高真空阀门制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高真空阀门，所述高真空阀门设置于半导体溅射台中相邻的高真空腔体间，或设置于高真空腔体与冷泵间；所述高真空阀门包括：框体；在所述框体相对的两侧，分别设有第一滑轮和第二滑轮，每一侧的所述第一滑轮和所述第二滑轮沿第一方向排列，且所述第一滑轮的轴线和所述第二滑轮的轴线垂直设置；压板组件，所述压板组件与所述框体转动连接，所述压板组件能在气缸的推动下背离所述框体运动至与门框相抵。该高真空阀门能够灵活移动，实现高真空腔体间或高真空腔体和冷泵间的快速隔断。快速隔断。快速隔断。

【技术实现步骤摘要】
高真空阀门


[0001]本技术涉及半导体溅射台领域，尤其涉及设置于半导体溅射台内的一种高真空阀门。

技术介绍

[0002]在半导体溅射台的高真空腔体间或高真空腔体与冷泵间设置有高真空阀门，现有的高真空阀门在驱动机构的驱动下运动不灵活，不能实现快速开启或关闭。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术中的缺陷，本技术实施例提供了一种高真空阀门，该高真空阀门能够灵活移动，实现高真空腔体间或高真空腔体和冷泵间的快速隔断。
[0004]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种高真空阀门，所述高真空阀门设置于半导体溅射台中相邻的高真空腔体间，或设置于高真空腔体与冷泵间；所述高真空阀门包括：
[0005]框体；在所述框体相对的两侧，分别设有第一滑轮和第二滑轮，每一侧的所述第一滑轮和所述第二滑轮沿第一方向排列，且所述第一滑轮的轴线和所述第二滑轮的轴线垂直设置；
[0006]压板组件，所述压板组件与所述框体转动连接，所述压板组件能在气缸的推动下背离所述框体运动至与门框相抵。
[0007]优选地，每一侧至少设有一个所述第一滑轮和一个所述第二滑轮。
[0008]进一步优选地，每一侧均包括有两个所述第一滑轮和两个所述第二滑轮。
[0009]进一步优选地，每一侧的两个所述第二滑轮位于两个所述第一滑轮间。
[0010]进一步优选地，位于所述框体两侧的所述第一滑轮、所述第二滑轮分别相对设置。
[0011]上述技术方案中，在所述框体沿所述第一方向滑动时，所述第一滑轮、所述第二滑轮分别沿其接触的内壁同时转动。
[0012]上述技术方案中，所述压板组件包括连接板，设于所述连接板上的密封板，在所述密封板上设有凹槽，位于所述凹槽内的密封环，所述密封环在高真空阀门处于关闭状态时与门框相抵。
[0013]优选地，所述连接板的底部设有第三滑轮，所述第三滑轮用于使所述连接板沿第二方向滑动，所述第二方向与所述第一方向相垂直。
[0014]优选地，所述密封板与所述连接板间通过多个调节螺栓连接。
[0015]由于上述技术方案运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：
[0016]1.本技术中通过在框体相对的两侧分别设置第一滑轮、第二滑轮，每一侧沿第一方向排列的第一滑轮、第二滑轮分别与其对应的内壁相接触，从而在高真空阀门受到拉力作用时，在滑轮的作用下，能够更为灵活的运动，减少高真空阀门开启或闭合的时间。
[0017]2.将两侧的滑轮相对设置，保证高真空阀门受力平衡、运行稳定。
[0018]3.在密封板上设置密封环，及通过调节螺栓调节密封板的平整度，保证密封性能。
[0019]为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1是本技术实施例一中高真空阀门结构示意图一；
[0022]图2是本技术实施例一中高真空阀门结构示意图二；
[0023]图3是本技术实施例一中框体结构示意图；
[0024]图4是本技术实施例一中压板组件示意图。
