一种晶圆搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆搬运装置，包括晶圆盒、承载座和机械手臂；所述晶圆盒的一侧面形成开口，所述晶圆盒的底部通过定位结构定位在所述承载座的上表面上；所述承载座通过倾斜连接结构安装在所述机械手臂上，使得所述晶圆盒形成开口的一侧面向上倾斜。本实用新型专利技术的晶圆搬运装置，通过将晶圆盒设计成向开口相反一侧倾斜的方式，克服了现有技术中在搬运晶圆时因为振动或晃动造成晶圆偏移掉落的缺点，实现稳定安全地搬运晶圆的效果。现稳定安全地搬运晶圆的效果。现稳定安全地搬运晶圆的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆搬运装置


[0001]本技术涉及一种晶圆搬运装置，特别是一种防止晶圆从晶圆盒偏移掉落而产生损坏的晶圆搬运装置。

技术介绍

[0002]在半导体产业中，晶圆需要经过非常多道的工艺才能制得，晶圆的破损是非常严重的事情，因此搬运过程必须做到尽可能万无一失。而晶圆盒在某些工艺中需要打开搬运，因此开放式晶圆盒的安全可靠搬运就显得非常的重要。
[0003]所述开放式晶圆盒是一种一次可以层叠摆放多片晶圆的盒子，晶圆是以水平方式摆放，开放式晶圆盒有一侧缺口可以放入晶圆，也是一种SEMI规范的标准开放式晶圆盒。
[0004]但是，现有技术中的开放式晶圆盒装置虽然可以稳定的搬运晶圆，但是由于晶圆在其中都是水平放置，容易在晶圆盒搬运过程中导致晶圆偏移或突出，造成不必要的移位或破损，严重影响晶圆制造工艺的顺利进行。因此，解决上述晶圆盒安全运输问题就成为了晶圆盒搬运装置设计的一个重点发展方向。

