一种工件交接系统及检测设备技术方案

一种工件交接系统及检测设备，其中，工件交接系统包括控制模块、传感组件和用于承载工件的承载装置；控制模块与承载装置电连接，用于指示承载装置是否到达交接区，交接区为对工件进行上下料取放的区域；传感组件布置于交接区，用于指示承载装置是否到达交接区；当控制模块指示承载装置到达交接区，并且传感组件指示承载装置到达交接区时，在交接区对工件进行上下料取放。利用设置的传感组件，可与控制模块相配合形成对承载装置的互锁；在交接过程中，只有在传感组件和控制模块均指示承载装置已到达交接区时，才会对工件进行上下料取放；如此，可以有效避免因控制逻辑错误或者承载装置运动不到位等而出现工件磕碰或掉落受损、无法顺畅交接等问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及检测，具体涉及一种工件交接系统及检测设备。

技术介绍

1、在检测系统中，需要抓取装置与承载装置相互配合，以完成待测工件的交接作业，进而借助承载装置将待测工件准确平稳地运动至预定的检测位置，以便最终达到对待测工件进行高精度检测的目的。

2、以适用于晶圆的检测系统为例，通常将晶圆从检测系统外载入检测系统时的区域位置称为上片位（或交接区），由于承载装置的结构功能高度集成，并且承载装置的所有运动位置都是系统软件来控制的。因此，存在因系统软件出现问题而无法准确控制运动平台到达上片位的情况，在这种情况下，如果抓取装置继续在上片位载入晶圆，则很容易因晶圆掉落承载装置或者与相关结构发生干涉而出现晶圆受损、甚至破碎等问题。

技术实现思路

1、本技术主要解决的技术问题是提供一种工件交接系统以及应用了该系统的检测设备，以降低或避免工件在交接过程中发生受损的风险。

2、根据第一方面，一种实施例中提供一种工件交接系统，包括控制模块、传感组件和用于承载工件的承载装置；其中，所述控制模块与所述承载装置电连接，用于指示所述承载装置是否到达交接区，所述交接区为对工件进行上下料取放的区域；所述传感组件布置于所述交接区，用于指示所述承载装置是否到达所述交接区；

3、当所述控制模块指示所述承载装置到达所述交接区，并且所述传感组件指示所述承载装置到达所述交接区时，在所述交接区对工件进行上下料取放。

4、一个实施例中，所述传感组件包括布置在所述交接区的任一方向上的位置检测件；所述位置检测件用于检测所述承载装置的位置，和用于指示所述承载装置是否到达所述交接区。

5、一个实施例中，所述传感组件包括布置在所述交接区的不同方向上的多个位置检测件，多个所述位置检测件用于从不同方向上检测所述承载装置的位置，和用于指示所述承载装置是否到达所述交接区。

6、一个实施例中，所述交接区的不同方向包括相互正交的第一方向和第二方向，多个所述位置检测件中包括布置在所述第一方向上的第一检测件和布置在所述第二方向上的第二检测件。

7、一个实施例中，所述交接区的不同方向包括相互正交的第一方向、第二方向和第三方向，多个所述位置检测件中包括布置在所述第一方向上的第一检测件、布置在所述第二方向上的第二检测件和布置在所述第三方向上的第三检测件。

8、一个实施例中，所述位置检测件包括测距传感器，所述测距传感器用于测量所述测距传感器与所述承载装置之间的距离。

9、一个实施例中，所述承载装置包括运动平台和定位件，所述运动平台用于承载工件；所述定位件以能够跟随所述运动平台运动的方式设置于所述运动平台，用于将工件定位于所述运动平台；

10、所述控制模块电连接所述运动平台和所述定位件，用于指示所述运动平台和/或所述定位件是否到达所述交接区。

11、一个实施例中，所述运动平台用于承载工件的表面为承载面，所述定位件被配置成可控地沿垂直于所述承载面的方向相对所述承载面伸缩移动。

12、一个实施例中，还包括抓取装置，所述抓取装置被配置成可控地在所述交接区对工件进行上下料取放。

13、根据第二方面，一种实施例中提供一种检测设备，包括检测装置和第一方面所述的工件交接系统；其中，所述检测装置布置于检测区，所述检测区为对工件进行检测的区域，所述检测装置用于在所述检测区对工件进行检测；所述承载装置被配置成可控地在所述检测区与所述交接区之间运动。

