旋涂烘干装置制造方法及图纸

本申请提供一种旋涂烘干装置，旋涂烘干装置包括旋转平台、电磁线圈盘、电机、传动轴以及控制单元。旋转平台上设置有真空吸附孔，所述真空吸附孔与真空气源连通；电磁线圈盘与旋转平台间隔设置，用于均匀加热旋转平台；电机用于为旋转平台提供驱动力；传动轴连接旋转平台和电机；控制单元与电磁线圈盘连接并控制电磁线圈盘。本申请的旋涂烘干装置，能够实现加热温度可控，加热均匀，有利于薄膜的快速均匀的烘干，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
旋涂烘干装置


[0001]本申请涉及薄膜的制备装置，具体而言涉及一种薄膜旋涂烘干装置。

技术介绍

[0002]旋涂是将薄膜涂覆到基板上的常用技术。当材料和溶剂的溶液高速旋转时，在向心力和液体的表面张力共同作用下，产生均匀的覆盖层。在剩余的溶剂蒸发后，会留下厚度从几纳米到几微米不等的薄膜。旋涂技术在有机电子和纳米技术中的应用非常广泛。
[0003]旋涂机在完成基础旋涂功能的基础上，通常会集成其它衍生功能，比如：真空旋涂、紫外固化、惰性气体保护、在线加热烘干等。其中在线加热烘干是最常见的一个衍生功能模块——通常涂胶完成之后需要加热固化。
[0004]目前市场上的在线加热有两种模式：一是直接在旋转托盘底部加上加热电阻，缺点是靠局部传热、加热很不均匀、相应速度慢、温度不好控制等等。鉴于其天生缺陷，很多设备供应商已经放弃这种型号设备，而是要求客户直接采用离线加热烘干模式。这也是现在主流旋涂机的烘干方案。二是将整个旋涂模块做密闭保温处理，即将旋涂腔变成烤箱。缺点也是显而易见，反应速度慢，腔室笨重，效率低，温度最高到200℃，一旦开腔温度归零等等。这种方案应用领域也十分有限。尤其对于需多次滴胶+旋涂的要求，这种模式难以满足。

