【技术实现步骤摘要】
本技术涉及地脚固定装置。
技术介绍
1、一些作业设备使用时往往需要通过地脚支撑在地基上，地脚能够均匀地支撑作业设备，从而保证作业设备的稳定。地脚一般包括竖直地连接在设备底部的支撑柱以及连接在支撑柱底部的支座，支座能够支撑到地基上，支撑柱能够在支座与设备之间传递支撑力。
2、晶圆检测设备作为一种精密设备，不但需要通过地脚支撑在地基上，一些情况下还需要地脚被牢固地固定在地基上，这样能够防止晶圆检测设备因振动等因素产生移动。一般情况下，地脚的固定需要在地基上配置螺纹孔，通过螺纹孔和对应的连接件将地脚固定在地基上。
3、但是，有的客户现场的现有条件是地基上只有光孔，无螺纹孔，如果临时制作带有螺纹孔的地基，将会面临工期延迟、需要进行项目协调和产生额外费用的问题，不利于设备的快速部署。
技术实现思路
1、本技术主要解决地基上只有光孔的情况下难以直接实现地脚的固定的技术问题。
2、本技术提供了一种地脚固定装置。
3、地脚固定装置，包括：
4、基座，所述基座用于固定在地基上并与设备底部的地脚连接；
5、至少两个胀紧件，所述胀紧件包括固定柱，所述固定柱用于插入地基上的开孔内；所述胀紧件沿垂直于所述固定柱的轴线的活动平面活动布置在所述基座上，所述胀紧件围绕施压件分布且各所述胀紧件均可靠拢和远离所述施压件；
6、所述施压件具有与各所述胀紧件分别对应的倾斜施压面，所述胀紧件上设有适配斜面，所述适配斜面用于与对应的所述倾斜施
7、以及驱动件，所述驱动件连接在所述基座与所述施压件之间，所述驱动件用于对所述施压件施加压向所述胀紧件的作用力。
8、在一种技术方案中，所述适配斜面和倾斜施压面的其中一个上设有导向滑槽，所述导向滑槽沿所述固定柱的轴线延伸，所述倾斜施压面和适配斜面的另一个上设有导向凸起，所述导向凸起用于沿所述导向滑槽滑动。
9、在一种技术方案中，所述基座上设有容纳槽，所述胀紧件的至少一部分嵌入所述容纳槽中，所述胀紧件支撑在所述容纳槽的槽底壁上，所述容纳槽的槽底壁上设有穿孔，所述固定柱从所述穿孔中穿出。
10、在一种技术方案中，各所述胀紧件和所述施压件可在所述活动平面上沿第一方向同步平移，所述驱动件连接在所述基座上，所述施压件上设有避让空间，所述避让空间用于在胀紧件和施压件平移时避让所述驱动件。
11、在一种技术方案中，所述驱动件为驱动螺钉，所述基座上设有供驱动螺钉连接的螺纹孔；所述施压件上设有螺钉穿孔，所述驱动螺钉的杆部穿过所述螺钉穿孔并连接至所述螺纹孔。
12、在一种技术方案中，所述螺钉穿孔为沿所述第一方向延伸的长孔，所述避让空间由所述长孔形成。
13、在一种技术方案中，所述胀紧件设有两个，两个所述胀紧件和所述施压件沿直线排列，所述胀紧件包括导向柄，所述导向柄设置在所述胀紧件远离所述施压件的一侧；所述基座上设有腰形孔，所述腰形孔的长度方向平行于所述第一方向，所述导向柄嵌入所述腰形孔内，所述腰形孔用于引导所述导向柄沿所述第一方向平移。
14、在一种技术方案中，所述导向柄由导向螺钉形成，所述胀紧件上设有螺纹孔，所述导向螺钉固定连接在所述胀紧件上的螺纹孔中，所述导向螺钉的杆部从所述腰形孔中通过。
15、在一种技术方案中，所述基座包括地基连接部分和地脚连接部分，所述胀紧件设置在所述地基连接部分上，所述地脚连接部分上设有地脚固定结构，所述地脚固定结构用于与设备底部的地脚连接；所述地基连接部分与所述地脚连接部分沿所述固定柱的轴向错开。
