承载装置及检测设备制造方法及图纸

技术编号:35963044 阅读:15 留言:0更新日期:2022-12-14 11:08
本申请公开了一种承载装置及检测设备,所述承载装置包括承载本体与多个边缘夹持组件,所述多个边缘夹持组件设于所述承载本体的周侧,所述边缘夹持组件包括夹持件以及移动装置,所述移动装置与所述夹持件连接,用于带动所述夹持件沿着所述承载装置本体的径向方向移动。通过所述边缘夹持组件,对放置在所述承载本体上的所述待测件进行夹紧,从而方便对所述待测件进行定位,避免所述承载装置在承载所述待测件时,所述待测件发生位置偏移,造成所述承载装置的承载效率降低的问题,提高了对待测件的检测效率。测件的检测效率。测件的检测效率。

【技术实现步骤摘要】
承载装置及检测设备


[0001]本申请涉及检测
,尤其涉及一种承载装置及承载系统。

技术介绍

[0002]在对待测件进行检测过程中,需要通过承载装置对待测件进行承载后,保证待测件的承载位置后再对待测件进行检测,在现有技术中,对待测件的承载方式包括真空吸附式承载以及气浮式承载,其中气浮式承载能够避免待测件直接与承载装置接触,从而避免了待测件被承载装置划伤。但是通过气浮式承载装置承载待测件时,经常会出现气浮压力不稳定导致待测件的位置发生偏移的情况,从而降低了承载装置对待测件的承载效率以及对待测件的检测效率。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供一种承载装置及检测设备。
[0004]第一方面,本申请实施例提供一种承载装置,所述承载装置包括承载本体与多个边缘夹持组件,所述多个边缘夹持组件设于所述承载本体的周侧,所述边缘夹持组件包括夹持件以及移动装置,所述移动装置与所述夹持件连接,用于带动所述夹持件沿着所述承载装置本体的径向方向移动。
[0005]可选的,所述移动装置包括第一位移台、所述夹持件设于所述第一位移台上,所述夹持件在所述第一位移台的带动下沿所述承载本体的径向方向移动。
[0006]可选的,所述第一位移台为气动位移台,所述气动位移台包括进气通道、位移台以及出气通道,所述位移台与所述夹持件连接,所述进气通道的一端与外部气源连通,另一端与所述位移台连通,所述位移台还与所述出气通道连通。
[0007]可选的,所述气动位移台还包括第一气压调节阀,所述第一气压调节阀与所述进气通道连通,所述第一气压调节阀用于调节进入所述进气通道的气体压力。
[0008]可选的,所述气动位移台还包括第二气压调节阀,所述第二气压调节阀与所述出气通道连通,所述第二气压调节阀用于调节进入所述出气通道的气体压力。
[0009]可选的,所述移动装置还包括固定台、固定座以及第二位移台,所述固定台设于所述第一位移台上,所述第二位移台设于所述固定台上,所述固定座与所述第二位移台滑动连接,所述第二位移台用于带动所述固定座沿所述承载本体的径向方向移动。
[0010]可选的,所述移动装置还包括导向板,所述导向板设于所述固定台上,所述导向板用于限制所述固定座的移动方向。
[0011]可选的,所述移动装置还包括弹性调节装置,所述弹性调节装置的两端分别与所述固定座与所述固定台连接,所述弹性调节装置的弹性形变方向与所述夹持件的移动方向相同。
[0012]可选的,所述移动装置还包括调节杆,所述调节杆的两端分别与所述固定座与所述弹性调节装置连接,所述弹性调节装置的另一端与所述固定台连接。
[0013]第二方面,本申请实施例提供一种检测设备,所述检测设备包括如上述任一项实施方式所述的检测平台。
[0014]可以看出,在本申请中,所述承载装置包括承载本体与多个边缘夹持组件,所述多个边缘夹持组件设于所述承载本体的周侧,所述边缘夹持组件包括夹持件以及移动装置,所述移动装置与所述夹持件连接,用于带动所述夹持件沿着所述承载装置本体的径向方向移动。通过所述边缘夹持组件,对放置在所述承载本体上的所述待测件进行夹紧,从而方便对所述待测件进行定位,避免所述承载装置在承载所述待测件时,所述待测件发生位置偏移,造成所述承载装置的承载效率降低的问题,提高了对待测件的检测效率。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本申请实施例提供的一种承载装置的结构示意图;
[0017]图2是本申请实施例提供的一种边缘夹持组件的结构示意图;
[0018]图3是本申请实施例提供的一种边缘夹持组件的俯视图;
