一种载台降温装置制造方法及图纸

技术编号：41155299 阅读：3 留言：0更新日期：2024-04-30 18:20

本技术公开了一种载台降温装置，属于集成电路测试技术领域，包括载台，所述载台上安装有用于对载台进行预冷的预冷组件；所述预冷组件包括进水管、出水管、冷却盘、出水通道和进水通道；所述载台固定安装在防止液氮挥发的真空罩的内部横板上；所述真空罩安装在底座上；所述底座的上端安装有用于对真空罩外壁上的冷凝水进行收集和排出的冷凝水回收组件；所述真空罩的外壁上固定连接有用于对晶圆进行降温的液氮供给组件。通过上述方式，本技术可以对载台进行预冷却，再通过载台对晶圆进行预冷却，防止液氮对晶圆片降温造成急剧的降温变化对晶圆及载台形成损伤。

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路测试，具体涉及一种载台降温装置。

技术介绍

1、在晶圆生产制造过程中进行晶圆测试是很重要的一环，晶圆测试就是利用探针台对晶圆片进行电性能测试，由于在一些测试过程中晶圆片及载物台会产生高温或者需要低温环境进行测试，所以需要对晶圆片及晶圆载物台进行降温。

2、比如公开号为cn215493961u的中国专利公开了一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台，它采用液氮注入的方式，能够实现快速降温，同时配合真空保温层和保温盖避免液氮快速挥发，能够降温。

3、由于液氮的温度极低，且无法进行预冷处理，直接注入液氮会使得晶圆及载台温度迅速降低，晶圆片的急剧降温变化可能会导致晶圆损伤，同时载台的急剧降温也可能对载台造成一定损伤。

4、基于此，本技术设计了一种载台降温装置以解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术所存在的上述缺点，本技术提供了一种载台降温装置。

2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：

3、一种载台降温装置，包括载台：

4、所述载台上安装有用于对载台进行预冷的预冷组件；

5、所述预冷组件包括进水管、出水管、冷却盘、出水通道和进水通道；进水管、出水管分别固定连接在真空罩的前后两端，载台和真空罩上开设有出水通道和进水通道，冷却盘固定连接在载台的内部上端，进水通道和出水通道的上端分别与冷却盘的两端固定连接，进水通道和出水通道的另一端分别与出水管和进水管固定连接；</p>

6、所述载台固定安装在防止液氮挥发的真空罩的内部横板上；

7、所述真空罩安装在底座上；

8、所述底座的上端安装有用于对真空罩外壁上的冷凝水进行收集和排出的冷凝水回收组件；

9、所述真空罩的外壁上固定连接有用于对晶圆进行降温的液氮供给组件。

10、更进一步的，所述真空罩包括真空壁、顶板和玻璃窗，真空壁的上端可拆卸连接有顶板，顶板的上端固定连接有玻璃窗，真空壁的下端与底座固定连接；出水通道和进水通道开设在真空壁的内部横板和载台上，进水管和出水管与真空壁的前后壁固定连接。

11、更进一步的，真空壁的上端通过螺栓固定连接有顶板。

12、更进一步的，所述冷凝水回收组件包括固定环、出水口和导水通道，固定环和导水通道均固定连接在底座的上端，出水口开设在固定环的上端，导水通道位于出水口的外侧。

13、更进一步的，固定环的外壁和导水通道的里端相贴合。

14、更进一步的，所述液氮供给组件包括液氮罐、控制阀、进液管、出气管、抽气泵、进液口和出气口；真空壁上开设有上下分布的进液口和出气口，出气管的两端分别与出气口和抽气泵固定连接；进液管的两端分别与液氮罐和进液口固定连接。

15、更进一步的，控制阀固定安装在进液管上。

16、更进一步的，载台的轴心线与冷却盘的轴心线重合。

17、更进一步的，固定环与真空壁的外壁之间存在环形间隙。

18、更进一步的，出水通道和进水通道均为l形。

19、有益效果

20、本技术通过预冷组件的进水管进冷却水，再通过进水通道流通到冷却盘，冷却盘对载台进行预冷，水流从冷却盘另一端流入出水通道再通过出水管排出；本技术可以对载台进行预冷却，再通过载台对晶圆进行预冷却，防止液氮对晶圆片降温造成急剧的降温变化对晶圆及载台形成损伤；

21、本技术在对晶圆进行降温时，开启控制阀，液氮从液氮罐中通过进液管和进液口进入到真空壁内部，对预冷却后的晶圆及载台进行降温，通过开启抽气泵，将液氮吸热气化后的氮气由出气口和出气管排出至回收罐内，实现对氮气的回收利用，还可以起到降压的作用，防止真空壁内部压力过大，加强实验安全性。

22、本技术通过真空罩的真空壁与顶板的配合可以形成真空保温层，减少真空罩的内外部温差，有效保温防止液氮挥发，通过玻璃窗便于对晶圆进行检测观察；本技术可以有效防止液氮挥发影响降温效果，还可以提高实验安全性，避免液氮挥发伤人。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种载台降温装置，包括载台(6)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的载台降温装置，其特征在于，所述真空罩(4)包括真空壁(41)、顶板(42)和玻璃窗(43)，真空壁(41)的上端可拆卸连接有顶板(42)，顶板(42)的上端固定连接有玻璃窗(43)，真空壁(41)的下端与底座(1)固定连接；出水通道(34)和进水通道(35)开设在真空壁(41)的内部横板和载台(6)上，进水管(31)和出水管(32)与真空壁(41)的前后壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的载台降温装置，其特征在于，真空壁(41)的上端通过螺栓固定连接有顶板(42)。

4.根据权利要求3所述的载台降温装置，其特征在于，所述冷凝水回收组件(2)包括固定环(21)、出水口(22)和导水通道(23)，固定环(21)和导水通道(23)均固定连接在底座(1)的上端，出水口(22)开设在固定环(21)的上端，导水通道(23)位于出水口(22)的外侧。

5.根据权利要求4所述的载台降温装置，其特征在于，固定环(21)的外壁和导水通道(23)的里端相贴合。

7.根据权利要求6所述的载台降温装置，其特征在于，控制阀(52)固定安装在进液管(53)上。

8.根据权利要求7所述的载台降温装置，其特征在于，载台(6)的轴心线与冷却盘(33)的轴心线重合。

9.根据权利要求8所述的载台降温装置，其特征在于，固定环(21)与真空壁(41)的外壁之间存在环形间隙。

10.根据权利要求9所述的载台降温装置，其特征在于，出水通道(34)和进水通道(35)均为L形。

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【技术特征摘要】

1.一种载台降温装置，包括载台(6)，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的载台降温装置，其特征在于，真空壁(41)的上端通过螺栓固定连接有顶板(42)。

5.根据权利要求4所述的载台降温装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雄，何豪文，辛嘉伟，
申请(专利权)人：新启航半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：

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