本实用新型专利技术公开了多片晶圆上下料装置，属于上下料装置技术领域。多片晶圆上下料装置包括：第一机械手、第二机械手及上料组件，第一机械手用于将反应前的多片晶圆移至上料组件内，第二机械手用于将托盘移至上料组件内，托盘上设置有多个放置部，一个放置部用于放置一片晶圆；第三机械手及下料组件，第三机械手位于传输腔内，第三机械手用于将上料组件内的晶圆及托盘移至反应腔内、以及用于将反应腔内的托盘及经反应后的晶圆移至下料组件，以使第一机械手将下料组件内的晶圆移出、第三机械手将下料组件内的托盘移至上料组件内。该多片晶圆上下料装置能够实现多片晶圆的自动上下料，且使晶圆表面的洁净度较好，以及能够使上下料的工作效率较高。效率较高。效率较高。
【技术实现步骤摘要】
多片晶圆上下料装置
[0001]本技术涉及上下料装置
，尤其涉及多片晶圆上下料装置。
技术介绍
[0002]在目前的CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)反应设备中，对于晶圆的上下料通常是通过人工的方式进行；即先将在CVD反应设备的反应腔内反应好的晶圆和用于装载晶圆的托盘整体移至上料腔内，再将CVD反应设备的上料腔的盖板打开，然后手动使用负压手指，将上料腔内的晶圆从托盘上逐片取出，并放到下料盒中，以实现对多片反应后的晶圆进行下料；当将托盘上的晶圆取完之后，再从上料盒里取出未反应的晶圆并逐片放到上料腔内的托盘上，再关闭上料腔的盖板，以实现对多片未进行反应的晶圆进行上料；最后使晶圆和托盘整体从上料腔内再次进入到反应腔内，以在反应腔内进行反应。
[0003]然而，由于人工上下料的方式不仅费时费力，导致上下料的工作效率较低；且由于人工的操作，很容易对晶圆的表面产生污损，导致晶圆的表面洁净度较差，从而影响晶圆的质量。
[0004]综上所述，亟需多片晶圆上下料装置，来解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提出多片晶圆上下料装置，其能够实现多片晶圆的自动上下料，且使晶圆表面的洁净度较好，以及使上下料的工作效率较高，省时省力。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]多片晶圆上下料装置，其设置在工作台上，以用于将反应前的多片晶圆上料至反应腔内，并对经所述反应腔反应后的多片所述晶圆下料，所述多片晶圆上下料装置包括：
[0008]第一机械手、第二机械手及上料组件，所述第一机械手用于将反应前的多片所述晶圆移至所述上料组件内，所述第二机械手用于将托盘移至所述上料组件内，所述托盘上设置有多个放置部，一个所述放置部用于放置一片所述晶圆，所述第一机械手和所述第二机械手均与所述上料组件选择性连通；
[0009]第三机械手及下料组件，所述第三机械手位于传输腔内，所述传输腔分别与上料组件、所述下料组件及所述反应腔选择性连通，所述第三机械手用于将所述上料组件内的所述晶圆及所述托盘移至所述反应腔内、以及用于将所述反应腔内的所述托盘及经反应后的所述晶圆移至所述下料组件，以使所述第一机械手将所述下料组件内的所述晶圆移出、所述第三机械手将所述下料组件内的所述托盘移至所述上料组件内。
[0010]进一步地，所述上料组件包括：
[0011]壳体，其内形成有容纳腔体，所述壳体分别与所述第一机械手、所述第二机械手和所述第三机械手之间设置有一个阀门，所述阀门用于选择性连通或隔断所述壳体与所述第一机械手、所述第二机械手或所述第三机械手，且所述容纳腔体内设置有环形支撑座，所述环形支撑座用于放置所述托盘；
[0012]旋转组件，其设置在所述壳体上，所述旋转组件用于驱动所述环形支撑座相对于所述壳体绕所述环形支撑座在竖直方向上的中心线旋转，以带动所述环形支撑座上的所述托盘旋转至预放位置。
