一种复合薄膜制备设备制造技术

本发明专利技术公开了一种复合薄膜制备设备，包括基座、支撑结构、涂刮结构、成膜盘和驱动设备，成膜盘设于驱动设备的顶部，支撑结构上设有平移结构，涂刮结构与平移结构连接，平移结构用于连接并驱动涂刮结构水平移动；涂刮结构包括进料筒、分流板和刮涂板，进料筒设于分流板的顶部，刮涂板设于分流板的底部，进料筒设有贯穿上下的进料口，分流板的内部设有主通道和分流通道，分流通道的一端与进料口连通；进料筒内设有分流开关。本发明专利技术的一种复合薄膜制备设备，可同时实现旋涂和刮涂，涂刮结构在旋涂时分流开关关闭，配合驱动设备进行旋涂，涂刮结构在刮涂时分流开关打开，使得待涂覆的溶液在分流通道分流后进行刮涂。分流通道分流后进行刮涂。

【技术实现步骤摘要】
一种复合薄膜制备设备


[0001]本专利技术涉及复合薄膜制备领域，具体而言，涉及一种复合薄膜制备设备。

技术介绍

[0002]复合薄膜一般采用旋涂法和刮涂法制备，如申请号为201410504650.X公开了“银纳米线
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M相二氧化钒纳米颗粒复合薄膜及其制备方法”，将配置好的溶液涂覆在衬底上，分别涂覆三层不同化合物组分的溶液，干燥后形成复合薄膜；现有技术中旋涂和刮涂两种方式是分开进行的，两种涂覆的方式各有优势，适用于不同类别的薄膜的制备；由于两种涂覆方式需要分开进行，涉及的设备或工具也不同，在制备复合薄膜时缺少单独的专门制备复合薄膜的设备。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种复合薄膜制备设备，可同时实现旋涂和刮涂，涂刮结构在旋涂时分流开关关闭，配合驱动设备进行旋涂，涂刮结构在刮涂时分流开关打开，使得待涂覆的溶液在分流通道分流后进行刮涂，分流后的溶液更易于刮涂均匀。
[0004]本专利技术的实施例通过以下技术方案实现：
[0005]一种复合薄膜制备设备，包括基座、支撑结构、涂刮结构、成膜盘和驱动设备，所述支撑结构和驱动设备分别设于基座的顶部，所述成膜盘设于驱动设备的顶部，所述支撑结构上设有平移结构，所述涂刮结构与平移结构连接，所述平移结构用于连接并驱动涂刮结构水平移动；
[0006]所述涂刮结构包括进料筒、分流板和刮涂板，所述进料筒设于分流板的顶部，所述刮涂板设于分流板的底部，所述进料筒设有贯穿上下的进料口，所述分流板的内部设有一个主通道和多个分流通道，多个所述分流通道的一端与进料口连通；所述进料筒内设有开闭分流通道的分流开关。
[0007]在本专利技术的一实施例中，所述成膜盘的底部设有加热装置。
[0008]在本专利技术的一实施例中，所述支撑结构包括固定支撑杆和旋转支撑杆，所述旋转支撑杆相对固定支撑杆可旋转连接，所述旋转支撑杆设于固定支撑杆的顶端，所述固定支撑杆的底端连接基座，所述旋转支撑杆连接平移结构；所述刮涂结构包括三个，三个所述刮涂结构圆形陈列设于旋转支撑杆的周围。
[0009]在本专利技术的一实施例中，所述进料筒的顶部设有漏斗状的进料斗。
[0010]在本专利技术的一实施例中，所述平移结构上设有夹持环，所述夹持环套设在刮涂结构的进料筒外侧，所述夹持环的侧边设有调节夹持环夹持松紧的调节结构。
[0011]在本专利技术的一实施例中，所述平移结构为液压伸缩杆。
[0012]在本专利技术的一实施例中，所述进料筒的外侧开设有开关孔，所述分流开关包括旋柄和分流块，所述分流块呈圆柱状，所述分流块的侧壁设有贯穿其两侧的直流通道和垂直于直流通道设置且贯穿分流块侧壁的多个支流通道。
[0013]本专利技术实施例的技术方案至少具有如下优点和有益效果：
[0014]本专利技术实施例同时具有刮涂的旋涂的功能，解决了在制备复合薄膜缺少单独的专有设备的问题；涂刮结构在旋涂时分流开关关闭，涂刮结构的进料筒集中通过所配置的溶液，通过分流板的主通道集中落至成膜盘上事先放置的衬底的中部，驱动设备可驱动成膜盘旋转，利用成膜盘旋转时带动衬底旋转产生的离心力将溶液均匀涂覆在衬底上；涂刮结构在刮涂时分流开关打开，进料筒的进料口与分流通道连通，使得待涂覆的溶液在分流通道分流，较为均匀地分布在刮涂板的长度方向上，分流后的溶液更易于刮涂均匀，平移结构带动涂刮结构的刮涂板沿垂直于刮涂板的方向在衬底上进行刮涂。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0016]图1为本专利技术的一种复合薄膜制备设备的侧视示意图；
[0017]图2为本专利技术的涂刮结构的结构示意图；
[0018]图3为本专利技术的涂刮结构的截面示意图；
[0019]图4为本专利技术的涂刮结构的底面示意图；
[0020]图5为本专利技术的成膜盘和驱动设备部分的截面示意图；
[0021]图6为图3中A处放大示意图。
[0022]图标：1
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基座，21
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固定支撑杆，22
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旋转支撑杆，3
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涂刮结构，31
