【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于插板阀，具体涉及高真空气动插板阀。
技术介绍
1、高真空气动插板阀，主要应用于半导体设备真空区域的隔离，如工艺腔，控制真空气体流通的气动阻隔阀，在对真空气动插板阀使用中，气缸带动齿条，转动轴杆，通过u型槽推动阀芯，在顶紧阀芯过程，致使前端作用力使阀芯闷板向前顶过90°卡死，从而起到闷板和阀体法兰面紧密贴合，起到高真空密封状态。
2、另外，该真空气动插板阀，在通过气缸对阀板进行伸缩推动后，对阀板密封的自锁效果不高，使得气缸在不启动时，会造成阀板出现复位的情况，造成阀口处出现泄漏的情况，影响对半导体设备真空区域密封效果的情况。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供高真空气动插板阀，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、高真空气动插板阀，包括阀体，所述阀体外壁滑动连接的滑动齿板，所述阀体的外壁固定连接有用于带动滑动齿板沿阀体外壁往复滑动的电动推杆，所述阀体的外壁通过连接轴旋转连接有摆动杆，所...
【技术保护点】
1.高真空气动插板阀，其特征在于，包括：阀体(1)，所述阀体(1)外壁滑动连接的滑动齿板(3)，所述阀体(1)的外壁固定连接有用于带动滑动齿板(3)沿阀体(1)外壁往复滑动的电动推杆(2)，所述阀体(1)的外壁通过连接轴旋转连接有摆动杆(5)，所述滑动齿板(3)的外壁啮合有用于带动摆动杆(5)进行旋转运动的连接齿轮(4)，所述阀体(1)的外壁滑动连接有连接板(7)，所述摆动杆(5)的一端旋转连接有用于带动连接板(7)沿阀体(1)外壁进行往复滑动的连接柱(6)，所述连接板(7)的外表面与连接柱(6)的连接部位开设有限位槽(8)，所述连接板(7)的底部设置有阀板(9)，所...
【技术特征摘要】
1.高真空气动插板阀，其特征在于，包括：阀体(1)，所述阀体(1)外壁滑动连接的滑动齿板(3)，所述阀体(1)的外壁固定连接有用于带动滑动齿板(3)沿阀体(1)外壁往复滑动的电动推杆(2)，所述阀体(1)的外壁通过连接轴旋转连接有摆动杆(5)，所述滑动齿板(3)的外壁啮合有用于带动摆动杆(5)进行旋转运动的连接齿轮(4)，所述阀体(1)的外壁滑动连接有连接板(7)，所述摆动杆(5)的一端旋转连接有用于带动连接板(7)沿阀体(1)外壁进行往复滑动的连接柱(6)，所述连接板(7)的外表面与连接柱(6)的连接部位开设有限位槽(8)，所述连接板(7)的底部设置有阀板(9)，所述连接板(7)的侧壁旋转连接有用于带动连接板(7)沿阀体(1)外壁稳定滑动的滚轮(10)，所述阀体(1)的外壁开设有用于对滚轮(10)进行限位的滑槽(11)。
2.根据权利要求1所述的高真空气动插板阀，其特征在于：所述阀体(1)的外壁开设有用于待连接的阀口(12)，所述阀体(1)的外壁固定连接有位于阀口(12)一侧的用于对阀板(9)进行限位的限位块(13)，所述限位块(13)的顶部固定连接有用于对阀板(9)在使用时进行密封效果的定位块(14)，所述阀体(1)的外壁设置有位于阀板(9)一侧的法兰主体(15)。
...【专利技术属性】
技术研发人员：王健，孙经成，
申请(专利权)人：芯材芯苏州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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