一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机制造技术

本发明专利技术涉及涂胶显影机领域，尤其涉及一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机。技术问题如下：不宜通过机械挤压的方式进行涂胶的固定，硅片的取放极为不便，并且通过甩胶的方式进行胶料的平整，胶料被甩到挡板上，胶料的回收处理困难。技术方案如下：一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，包括有电动转盘和匀胶系统等；电动转盘连接有用于硅片上多余胶料去除的匀胶系统。本发明专利技术通过基准片对多孔板进行水平度检测，用以模拟硅片放置于该位置时的水平度，用以确保硅片放置时的平整度，并且通过抽风的吸力固定硅片，实现对硅片的便捷取放以及固定，以及将多余胶料进行回收处理，避免胶料在限位环内堆积。限位环内堆积。限位环内堆积。

【技术实现步骤摘要】
一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机


[0001]本专利技术涉及涂胶显影机领域，尤其涉及一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机。

技术介绍

[0002]涂胶显影机是制造半导体的常用设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺，光刻胶涂布的过程一般包括将硅片安置于涂胶显影机，由涂胶显影机的光刻胶喷嘴向硅片表面喷上光刻胶。
[0003]但由于硅片固定的精密程度高，在涂胶固定过程中，硅片一面需要涂胶，不宜通过机械挤压的方式进行涂胶的固定，以至于硅片变形甚至损毁，对硅片的固定麻烦，以致于硅片的取放极为不便，并且在对硅片涂胶时，通过甩胶的方式进行胶料的平整，胶料被甩到挡板上，容易在挡板的位置黏附堆积，胶料的回收处理更加困难。

技术实现思路

[0004]为了克服不宜通过机械挤压的方式进行涂胶的固定，硅片的取放极为不便，并且通过甩胶的方式进行胶料的平整，胶料被甩到挡板上，胶料的回收处理更加困难的缺点，本专利技术提供一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机。
[0005]本专利技术的技术方案为：一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，包括有电动转盘、收胶环、第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，包括有电动转盘（1）、收胶环（2）、第一驱动组件（3）、环形风管（4）和第二驱动组件（5）；电动转盘（1）转动部上固接有收胶环（2）；收胶环（2）内部开有第二导胶槽（2003）；第二导胶槽（2003）底部设置有楔形垫片（2001），楔形垫片（2001）上表面为左低右高；收胶环（2）左部连通有排胶口（2002）；收胶环（2）上环形阵列式安装有三个第一驱动组件（3）；三个第一驱动组件（3）输入端均与第二导胶槽（2003）连通；收胶环（2）上表面通过连接柱固接有环形风管（4）；环形风管（4）内部开有第一导风槽（4001）；环形风管（4）上表面环形阵列式安装有三个第二驱动组件（5）；三个第二驱动组件（5）输入端均与第一导风槽（4001）连通；其特征是，还包括有匀胶系统、检测系统和循环系统；电动转盘（1）连接有用于将硅片上多余胶料去除的匀胶系统；匀胶系统与环形风管（4）连接；电动转盘（1）连接有用于对匀胶系统进行水平度检测的检测系统；检测系统与匀胶系统连接；收胶环（2）连接有用于回收多余胶料的循环系统；循环系统与匀胶系统连接。2.按照权利要求1所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，匀胶系统由动力单元和甩胶单元组成；电动转盘（1）连接有动力单元；环形风管（4）上表面连接有用于将胶料甩平的甩胶单元；甩胶单元与动力单元连接；动力单元包括有安装座（101）、第一动力组件（102）、传动杆（103）和第一齿轮（104）；电动转盘（1）固定部上固接有安装座（101）；安装座（101）上部安装有第一动力组件（102）；第一动力组件（102）输出轴固接有传动杆（103）；传动杆（103）与安装座（101）转动连接；传动杆（103）上部固接有第一齿轮（104）；第一齿轮（104）与甩胶单元连接。3.按照权利要求2所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，甩胶单元包括有支架（201）、转轴（202）、抽风罩（203）、多孔板（204）和第二齿轮（205）；环形风管（4）上表面环形阵列式固接有六个支架（201）；六个支架（201）上各转动连接有一个转轴（202），转轴（202）为空心管；六个转轴（202）下部均与第一导风槽（4001）连通；六个转轴（202）上部各连通有一个抽风罩（203）；每个抽风罩（203）上部均设有一个倒钩部（20301）；每个抽风罩（203）上部均开有一个环形槽（20302）；六个抽风罩（203）上部各安装有多孔板（204）；多孔板（204）与检测系统连接；六个转轴（202）外表面下部各固接有一个第二齿轮（205）；六个第二齿轮（205）均与第一齿轮（104）啮合。4.按照权利要求3所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，检测系统由基准片（6）和平整检测单元组成；电动转盘（1）右部连接有平整检测单元；平整检测单元连接有基准片（6）；基准片（6）与多孔板（204）接触；平整检测单元包括有支板（301）、安装架（302）、电动滑轨（303）、电动滑块（304）、支撑梁（305）、横杆（306）、弹性件（307）、弧形板（308）、定位杆（309）、第一电动执行器（3010）、衔接板（3011）、第一滑杆（3012）、连杆（3013）、第二动力组件（3014）、平整检测仪（3015）、第一连接板（3016）和U形叉（3017）；电动转盘（1）右部固接有支板（301）；支板（301）上表面固接有安装架（302）；安装架（302）上表面安装有电动滑轨（303）；电动滑轨（303）上滑动连接有电动滑块（304）；电动滑块（304）上固接有支撑梁（305）；支撑梁（305）中部固接有横杆（306）；横杆（306）左部固接有弹性件（307）；弹性件（307）左部固接有弧形板（308）；弧形板（308）右侧前部和右侧后部各固接有一个定位杆（309）；两个定位杆（309）均与横杆（306）滑动连接；支撑梁（305）上部安装有第一电动执行器（3010）；第一电动执行器（3010）伸缩部固接有衔接板（3011）；衔接...

【专利技术属性】
技术研发人员：田英干，田晨阳，
申请(专利权)人：天霖张家港电子科技有限公司，
类型：发明
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