一个或更多个对准销当被接收于所述一个或更多个套管中时将所述偏置安装板与所述处理室对准。20.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其中，所述铰链组件包含一个或更多个轴承组件。21.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其还包含：凸轮从动件，其被配置为附接于所述处理室；以及多个支架，其被配置为附接于所述处理室，其中所述一条或更多条轨道包含两个中间构件，其附接于或整体形成为所述滑动扭矩板的部分，并且沿着所述滑动扭矩板的顶边缘与底边缘横向延伸，所述多个支架被配置为与所述处理室的侧壁形成通道，并且维持所述滑动扭矩板不移动离开所述处理室，所述凸轮从动件被设置在所述通道中，并且所述滑动扭矩板与所述中间构件通过所述凸轮从动件并且相对于所述处理室与所述多个支架而滑动。22.根据权利要求1所述的滑动和枢转组件，其还包含：多个轨道滚子，其被配置为附接于所述处理室，并且包含“V”形沟槽；以及多个支架，其被配置为附接于所述处理室，并且与所述处理室的侧壁形成通道，所述多个支架维持所述滑动扭矩板不移动远离所述处理室，其中所述一条或更多条轨道被附接于或整体形成为所述滑动扭矩板的部分，并且在所述“V”形沟槽中滑动，并且所述滑动扭矩板通过所述一条或更多条轨道与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：大卫，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：