[0013]进一步地，所述旋转组件包括：
[0014]第一驱动件、主动轮、同步带及从动轮，所述第一驱动件与所述主动轮驱动连接，所述同步带的两端分别套设在所述主动轮与所述从动轮上，所述从动轮套设在所述环形支撑座上，所述第一驱动件用于驱动所述主动轮转动，使所述从动轮带动所述环形支撑座相对于所述壳体转动。
[0015]进一步地，所述上料组件还包括：
[0016]旋转升降组件，其一端设置在所述壳体的底端，另一端向靠近所述壳体的方向延伸至所述容纳腔体内；
[0017]多个支撑件，多个所述支撑件均匀设置在所述旋转升降组件的顶端，且多个所述支撑件均位于所述环形支撑座的内侧，所述支撑件与所述环形支撑座上的所述托盘上的所述放置部正对设置，所述支撑件用于放置所述晶圆；
[0018]多个晶圆夹爪，多个所述晶圆夹爪均匀设置在所述容纳腔体内，所述晶圆夹爪位于所述环形支撑座和所述支撑件的上方，一个所述晶圆夹爪与一个所述支撑件对应设置，所述晶圆夹爪用于夹住所述支撑件上的所述晶圆或者松开所述晶圆至所述支撑件上；
[0019]其中，所述旋转升降组件用于带动所述支撑件转动，以使所述第一机械手将反应前的多片所述晶圆分别放置在多个所述支撑件上；所述旋转升降组件还用于带动所述支撑件在竖直方向上移动，以将多个所述晶圆分别放置在所述托盘上的多个所述放置部。
[0020]进一步地，所述旋转升降组件包括：
[0021]第二驱动件、丝杆及连接座，所述第二驱动件的驱动端与所述丝杆驱动连接，所述连接座套设在所述丝杆上，所述丝杆沿竖直方向延伸，且多个所述支撑件均匀设置在所述连接座上，所述第二驱动件用于驱动所述丝杆转动，以使所述连接座在所述丝杆上沿竖直方向移动；
[0022]第三驱动件及中间轴，所述第三驱动件与所述中间轴的一端驱动连接，所述第二驱动件的固定端设置在所述中间轴的另一端，所述第三驱动件用于驱动所述中间轴转动，以带动所述第二驱动件、所述丝杆及所述连接座绕所述连接座在竖直方向上的中心线旋转。
[0023]进一步地，所述壳体上设置有第一传感器和第二传感器，所述第一传感器用于检测所述晶圆是否放置在所述托盘上的所述放置部，所述第二传感器用于检测所述托盘在所述环形支撑座上的放置位置。
[0024]进一步地，所述下料组件与所述上料组件结构相同。
[0025]进一步地，所述多片晶圆上下料装置还包括：
[0026]托盘盒，其内叠放有多个所述托盘，所述托盘盒的底端设置有第三传感器，所述第三传感器用于检测所述托盘盒内的所述托盘的类型，以及用于检测所述托盘在所述托盘盒内的放置位置；
[0027]晶圆盒，其内叠放有多个反应前的所述晶圆，所述晶圆盒的底端设置有第四传感器，所述第四传感器用于检测所述晶圆盒内的所述晶圆的类型，以及用于检测所述晶圆在
所述晶圆盒内的放置位置。
[0028]进一步地，所述多片晶圆上下料装置还包括：
[0029]寻边器，所述寻边器用于对所述第一机械手抓取的反应前的所述晶圆定位圆心；
[0030]洁净腔室，所述寻边器、所述第一机械手、所述第二机械手、所述第三机械手、所述上料组件、所述晶圆盒、所述托盘盒以及所述下料组件的出料口均位于所述洁净腔室内。
[0031]进一步地，所述第二机械手包括机械手本体及抓爪，所述抓爪设置在所述机械手本体的自由端，所述抓爪呈与所述托盘相匹配的圆弧结构，所述机械手本体上设置有第一扫描件，所述第一扫描件用于检测所述托盘盒内所述托盘的数量和放置位置，且所述第一机械手上设置有第二扫描件，所述第二扫描件用于检测所述晶圆盒内的所述晶圆的数量和放置位置。
[0032]本技术的有益效果为：
