一种便于移动位置的晶圆搬运机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于移动位置的晶圆搬运机，包括机体，所述机体的左侧设有刻蚀机，所述机体的右侧设有料箱，所述料箱的右侧设有箱门，所述料箱的内侧设有料架，所述机体的正面分别设有显微观测仪和显示屏，所述显示屏的背面设有调节机构，所述机体的下端设有安装槽，所述安装槽的内侧设有移动机构，所述机体的内部设有搬运机械臂。本实用新型专利技术采用上述结构，显示屏的背面下端转动连接在机体上，利用电动推杆输出端伸缩，使得通过配块上的轴座转动推动配块在显示屏上滑动，可以对显示屏的角度进行调节，从而方便技术人员进行调节使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种便于移动位置的晶圆搬运机


[0001]本技术属于晶圆加工领域，特别涉及一种便于移动位置的晶圆搬运机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺需求，需要进行晶圆的ICP刻蚀加工，ICP刻蚀工艺前，通常需要将晶圆排列放置到料盘内，此过程称为晶圆的上片，以便于在刻蚀加工时，将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行刻蚀加工。
[0003]然而，现有技术中晶圆搬运机主要是采用搬运机械臂对晶圆硅片进行搬运加工的过程，其中包括了机械臂将晶圆从上料料架上搬运到刻蚀机然后在经过加工后进入到显微镜下进行观察，最后再将晶圆移动至回收料架等流程，但是传统的晶圆搬运机在使用过程中一般是在机体下端安装4个脚轮配合轮刹来进行移动，移动后需要对每个脚轮的轮刹进行逐个固定比较麻烦，而且传统的晶圆搬运机一般显示屏都是固定安装在机体上的，但是这样不便于根据技术人员的视角需求进行调节使用，因此可以方便使用需要进行技术改进。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种便于移动位置的晶圆搬运机，以解决以上
技术介绍
中所提到的问题。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一种便于移动位置的晶圆搬运机，包括机体，所述机体的左侧设有刻蚀机，所述机体的右侧设有料箱，所述料箱的右侧设有箱门，所述料箱的内侧设有料架，所述机体的正面分别设有显微观测仪和显示屏，所述显示屏的背面设有调节机构，所述机体的下端设有安装槽，所述安装槽的内侧设有移动机构，所述机体的内部设有搬运机械臂。
[0007]进一步地，作为优选技术方案，所述机体的下端左右两侧均设有支脚。
[0008]进一步地，作为优选技术方案，所述料箱、刻蚀机和限位观测仪的进口均与机体的内部相通连。
[0009]进一步地，作为优选技术方案，所述调节机构包括转座，所述转座对称固定安装在机体的正面，所述显示屏的背面下端通过转座和机体的正面转动连接，所述机体的正面设有电动推杆，所述显示屏的背面滑动连接有配块，所述配块的背面设有轴座，所述配块通过轴座和电动推杆的输出端转动连接。
[0010]进一步地，作为优选技术方案，所述显示屏的背面固定安装有导轨，所述配块和导轨为滑动连接。
[0011]进一步地，作为优选技术方案，所述移动机构包括螺杆，所述螺杆转动连接在安装槽内侧，所述安装槽的内侧滑动连接有移板，所述螺杆的外侧螺纹连接有移块，所述移块和移板之间转动连接有连接杆，所述机体的内侧设有机室，所述机室的内侧固定安装有电机，
所述螺杆的右端伸入机室和电机的输出端固定连接，所述移板的下端活动连接有移轮。
[0012]进一步地，作为优选技术方案，所述移板的下端左右两侧均设有弹簧减震器，所述移轮设在弹簧减震器的下端。
[0013]进一步地，作为优选技术方案，所述安装槽的内侧对称固定安装有滑杆，所述移板通过滑杆滑动连接在安装槽内侧。
[0014]进一步地，作为优选技术方案，所述安装槽的内侧对称共设有4根滑杆。
[0015]综上所述，本技术主要具有以下有益效果：
[0016]第一、显示屏的背面下端转动连接在机体上，利用电动推杆输出端伸缩，使得通过配块上的轴座转动推动配块在显示屏上滑动，可以对显示屏的角度进行调节，从而方便技术人员进行调节使用；
[0017]第二、当需要进行移动时，利用机室中的电机输出端驱动螺杆转动，使得螺杆外部相反螺纹的两个移块可以同向移动，而移块的同向移动配合与移板之间转动连接的连接杆，可以使得移板在安装槽中垂直滑动，而移板的下端安装了脚轮，当移板经过移动后使得脚轮与地面接触即可进行移动，不用时可以通过电机输出轴反转使得移板升起即可，从而可以方便机体的移动固定。