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进料筒，32
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分流板，321
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主通道，322
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分流通道，33
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刮涂板，34
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进料斗，4
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成膜盘，41
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挡板，5
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电机，6
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液压伸缩杆，61
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夹持环，62
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螺栓，7
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加热板，81
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直流通道，82
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支流通道，9
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旋柄。
具体实施方式
[0023]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0024]请参照图1
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图6，一种复合薄膜制备设备，包括基座1、支撑结构、涂刮结构3、成膜盘4和电机5，支撑结构和电机5分别设于基座1的顶部，其中电机5的驱动轴竖直朝上设置，成膜盘4设于电机5的机轴顶端，支撑结构上设有液压伸缩杆6，涂刮结构3与液压伸缩杆6连接，液压伸缩杆6的伸缩方向水平，可调节涂刮结构3的位置，特别是在刮涂操作中，液压伸缩杆6可稳定平移，提高刮涂的稳定性；液压伸缩杆6的末端设有连接涂刮结构3的夹持环61。
[0025]涂刮结构3包括进料筒31、分流板32和刮涂板33，进料筒31设于分流板32的顶部，刮涂板33设于分流板32的底部，进料筒31设有贯穿上下的进料口，夹持环61夹持在进料筒31的外侧，夹持环61的内径大于进料筒31的外径，夹持环61的侧边开设有螺孔，螺孔中穿设有螺栓62，螺栓62可松紧夹持环61对进料筒31的夹持，以调节涂刮结构3的高低位置来匹配
衬底的位置。分流板32的内部设有一个主通道321和多个分流通道322，多个分流通道322的一端与进料口连通；进料筒31内设有开闭分流通道322的分流开关，进料筒31的外侧开设有开关孔，分流开关包括旋柄9和分流块，分流块呈圆柱状，分流块的侧壁设有贯穿其两侧的直流通道81和垂直于直流通道81设置且贯穿分流块侧壁的多个支流通道82，实际安装时，分流开关设置在开关孔处，旋柄9在进料筒31外，用于旋转分流块，分流块在进料筒31内，开关孔内设置密封环，防止溶液流经开关孔时溢出；旋涂时，将分流块旋至直流通道81竖直，与分流板32的主通道321连通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合薄膜制备设备，其特征在于，包括基座、支撑结构、涂刮结构、成膜盘和驱动设备，所述支撑结构和驱动设备分别设于基座的顶部，所述成膜盘设于驱动设备的顶部，所述支撑结构上设有平移结构，所述涂刮结构与平移结构连接，所述平移结构用于连接并驱动涂刮结构水平移动；所述涂刮结构包括进料筒、分流板和刮涂板，所述进料筒设于分流板的顶部，所述刮涂板设于分流板的底部，所述进料筒设有贯穿上下的进料口，所述分流板的内部设有一个主通道和多个分流通道，多个所述分流通道的一端与进料口连通；所述进料筒内设有开闭分流通道的分流开关。2.根据权利要求1所述的一种复合薄膜制备设备，其特征在于，所述成膜盘的底部设有加热装置。3.根据权利要求1所述的一种复合薄膜制备设备，其特征在于，所述支撑结构包括固定支撑杆和旋转支撑杆，所述旋转支撑杆相对固定支撑杆可旋转连接，所述旋转支...

【专利技术属性】
技术研发人员：何宇，李松，刘坤，周丽丽，
申请(专利权)人：四川宇光光学玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：