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本发明涉及一种电子束阻断与聚焦的控制方法，包含静电透镜，静电透镜包括沿电子束路径依次设置的上极片、电子束阻断器和下极片，所述电子束阻断器被配置为静电透镜的中间极片，所述电子束阻断器包括左瓣电极和右瓣电极，包括以下操作模式：阻断模式，对所述左...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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