14、依据上述实施例的一种工件交接系统，包括控制模块、传感组件和用于承载工件的承载装置；控制模块与承载装置电连接，用于指示承载装置是否到达交接区，交接区为对工件进行上下料取放的区域；传感组件布置于交接区，用于指示承载装置是否到达交接区；当控制模块指示承载装置到达交接区，并且传感组件指示承载装置到达交接区时，在交接区对工件进行上下料取放。利用设置的传感组件，可与控制模块相配合形成对承载装置的互锁；在交接过程中，只有在传感组件和控制模块均指示承载装置已到达交接区时，才会对工件进行上下料取放；如此，可以有效避免因控制逻辑错误或者承载装置运动不到位等而出现工件磕碰或掉落受损、无法顺畅交接等问题。

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【技术保护点】

1.一种工件交接系统，其特征在于，包括控制模块、传感组件、抓取装置和用于承载工件的承载装置；其中，所述控制模块与所述承载装置电连接，用于指示所述承载装置是否到达交接区，所述交接区为对工件进行上下料取放的区域；所述传感组件布置于所述交接区，用于指示所述承载装置是否到达所述交接区；

2.如权利要求1所述的工件交接系统，其特征在于，所述传感组件包括布置在所述交接区的任一方向上的位置检测件；所述位置检测件用于检测所述承载装置的位置，和用于指示所述承载装置是否到达所述交接区。

3.如权利要求1所述的工件交接系统，其特征在于，所述传感组件包括布置在所述交接区的不同方向上的多个位置检测件，多个所述位置检测件用于从不同方向上检测所述承载装置的位置，和用于指示所述承载装置是否到达所述交接区。

4.如权利要求3所述的工件交接系统，其特征在于，所述交接区的不同方向包括相互正交的第一方向和第二方向，多个所述位置检测件中包括布置在所述第一方向上的第一检测件和布置在所述第二方向上的第二检测件。

5.如权利要求3所述的工件交接系统，其特征在于，所述交接区的不同方向包括相互正交的第一方向、第二方向和第三方向，多个所述位置检测件中包括布置在所述第一方向上的第一检测件、布置在所述第二方向上的第二检测件和布置在所述第三方向上的第三检测件。

6.如权利要求2-5中任一项所述的工件交接系统，其特征在于，所述位置检测件包括测距传感器，所述测距传感器用于测量所述测距传感器与所述承载装置之间的距离。

7.如权利要求1所述的工件交接系统，其特征在于，所述承载装置包括运动平台和定位件，所述运动平台用于承载工件；所述定位件以能够跟随所述运动平台运动的方式设置于所述运动平台，用于将工件定位于所述运动平台；

8.如权利要求7所述的工件交接系统，其特征在于，所述运动平台用于承载工件的表面为承载面，所述定位件被配置成可控地沿垂直于所述承载面的方向相对所述承载面伸缩移动。

9.一种检测设备，其特征在于，包括检测装置和如权利要求1-8中任一项所述的工件交接系统；其中，所述检测装置布置于检测区，所述检测区为对工件进行检测的区域，所述检测装置用于在所述检测区对工件进行检测；所述承载装置被配置成可控地在所述检测区与所述交接区之间运动。

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【技术特征摘要】

1.一种工件交接系统，其特征在于，包括控制模块、传感组件、抓取装置和用于承载工件的承载装置；其中，所述控制模块与所述承载装置电连接，用于指示所述承载装置是否到达交接区，所述交接区为对工件进行上下料取放的区域；所述传感组件布置于所述交接区，用于指示所述承载装置是否到达所述交接区；

2.如权利要求1所述的工件交接系统，其特征在于，所述传感组件包括布置在所述交接区的任一方向上的位置检测件；所述位置检测件用于检测所述承载装置的位置，和用于指示所述承载装置是否到达所述交接区。

3.如权利要求1所述的工件交接系统，其特征在于，所述传感组件包括布置在所述交接区的不同方向上的多个位置检测件，多个所述位置检测件用于从不同方向上检测所述承载装置的位置，和用于指示所述承载装置是否到达所述交接区。

4.如权利要求3所述的工件交接系统，其特征在于，所述交接区的不同方向包括相互正交的第一方向和第二方向，多个所述位置检测件中包括布置在所述第一方向上的第一检测件和布置在所述第二方向上的第二检测件。

5.如权利要求3所述的工件交接系统，其特征在于，所述交接区的不同方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦康，王少斌，胡诗铭，张鹏斌，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：