主轴单元制造技术

本发明专利技术提供主轴单元，其避免包含加工屑的加工液积存于主轴与罩的间隙。主轴单元(6)具有围绕着以铅垂方向为轴向的主轴(60)并形成空气轴承而进行支承的壳体(62)，安装座(73)与从壳体的下端向下方突出的主轴的前端连结，罩(65)以与主轴的外侧面之间设置有间隙的方式围绕着在壳体的下表面与安装座的上表面之间露出的主轴，空气提供部(66)形成于主轴的内部，通过主轴的旋转而向间隙提供空气，空气提供部具有：进入路(667)，其在主轴的上部开口，沿轴向延伸；和放射路(663)，其从进入路的下端沿主轴的径向延伸，在主轴的外侧面开口并与间隙连通，从旋转的主轴的上部的开口吸入的空气通过进入路、放射路而放出到间隙，对间隙进行清扫。清扫。清扫。

【技术实现步骤摘要】
主轴单元


[0001]本专利技术涉及主轴单元。

技术介绍

[0002]例如如专利文献1所公开的那样，在利用磨削磨具对卡盘工作台所保持的被加工物进行磨削的磨削装置中，将环状的磨削磨具安装于与主轴的前端连结的安装座，利用伴随主轴的旋转而旋转的磨削磨具对被加工物进行磨削。
[0003]这样以能够旋转的方式支承主轴的主轴单元具有：壳体，其围绕直立的主轴；轴向空气轴承和径向空气轴承，它们由提供至壳体与主轴之间的高压空气构成；以及安装座，其与从壳体的下部突出的主轴的前端连结，供该磨削磨具安装。另外，主轴单元中，以宽大的面积构成轴向空气轴承，以便承受磨削加工中的主轴的轴向的大的垂直载荷。
[0004]专利文献1：日本特开2017
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222003号公报
[0005]主轴单元使构成轴向空气轴承的空气的排气从主轴的侧面喷出。并且，具有用于保护该喷出口免受加工屑影响的罩。
[0006]但是，存在如下的问题：包含加工屑的加工液会进入主轴与罩的间隙中，此后加工液干燥从而加工屑粘固于罩的内侧面和主轴的外侧面，造成主轴无法旋转。
[0007]因此，在主轴单元中，存在避免包含加工屑的加工液积存于主轴与罩的间隙中的课题。