技术实现思路

[0005]本申请的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种能够实现加热温度均匀，结构简单，传热效率高的旋涂烘干装置。
[0006]为实现上述目的，本申请采用如下技术方案：
[0007]根据本申请的一个方面，提供了一种旋涂烘干装置，包括旋转平台、电磁线圈盘、电机、传动轴以及控制单元。所述旋转平台上设置有真空吸附孔，真空吸附孔与真空气源连通；所述电磁线圈盘与所述旋转平台间隔设置，用于均匀加热所述旋转平台；电机用于为所述旋转平台提供驱动力；传动轴连接所述旋转平台和所述电机；控制单元与所述电磁线圈盘连接并控制所述电磁线圈盘。
[0008]根据本申请的一实施方式，所述传动轴内部设置有空腔，所述空腔与所述真空吸附孔以及所述真空气源连通。
[0009]根据本申请的一实施方式，所述电磁线圈盘通过支架设置于所述旋转平台的上方。
[0010]根据本申请的一实施方式，所述电磁线圈盘通过支架设置于所述平台的下方。
[0011]根据本申请的一实施方式，所述电磁线圈盘的中部具有空间，套设所述传动轴。
[0012]根据本申请的一实施方式，所述电磁线圈盘与所述传动轴背向所述旋转平台的端部之间的距离是所述电磁线圈盘与所述旋转平台之间的距离的2
‑
5倍。
[0013]根据本申请的一实施方式，所述电磁线圈盘与所述旋转平台间隔0
‑
100mm。
[0014]根据本申请的一实施方式，所述旋转平台采用铁磁性材料制造。
[0015]根据本申请的一实施方式，所述传动轴采用非铁磁性材料并且非导体材料制造。
[0016]由上述技术方案可知，本申请提出的旋涂烘干装置的优点和积极效果在于：
[0017]本申请提出的旋涂烘干装置，包括旋转平台、电磁线圈盘、电机、传动轴以及控制单元。旋转平台上设置有真空吸附孔，真空吸附孔与真空气源连通；由于旋涂过程中需要将基板旋转，需要设置旋转平台将需要涂敷的基板固定，并进行旋转。因此在旋转平台上设置有真空吸附孔。电磁线圈盘与旋转平台间隔设置，用于均匀加热旋转平台；电磁线圈盘产生的磁力线分布会在中间部分汇集，也就是说中间没有正对线圈部分也是可以得到加热。而且磁力线在中间部分会更加的汇集，理论上仅在最中心点磁力线为零。那么反应到加热效果上，中心点会受到周边的热传导，进而使得整个中心部分可以得到电磁加热，从而可以实现均匀加热旋转平台。电机用于为旋转平台提供驱动力；传动轴连接旋转平台和电机；电磁线圈盘的磁力线作用范围是有限的。为了消除电机传动轴对电磁线圈盘的影响。在旋转平台和电机传动轴之间设计了传动轴。控制单元与电磁线圈盘连接并控制电磁线圈盘。控制单元通过控制电磁线圈盘中的交变电流，进而实现对旋转平台的温度控制。
附图说明
[0018]通过参照附图详细描述其示例实施方式，本申请的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
[0019]图1是本申请的旋涂烘干装置的结构示意图。
[0020]图2是图1的剖切结构示意图。
[0021]图3是本申请的旋转平台的结构示意图。
[0022]图4是本申请的电磁线圈盘和旋转轴的结构示意图。
[0023]图5是本申请的电磁线圈盘磁力线分布示意图。
[0024]图6是本申请中的传动轴对磁力线的影响的示意图。
[0025]图7是本申请中的支架的结构示意图。
[0026]其中，附图标记说明如下：
[0027]100
‑
旋涂烘干装置；
[0028]101
‑
旋转平台；
[0029]102
‑
真空吸附孔；
[0030]103
‑
电磁线圈盘；
[0031]104
‑
电机；
[0032]105
‑
传动轴；
[0033]106
‑
支架；
[0034]201
‑
空腔；
[0035]501
‑
磁力线。
[0036]701
‑
线圈槽。
具体实施方式
[0037]体现本申请特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本申请能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本申请的范围，且其中的说明及
附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本申请。
[0038]在对本申请的不同示例性实施例的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本申请的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本申请的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本申请范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“上”、“中间”、“内”等来描述本申请的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本申请的范围内。
[0039]为使本申请的上述目的、特征和优点能够明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施例作详细的说明。
[0040]如图1至图4所示，本申请的旋涂烘干装置100，包括旋转平台101、电磁线圈盘103、电机104、传动轴105以及控制单元。旋转平台101上设置有真空吸附孔102，真空吸附孔102与真空气源连通(图中未示出)；由于旋涂过程中需要将基板旋转，就需要设置旋转平台用于将需要涂敷的基板固定，并进行旋转。因此在旋转平台上设置有真空吸附孔。电磁线圈盘103与旋转平台101间隔设置，用于均匀加热旋转平台101；非接触式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋涂烘干装置，其特征在于：包括：旋转平台，所述旋转平台上设置有真空吸附孔，所述真空吸附孔与真空气源连通；电磁线圈盘，所述电磁线圈盘与所述旋转平台间隔设置，用于均匀加热所述旋转平台；电机，用于为所述旋转平台提供驱动力；传动轴，连接所述旋转平台和所述电机；控制单元，与所述电磁线圈盘连接并控制所述电磁线圈盘。2.如权利要求1所述的旋涂烘干装置，其特征在于：所述传动轴内部设置有空腔，所述空腔与所述真空吸附孔以及所述真空气源连通。3.如权利要求1所述的旋涂烘干装置，其特征在于：所述电磁线圈盘通过支架设置于所述旋转平台的上方。4.如权利要求1所述的旋涂烘干装置，其特征在于：所述电磁线圈盘通过支架设置于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈健健，刘研学，王建新，张风港，童翔，
申请(专利权)人：北京石墨烯研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：