【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子光学仪器，具体涉及一种电子束阻断与聚焦的控制方法。
技术介绍
1、扫描电镜(sem)是一种利用聚焦电子束扫描样品表面，通过检测与样品相互作用产生的信号来获取样品表面形貌和成分信息的高分辨率显微镜。在sem中，静电透镜(electrostaticlens)和电子束阻断器(blanker)是两个重要组件。
2、静电透镜是sem中用于聚焦电子束的透镜系统。它通常由几层环形电极组成，不同层电极通过施加不同的电压来形成静电场，从而控制电子束的聚焦。静电透镜的设计原理基于静电力的作用，通过合理设计电极结构和电压分布，实现对电子束的聚焦和散焦。与传统的磁透镜相比，静电透镜所需空间小，调制带宽高，具有独特的优势，是扫描电镜中不可或缺的一个组件。
3、阻断器blanker同样是sem中的一个关键组件，用于控制电子束的开启和关闭。它通常安装在电子束的路径上，通过施加电场方式来阻断电子束，从而实现对样品的精确扫描。blanker的主要作用是在不需要电子束照射样品时，例如行扫描回位时，将其关闭，以避免不必要的电子束曝光...
【技术保护点】
1.一种电子束阻断与聚焦的控制方法，应用于包含静电透镜的扫描电镜，其特征在于，所述静电透镜包括沿电子束路径依次设置的上极片、电子束阻断器和下极片，其中：所述电子束阻断器被配置为静电透镜的中间极片，所述电子束阻断器具有供电子束穿过的中心通孔，所述电子束阻断器包括被绝缘层隔离的左瓣电极和右瓣电极，所述中心通孔形成于所述左瓣电极和所述右瓣电极之间，所述中心通孔与所述静电透镜的电子束通孔同轴设置；
2.根据权利要求1所述的电子束阻断与聚焦的控制方法，其特征在于，在聚焦模式下：
3.根据权利要求2所述的电子束阻断与聚焦的控制方法，其特征在于，在阻断模式下
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【技术特征摘要】
1.一种电子束阻断与聚焦的控制方法，应用于包含静电透镜的扫描电镜，其特征在于，所述静电透镜包括沿电子束路径依次设置的上极片、电子束阻断器和下极片，其中：所述电子束阻断器被配置为静电透镜的中间极片，所述电子束阻断器具有供电子束穿过的中心通孔，所述电子束阻断器包括被绝缘层隔离的左瓣电极和右瓣电极，所述中心通孔形成于所述左瓣电极和所述右瓣电极之间，所述中心通孔与所述静电透镜的电子束通孔同轴设置；
2.根据权利要求1所述的电子束阻断与聚焦的控制方法，其特征在于，在聚焦模式下：
3.根据权利要求2所述的电子束阻断与聚焦的控制方法，其特征在于，在阻断模式下：
4.根据权利要求3所述的电子束阻断与聚焦的控制方法，其特征在于，在阻断模式下：
5.根据权利要求2所述的电子束阻断与聚焦的控制方法，其特征在于，在聚焦模式下：
6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕肃，岳鹿野，汪海锋，庞芝亮，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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