技术实现思路

[0008]用于解决上述课题的本专利技术是主轴单元，其具有：主轴，其在前端连结有安装加工器具的安装座，该主轴以铅垂方向作为轴向；以及壳体，其围绕该主轴，从内侧面喷射空气而形成空气轴承，将该主轴支承为能够旋转，其中，该安装座与从该壳体的下端向下方突出的该主轴的前端连结，该主轴单元具有：罩，其以与该主轴的外侧面之间设置有间隙的方式围绕着在该壳体的下表面与该安装座的上表面之间露出的该主轴；以及空气提供部，其形成于该主轴的内部，通过该主轴的旋转而向该间隙提供空气，该空气提供部具有：进入路，其在该主轴的上部开口并沿该主轴的轴向延伸；以及放射路，其从该进入路的下端沿该主轴的径向延伸并在该主轴的外侧面开口，与该间隙连通，通过该主轴的旋转而从该主轴的上部的该开口吸入该空气，将通过了该进入路和该放射路的该空气向该间隙放出，对该间隙进行清扫。
[0009]优选本专利技术的主轴单元向所述间隙导入所述空气轴承的排气。
[0010]本专利技术的主轴单元具有：主轴，其在前端连结有安装加工器具的安装座，该主轴以铅垂方向作为轴向；以及壳体，其围绕主轴，从内侧面喷射空气而形成空气轴承，将主轴支承为能够旋转，其中，安装座与从壳体的下端向下方突出的主轴的前端连结，主轴单元具有：罩，其以与主轴的外侧面之间设置有间隙的方式围绕着在壳体的下表面与安装座的上表面之间露出的主轴；以及空气提供部，其形成于主轴的内部，通过主轴的旋转而向间隙提
供空气，空气提供部具有：进入路，其在主轴的上部开口并沿主轴的轴向延伸；以及放射路，其从进入路的下端沿主轴的径向延伸并在主轴的外侧面开口，与间隙连通，通过主轴的旋转而从主轴的上部的开口吸入空气，将通过了进入路和放射路的空气向间隙放出，能够对间隙进行清扫。即，通过使主轴旋转，能够将空气送入至罩与主轴的外侧面之间，因此能够将进入至间隙的例如混入有磨削屑的磨削水从间隙排出，并且能够避免产生磨削屑粘固于主轴的外侧面与罩的内侧面之间而使主轴咬住等旋转不良。
[0011]本专利技术的主轴单元中，通过向罩与主轴的外侧面之间的间隙导入空气轴承的排气，能够将进入至间隙的例如混入有磨削屑的磨削水更可靠地从间隙排出，能够避免产生主轴的咬住等旋转不良。
附图说明
[0012]图1是示出具有本专利技术的主轴单元的磨削机构的剖视图。
[0013]图2是在主轴的周向上隔开等间隔而形成有多个进入路的情况下的图1所示的主轴单元的a1
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a2剖视图。
[0014]图3是进入路为俯视圆环筒状的情况下的图1所示的主轴单元的a1
‑
a2剖视图。
[0015]图4是对按照与主轴的罩对置且使主轴的安装部的外侧面从内侧朝向外侧向下倾斜的方式开口的放射路进行说明的剖视图。
[0016]标号说明
[0017]7：磨削机构；73：安装座；733：磨削水分配路；74：磨削磨轮；742：磨轮基台；743：环状的磨削磨具；746：喷射口；6：主轴单元；60：主轴；600：长轴部；601：板部；602：安装部；609：轴内水流路；62：壳体；620：顶板；6204：管接头；625：水提供管；629：磨削水提供源；621：空气喷射部；6213：空气流路；63：旋转驱动源；632：转子；633：水冷散热器；634：定子；69：空气提供源；65：罩；66：空气提供部；667：进入路；668：进入路的下端；663：放射路；666：圆环状的进入路；669：放射路。
具体实施方式
[0018]图1是对未图示的卡盘工作台所保持的半导体晶片等被加工物进行磨削的磨削机构7。并且，磨削机构7具有：本专利技术的主轴单元6；安装座73，其与构成主轴单元6的主轴60的前端(下端)连结；以及磨削磨轮74，其是安装于安装座73的下表面的加工器具。
[0019]另外，安装于安装座73的下表面的加工器具例如还可以是借助压板而安装的CMP研磨垫或干研磨垫或者一边使被加工物旋转一边进行切削的切削刀具等。
[0020]磨削磨轮74通过未图示的螺栓等固定于圆形板状的安装座73的下表面，磨削磨轮74具有磨轮基台742以及呈环状配置于磨轮基台742的底面的大致长方体形状的多个区段部。区段部例如是利用树脂结合剂或陶瓷结合剂等固定金刚石磨粒等而成型的。并且，通过多个呈环状排列的区段部，形成环状的磨削磨具743。另外，也可以将没有间隙的圆环状的磨削磨具即所谓的连续排列的磨削磨具配置于磨轮基台742的下表面。
[0021]在安装座73的内部，按照从上表面进入内部且在内部呈放射状分支成多个的方式形成有与磨削水提供源629连通且作为磨削水的通道的磨削水分配路733。另外，在磨轮基台742的下表面上形成有喷射口746，该喷射口746在周向上隔开均等间隔而开口有多个，与
磨削水分配路733连通，主要朝向磨削磨具743的内侧面喷射磨削水。从喷射口746喷射的磨削水提供至磨削磨具743与未图示的半导体晶片等被加工物的接触部位而进行接触部位的清洗、冷却。
[0022]主轴单元6具有：主轴60，其在前端(下端)连结有安装磨削磨轮74的安装座73，主轴60以铅垂方向(Z轴方向)作为轴向；以及壳体62，其围绕主轴60，从内侧面喷射空气而形成空气轴承从而将主轴60支承为能够旋转。
[0023]如图1所示，主轴60以非接触的方式支承于壳体62，主轴60具有：长轴部600，其形成为圆柱状，沿Z轴方向延伸；圆形板状的板部601，其在长轴部600的中段位置与长轴部600一体地形成，从长轴部600朝向径向外延伸；以及圆形板状的安装部602，其在长轴部600的下部侧从长轴部600朝向径向外一体地延伸，供安装座73安装。在板部601和安装部602与壳体62的内侧面之间形成有略微的间隙本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种主轴单元，其具有：主轴，其在前端连结有安装加工器具的安装座，该主轴以铅垂方向作为轴向；以及壳体，其围绕该主轴，从内侧面喷射空气而形成空气轴承，将该主轴支承为能够旋转，其中，该安装座与从该壳体的下端向下方突出的该主轴的前端连结，该主轴单元具有：罩，其以与该主轴的外侧面之间设置有间隙的方式围绕着在该壳体的下表面与该安装座的上表面之间露出的该主轴；以及空气提供部，其形成于该主轴的内部，通...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边裕之，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：