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一种滑动和枢转组件，其用于衬底处理系统的处理模块偏置组件，所述滑动和枢转组件包含滑动扭矩板、一条或更多条轨道及轴承、偏置安装板以及铰链组件。该一条或更多条轨道和轴承附接于所述滑动扭矩板或处理室。偏置安装板被配置成保持用于处理衬底的处理模块的...
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