[0025]以上附图的附图标记：1、框体；11、第一滑轮；12、第二滑轮；13、边框；14、连接条；2、压板组件；21、连接板；22、密封板；221、凹槽；23、第三滑轮；24、调节螺栓。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]实施例一：参见图1～4所示，一种高真空阀门，所述高真空阀门设置于半导体溅射台中相邻的高真空腔体间，或设置于高真空腔体与冷泵间。所述高真空阀门包括框体1和压板组件2。
[0028]所述框体1由多个边框13围成，在所述边框13内平行设有多个连接条14。在所述框体1相对的两侧，分别设有第一滑轮11和第二滑轮12，每一侧的所述第一滑轮11和所述第二滑轮12沿第一方向排列，且所述第一滑轮11的轴线和所述第二滑轮12的轴线垂直设置。参见图3所示，同一侧的所述第一滑轮11、第二滑轮12分别位于所述框体1的两个侧面上。具体的，同一侧的所述第一滑轮11、第二滑轮12可设置于同一边框13上，或垂直设置的两个边框13上。
[0029]在实际使用时，所述框体1设置于一外框内，所述第一滑轮11、所述第二滑轮12的外周分别与外框中垂直相连的两个内壁相接触，从而在框体1受到第一方向的拉力作用时，所述第一滑轮11、所述第二滑轮12分别沿其对应的内壁滑动，即，实现第一滑轮11、第二滑轮12分别沿其接触的内壁同时转动。与由驱动机构直接拉动高真空阀门相比，滑轮的设置使高真空阀门在拉力作用下活动更为灵活。且在多个面设置滑轮，进一步提高了高真空阀门运动的灵活性。
[0030]所述压板组件2与所述框体1转动连接，使所述压板组件2能在气缸的推动下背离所述框体1运动至与门框相抵。具体的，所述压板组件2平行内嵌于所述框体1上，与连接条14件转动连接。
[0031]在一个可选地实施方式中，每一侧至少设有一个所述第一滑轮11和一个所述第二滑轮12。优选地，每一侧均包括有两个所述第一滑轮11和两个所述第二滑轮12。进一步优选地，每一侧的两个所述第二滑轮12位于两个所述第一滑轮11间。具体的，可将所述第一滑轮11、所述第二滑轮12的的中心相错设置于两个面内，防止干涉。
[0032]在一个可选地实施方式中，所述框体1在其厚度方向具有相对的第一侧和第二侧。高真空阀门包括的多个第二滑轮12位于所述第一侧，所述压板组件2位于所述框体1的第二侧。在所述压板组件2受到推力时，其背离所述第一侧运动。
[0033]为保证高真空阀门受力平衡、运行稳定，位于所述框体1两侧的所述第一滑轮11、所述第二滑轮12分别相对设置。
[0034]参见图4所示，所述压板组件2包括连接板21，设于所述连接板21上的密封板22，在所述密封板22上设有凹槽221，位于所述凹槽221内的密封环，所述密封环在高真空阀门处于关闭状态时与门框相抵，保证密封性能。
[0035]在一个可选地实施方式中，所述连接板21的底部设有第三滑轮23，所述第三滑轮23用于使所述连接板21沿第二方向滑动，所述第二方向与所述第一方向相垂直。通过第一方向，可以调节高真空阀门滑动至与门洞相对；通过第二方向可以调节高真空阀门与门洞间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高真空阀门，所述高真空阀门设置于半导体溅射台中相邻的高真空腔体间，或设置于高真空腔体与冷泵间；其特征在于，所述高真空阀门包括：框体；在所述框体相对的两侧，分别设有第一滑轮和第二滑轮，每一侧的所述第一滑轮和所述第二滑轮沿第一方向排列，且所述第一滑轮的轴线和所述第二滑轮的轴线垂直设置；压板组件，所述压板组件与所述框体转动连接，所述压板组件能在气缸的推动下背离所述框体运动至与门框相抵。2.根据权利要求1所述的高真空阀门，其特征在于：每一侧至少设有一个所述第一滑轮和一个所述第二滑轮。3.根据权利要求2所述的高真空阀门，其特征在于：每一侧均包括有两个所述第一滑轮和两个所述第二滑轮。4.根据权利要求3所述的高真空阀门，其特征在于：每一侧的两个所述第二滑轮位于两个所述第一滑轮间。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹宇，马丹，王健，
申请(专利权)人：芯材芯苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：