一种可调节水平的装置制造方法及图纸

本技术提供了一种可调节水平的装置。包括水平调节件，水平调节件的中部设有沿水平调节件的一端贯穿至水平调节件另一端的第二固定孔，水平调节件的一端穿过内螺纹孔与放置平台的上端面抵接，以使水平调节件的一端与放置平台的上端面抵接时，正向或反向旋拧水平调节件以调节被调节装置实现水平；固定件，固定件的一端穿过第二固定孔延伸至第一固定孔上以固定设置在放置平台上，且水平调节件与固定件在同一轴心上。本技术提供的一种可调节水平的装置解决了现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本技术半导体生产设备，尤其涉及一种可调节水平的装置。

技术介绍

1、一般半导体生产设备中安装的装置或者工位平台需要调整到一定水平的水平基础，使工艺在进行时其放置于装置或者平台上的工件能够确实地维持水平条件，进以确保工艺过程工件的平面水平基础。现有的可调节装置是以顶丝与螺丝的搭配实现水平调整操作，操作者需要由顶丝与螺丝的反向作用力来达到相对高度的微调整，但是，此方式除了操作耗时，由于顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化。

2、综上，现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本技术提供一种可调节水平的装置，以解决现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可调节水平的装置，应用于被调节装置(40)与放置平台(50)之间，所述被调节装置(40)放置于所述放置平台上，且所述被调节装置(40)上设有内螺纹孔(41)，以及所述放置平台(50)上设有与所述内螺纹孔(41)对应设置的第一固定孔(51)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种可调节水平的装置，其特征在于，所述可调节水平的装置还包括水平测量仪，所述水平测量仪放置于所述被调节装置(40)上。

3.根据权利要求1所述的一种可调节水平的装置，其特征在于，所述固定件(20)为螺丝。

4.根据权利要求1所述的一种可调节水平的装置，其特征在于，所...

【技术特征摘要】

1.一种可调节水平的装置，应用于被调节装置(40)与放置平台(50)之间，所述被调节装置(40)放置于所述放置平台上，且所述被调节装置(40)上设有内螺纹孔(41)，以及所述放置平台(50)上设有与所述内螺纹孔(41)对应设置的第一固定孔(51)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种可调节水平的装置，其特征在于，所述可调节水平的装置还包括水平测...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振强，李宇航，
申请(专利权)人：北京和崎精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：