附图说明
[0018]图1是本技术的立体图；
[0019]图2是本技术的结构示意图；
[0020]图3是本技术的搬运机械臂结构示意图；
[0021]图4是本技术的显示屏右视图。
[0022]附图标记：1、机体，2、支脚，3、刻蚀机，4、显微观测仪，5、显示屏，6、料箱，7、箱门，8、搬运机械臂，9、料架，10、安装槽，11、移动机构，111、螺杆，112、移块，113、连接杆，114、机室，115、电机，116、移板，117、移轮，12、弹簧减震器，13、滑杆，14、调节机构，141、转座，142、电动推杆，143、配块，144、轴座，15、导轨。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]实施例1
[0025]参考图1
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4，本实施例所述的一种便于移动位置的晶圆搬运机，包括机体1，机体1的左侧设有刻蚀机3，机体1的右侧设有料箱6，料箱6的右侧设有箱门7，料箱6的内侧设有料架9，机体1的正面分别设有显微观测仪4和显示屏5，显示屏5的背面设有调节机构14，机体1的下端设有安装槽10，安装槽10的内侧设有移动机构11，机体1的内部设有搬运机械臂8；机体1的下端左右两侧均设有支脚2，通过在机体1下端设置支脚2，可以避免机体1底部受潮，支脚2的下端还设有防滑垫；料箱6、刻蚀机3和限位观测仪的进口均与机体1的内部相通连，通过在将料箱6的进口和机体1内部设置为相通连，可以方便搬运机械臂8对晶圆进行上下
料搬运，同时将刻蚀机3和机体1内部设置为相通连，可以方便对晶圆进行加工，并且也方便对加工后的晶圆进行检测；料箱6中包括2个料架9一个是上料架9，一个是下料架9，同时刻蚀机3和搬运机械臂8以及显示屏5和显微观测仪4均为现有技术产品。
[0026]实施例2
[0027]参考图4，在实施例1的基础上，为了达到方便对显示屏5进行角度调节的目的，本实施例对调节机构14进行了创新设计，具体地，调节机构14包括转座141，转座141对称固定安装在机体1的正面，显示屏5的背面下端通过转座141和机体1的正面转动连接，机体1的正面设有电动推杆142，显示屏5的背面滑动连接有配块143，配块143的背面设有轴座144，配块143通过轴座144和电动推杆142的输出端转动连接，通过设置调节机构14，显示屏5的背面下端转动连接在机体1上，利用电动推杆142输出端伸缩，使得通过配块143上的轴座144转动推动配块143在显示屏5上滑动，可以对显示屏5的角度进行调节；显示屏5的背面固定安装有导轨15，配块143和导轨15为滑动连接，通过在显示屏5的背面安装导轨15，可以使得配块143在导轨15上滑动。
[0028]实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于移动位置的晶圆搬运机，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)的左侧设有刻蚀机(3)，所述机体(1)的右侧设有料箱(6)，所述料箱(6)的右侧设有箱门(7)，所述料箱(6)的内侧设有料架(9)，所述机体(1)的正面分别设有显微观测仪(4)和显示屏(5)，所述显示屏(5)的背面设有调节机构(14)，所述机体(1)的下端设有安装槽(10)，所述安装槽(10)的内侧设有移动机构(11)，所述机体(1)的内部设有搬运机械臂(8)。2.根据权利要求1所述的一种便于移动位置的晶圆搬运机，其特征在于：所述机体(1)的下端左右两侧均设有支脚(2)。3.根据权利要求1所述的一种便于移动位置的晶圆搬运机，其特征在于：所述料箱(6)、刻蚀机(3)和限位观测仪的进口均与机体(1)的内部相通连。4.根据权利要求1所述的一种便于移动位置的晶圆搬运机，其特征在于：所述调节机构(14)包括转座(141)，所述转座(141)对称固定安装在机体(1)的正面，所述显示屏(5)的背面下端通过转座(141)和机体(1)的正面转动连接，所述机体(1)的正面设有电动推杆(142)，所述显示屏(5)的背面滑动连接有配块(143)，所述配块(143)的背面设有轴座(144)，所述配块(143)通过轴座(144)和电动推杆(142)的输出端转动连接。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘路通，
申请(专利权)人：新启航半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：