[0019]图4是本申请实施例提供的一种边缘夹持组件的侧视图。
[0020]附图标号说明:
[0021]标号名称标号名称10承载本体413出气通道20边缘夹持组件50固定台30夹持件60固定座40移动装置70第二位移台41第一位移台80导向板411进气通道90弹性调节装置412位移座100调节杆
具体实施方式
[0022]为了使本
的人员更好地理解本申请方案,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本申请保护的范围。
[0023]以下分别进行详细说明。
[0024]本申请的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”和“第四”等是用于区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。此外,术语“包括”和“具有”以及它们任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元,而是可选地还包括没有列出的步骤或单
元,或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0025]在本文中提及“实施例”意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0026]请参见图1至图4,图1是承载装置的结构示意图。
[0027]所述承载装置包括承载本体10以及多个边缘夹持组件20,所述多个边缘夹持组件20设于所述承载装本体的周侧,其中,所述边缘夹持组件20能够沿所述承载本体10的径向方向移动,当待测件放置于所述承载本体10上时,所述边缘夹持组件20靠近所述承载本体10的中心的一侧与所述待测件抵接,并向所述待测件施加压力,从而通过所述边缘夹持组件20对所述待测件进行固定。
[0028]其中,所述边缘夹持组件20包括夹持件30以及移动装置40,所述移动装置40与所述夹持件30连接,所述移动装置40用于带动所述夹持件30沿着所述承载装置本体的径向方向移动,从而调节所述夹持件30与所述承载本体10的中心之间的距离,方便对所述承载装置上的所述待测件进行夹紧。
[0029]在本申请中,所述承载装置包括承载本体10与多个边缘夹持组件20,所述多个边缘夹持组件20设于所述承载本体10的周侧,所述边缘夹持组件20包括夹持件30以及移动装置 40,所述移动装置40与所述夹持件30连接,用于带动所述夹持件30沿着所述承载装置本体的径向方向移动。通过所述边缘夹持组件20,对放置在所述承载本体10上的所述待测件进行夹紧,从而方便对所述待测件进行定位,避免所述承载装置在本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承载装置,其特征在于,所述承载装置包括承载本体与多个边缘夹持组件,所述多个边缘夹持组件设于所述承载本体的周侧,所述边缘夹持组件包括夹持件以及移动装置,所述移动装置与所述夹持件连接,用于带动所述夹持件沿着所述承载装置本体的径向方向移动。2.根据权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述移动装置包括第一位移台、所述夹持件设于所述第一位移台上,所述夹持件在所述第一位移台的带动下沿所述承载本体的径向方向移动。3.根据权利要求2所述的承载装置,其特征在于,所述第一位移台为气动位移台,所述气动位移台包括进气通道、位移台以及出气通道,所述位移台与所述夹持件连接,所述进气通道的一端与外部气源连通,另一端与所述位移台连通,所述位移台还与所述出气通道连通。4.根据权利要求3所述的承载装置,其特征在于,所述气动位移台还包括第一气压调节阀,所述第一气压调节阀与所述进气通道连通,所述第一气压调节阀用于调节进入所述进气通道的气体压力。5.根据权利要求3所述的承载装置,其特征在于,所述气动位移台还包括第二气压调节阀,所述第二气压调节阀与所述出气通道连...

【专利技术属性】
技术研发人员:张龙方一陈鲁张嵩
申请(专利权)人:深圳中科飞测科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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