技术实现思路

[0005]本技术的目的至少在于提供一种晶圆搬运装置，使晶圆在开放式晶圆盒搬运过程中，产生一定角度的倾斜，由此克服因为振动或晃动造成晶圆偏移掉落而产生损坏，通过一种简单、经济的设计形式，可以实现在有限空间中达到搬运的稳定性。
[0006]为了达到上述目的，本技术提供了一种晶圆搬运装置，包括晶圆盒、承载座和机械手臂；所述晶圆盒的一侧形成开口，所述晶圆盒的底部通过定位结构定位在所述承载座的上表面上；所述承载座通过倾斜连接结构安装在所述机械手臂上，使得所述晶圆盒形成开口的一侧向上倾斜。
[0007]可选地，所述倾斜连接结构为连接所述承载座和所述机械手臂的轴心，所述轴心的一个表面为倾斜面，另一个表面为水平面。
[0008]可选地，所述轴心的上表面为倾斜面。
[0009]可选地，所述向上倾斜的角度为与水平面成2
‑
4度。
[0010]可选地，所述向上倾斜的角度为与水平面成3度。
[0011]可选地，所述定位结构包括设置在所述承载座上的多个定位块和设置在所述晶圆盒底部的与所述多个定位块相配合的结构。
[0012]可选地，所述多个定位块包括前定位块、后定位块和位于后定位块侧后方的左定位块和右定位块。
[0013]可选地，所述定位块均为长方体形状，所述定位块定位所述晶圆盒的侧面的上侧形成有倒角。
[0014]可选地，所述承载座上设有用于检测所述晶圆盒前后移动的前位移传感器和用于检测所述晶圆盒左右移动的侧位移传感器。
[0015]本申请的晶圆搬运装置，通过将晶圆盒设计成向开口相反一侧倾斜的方式，克服了现有技术中在搬运晶圆时因为振动或晃动造成晶圆偏移掉落的缺点，实现稳定安全地搬运晶圆的效果。而且，本申请还通过设置定位块和位移传感器，实现晶圆盒与机械手臂的可靠连接，进一步保证了搬运晶圆的安全性。综上所述，本技术的搬运装置能够简单高效地解决晶圆加工、搬运过程中的产品损坏问题。
[0016]根据下文结合附图对本技术的具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本技术的上述以及其他目的、优点和特征。
附图说明
[0017]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
[0018]图1是本技术晶圆搬运装置的晶圆盒的示意图。
[0019]图2是本技术晶圆搬运装置的承载座、机械手臂和倾斜连接结构的零部件分解示意图。
[0020]图3是本技术晶圆搬运装置的承载座、机械手臂和倾斜连接结构的装配示意图。
[0021]图4是本技术晶圆搬运装置的承载座、机械手臂和晶圆盒的组合状态侧视图。
[0022]图5是本技术晶圆搬运装置的晶圆盒的底部和承载座的组合状态的俯视图。
[0023]附图标记：
[0024]1、前定位块；2、后定位块；3、左定位块；4、右定位块；5、前位移传感器；6、侧位移传感器；7、承载座；8、倾斜连接结构；9、机械手臂；10、晶圆盒。
具体实施方式
[0025]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0026]图1所示的是一种晶圆搬运装置中使用的晶圆盒10，晶圆盒10一侧面形成开口，其他侧面围有侧壁。本实施例中，晶圆盒10用于承载8寸晶圆，最多可以层叠放置25片晶圆。
[0027]图2
‑
4示出了晶圆搬运装置的承载座7、机械手臂9和倾斜连接结构8的示意图。晶圆盒10底部定位在承载座7上；承载座7与机械手臂9连接，并且承载座7与水平面成倾斜角度地定位，利用自然重力使晶圆靠向晶圆盒10的里侧，防止在搬运晶圆时因为振动或晃动造成晶圆偏移掉出而损坏。
[0028]如图3所示，倾斜连接结构8设在承载座7与机械手臂9之间，将二者连接起来，并使承载座7与机械手臂9(即水平面)形成倾斜角度，进而使得晶圆盒10在工作时呈现开口侧略高于其相对一侧的安装形式，由此保证晶圆在晶圆盒10中处于略向盒内倾斜地放置。
[0029]本实施例中，倾斜连接结构8采用的方式为，将现有技术中用于连接机械手臂9和承载座7的轴心设置为一个表面为倾斜面，另一表面为水平面。这种轴心的上下两个表面之间不是平行结构，而是形成一定夹角，由此使其两表面分别连接的承载座7和机械手臂9形成倾斜角度，从而使晶圆盒10与水平面倾斜成角度。
[0030]进一步地，倾斜角度为与水平成2
‑
4度，优选为3度，这样既保证晶圆不易掉出，又不影响制造过程中晶圆的正常装卸。
[0031]如图2、5所示，承载座7上设置多个定位块，包括前定位块1、后定位块2以及位于后定位块2的侧后方的左定位块3和右定位块4；各个定位块的位置与晶圆盒10底部的横纵梁等支撑结构形状相配合，以便可靠地定位晶圆盒10，使晶圆盒10可以稳定地搬运。
[0032]进一步地，定位块都为长方体形状；定位块定位晶圆盒10一面的上侧形成有倒角，使晶圆盒10在有些许偏差的情况下依然能够顺利滑入定位位置，实现搬运过程中各个方向不会产生滑动现象。
[0033]进一步地，承载座7上设有前位移传感器5和侧位移传感器6，当检测到搬运过程中有异常位移时可以停止机械手臂9的动作，使晶圆在搬运过程中更加安全。
[0034]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运装置，其特征在于：包括晶圆盒、承载座和机械手臂；所述晶圆盒的一侧形成开口，所述晶圆盒的底部通过定位结构定位在所述承载座的上表面上；所述承载座通过倾斜连接结构安装在所述机械手臂上，使得所述晶圆盒形成开口的一侧向上倾斜。2.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于：所述倾斜连接结构为连接所述承载座和所述机械手臂的轴心，所述轴心的一个表面为倾斜面，另一个表面为水平面。3.根据权利要求2所述的晶圆搬运装置，其特征在于：所述轴心的上表面为倾斜面。4.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于：所述向上倾斜的角度为与水平面成2
‑
4度。5.根据权利要求4所述的晶圆搬运装置，其特征在于：所述向...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹宇斯，王金池，下野智成，
申请(专利权)人：北京和崎精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：