[0033]通过使第一机械手将反应前的多片晶圆移至上料组件内，使第二机械手将托盘移至上料组件内，并在托盘上设置多个放置部，且使上料组件内的一个晶圆放置在一个放置部上；再使第三机械手将上料组件内的晶圆及托盘整体移至反应腔内，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.多片晶圆上下料装置，其设置在工作台上，以用于将反应前的多片晶圆(1)上料至反应腔(9)内，并对经所述反应腔(9)反应后的多片所述晶圆(1)下料，其特征在于，所述多片晶圆上下料装置包括：第一机械手(5)、第二机械手(6)及上料组件(8)，所述第一机械手(5)用于将反应前的多片所述晶圆(1)移至所述上料组件(8)内，所述第二机械手(6)用于将托盘(2)移至所述上料组件(8)内，所述托盘(2)上设置有多个放置部(21)，一个所述放置部(21)用于放置一片所述晶圆(1)，所述第一机械手(5)和所述第二机械手(6)均与所述上料组件(8)选择性连通；第三机械手(7)及下料组件(10)，所述第三机械手(7)位于传输腔(13)内，所述传输腔(13)分别与上料组件(8)、所述下料组件(10)及所述反应腔(9)选择性连通，所述第三机械手(7)用于将所述上料组件(8)内的所述晶圆(1)及所述托盘(2)移至所述反应腔(9)内、以及用于将所述反应腔(9)内的所述托盘(2)及经反应后的所述晶圆(1)移至所述下料组件(10)，以使所述第一机械手(5)将所述下料组件(10)内的所述晶圆(1)移出、所述第三机械手(7)将所述下料组件(10)内的所述托盘(2)移至所述上料组件(8)内。2.如权利要求1所述的多片晶圆上下料装置，其特征在于，所述上料组件(8)包括：壳体(81)，其内形成有容纳腔体(82)，所述壳体(81)分别与所述第一机械手(5)、所述第二机械手(6)和所述第三机械手(7)之间设置有一个阀门(12)，所述阀门(12)用于选择性连通或隔断所述壳体(81)与所述第一机械手(5)、所述第二机械手(6)或所述第三机械手(7)，且所述容纳腔体(82)内设置有环形支撑座(86)，所述环形支撑座(86)用于放置所述托盘(2)；旋转组件(83)，其设置在所述壳体(81)上，所述旋转组件(83)用于驱动所述环形支撑座(86)相对于所述壳体(81)绕所述环形支撑座(86)在竖直方向上的中心线旋转，以带动所述环形支撑座(86)上的所述托盘(2)旋转至预放位置。3.如权利要求2所述的多片晶圆上下料装置，其特征在于，所述旋转组件(83)包括：第一驱动件(831)、主动轮(832)、同步带(834)及从动轮(833)，所述第一驱动件(831)与所述主动轮(832)驱动连接，所述同步带(834)的两端分别套设在所述主动轮(832)与所述从动轮(833)上，所述从动轮(833)套设在所述环形支撑座(86)上，所述第一驱动件(831)用于驱动所述主动轮(832)转动，使所述从动轮(833)带动所述环形支撑座(86)相对于所述壳体(81)转动。4.如权利要求2所述的多片晶圆上下料装置，其特征在于，所述上料组件(8)还包括：旋转升降组件(84)，其一端设置在所述壳体(81)的底端，另一端向靠近所述壳体(81)的方向延伸至所述容纳腔体(82)内；多个支撑件(85)，多个所述支撑件(85)均匀设置在所述旋转升降组件(84)的顶端，且多个所述支撑件(85)均位于所述环形支撑座(86)的内侧，所述支撑件(85)与所述环形支撑座(86)上的所述托盘(2)上的所述放置部(21)正对设置，所述支撑件(85)用于放置所述晶圆(1)；多个晶圆夹爪(87)，多个所述晶圆夹爪(87)均匀设置在所述容纳腔体(82)内，所述晶圆夹爪(87)位于所述环形支撑座(86)和所述支撑件(85...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢勇，蒲勇，赵鹏，
申请(专利权)人：材料科学姑苏实验室，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。