16、在一种技术方案中，所述地脚连接部分为板状结构，所述板状结构上设有卡接槽，所述卡接槽沿所述固定柱的轴向贯通所述板状结构，所述卡接槽在所述板状结构的一个侧边形成卡口；所述卡接槽用于卡接到地脚顶部的支撑柱上以使所述板状结构压紧所述支撑柱底部的支座。
17、本技术的有益效果：
18、根据上述地脚固定装置，通过设置至少两个胀紧件，胀紧件沿活动平面移动时，胀紧件上的固定柱能够撑紧地基上的开孔孔壁，从而依靠固定柱与开孔孔壁之间的摩擦力实现地脚固定装置与地基的固定，进而实现对设备底部的地脚的固定；另外，地脚固定装置还包括施压件和驱动施压件压向胀紧件的驱动件，施压件上与各所述胀紧件分别对应的倾斜施压面能够与胀紧件上的适配斜面相贴合，以在所述施压件压向所述胀紧件时驱动各所述胀紧件同时远离所述施压件，使固定柱撑紧地基上的开孔，这样就不需要另外制作带有螺纹孔的地基，解决了地基上未设置螺纹孔的情况下难以直接实现地脚的固定的技术问题。
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1.地脚固定装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的地脚固定装置，其特征在于，所述适配斜面和倾斜施压面的其中一个上设有导向滑槽，所述导向滑槽沿所述固定柱的轴线延伸，所述倾斜施压面和适配斜面的另一个上设有导向凸起，所述导向凸起用于沿所述导向滑槽滑动。
3.如权利要求1所述的地脚固定装置，其特征在于，所述基座上设有容纳槽，所述胀紧件的至少一部分嵌入所述容纳槽中，所述胀紧件支撑在所述容纳槽的槽底壁上，所述容纳槽的槽底壁上设有穿孔，所述固定柱从所述穿孔中穿出。
4.如权利要求1至3中任一项所述的地脚固定装置，其特征在于，各所述胀紧件和所述施压件可在所述活动平面上沿第一方向同步平移，所述驱动件连接在所述基座上，所述施压件上设有避让空间，所述避让空间用于在胀紧件和施压件平移时避让所述驱动件。
5.如权利要求4所述的地脚固定装置，其特征在于，所述驱动件为驱动螺钉，所述基座上设有供驱动螺钉连接的螺纹孔；所述施压件上设有螺钉穿孔，所述驱动螺钉的杆部穿过所述螺钉穿孔并连接至所述螺纹孔。
6.如权利要求5所述的地脚固定装置，其特征在于
7.如权利要求4所述的地脚固定装置，其特征在于，所述胀紧件设有两个，两个所述胀紧件和所述施压件沿直线排列，所述胀紧件包括导向柄，所述导向柄设置在所述胀紧件远离所述施压件的一侧；所述基座上设有腰形孔，所述腰形孔的长度方向平行于所述第一方向，所述导向柄嵌入所述腰形孔内，所述腰形孔用于引导所述导向柄沿所述第一方向平移。
8.如权利要求7所述的地脚固定装置，其特征在于，所述导向柄由导向螺钉形成，所述胀紧件上设有螺纹孔，所述导向螺钉固定连接在所述胀紧件上的螺纹孔中，所述导向螺钉的杆部从所述腰形孔中通过。
9.如权利要求1至3中任一项所述的地脚固定装置，其特征在于，所述基座包括地基连接部分和地脚连接部分，所述胀紧件设置在所述地基连接部分上，所述地脚连接部分上设有地脚固定结构，所述地脚固定结构用于与设备底部的地脚连接；所述地基连接部分与所述地脚连接部分沿所述固定柱的轴向错开。
10.如权利要求9所述的地脚固定装置，其特征在于，所述地脚连接部分为板状结构，所述板状结构上设有卡接槽，所述卡接槽沿所述固定柱的轴向贯通所述板状结构，所述卡接槽在所述板状结构的一个侧边形成卡口；所述卡接槽用于卡接到地脚顶部的支撑柱上以使所述板状结构压紧所述支撑柱底部的支座。
...【技术特征摘要】
1.地脚固定装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的地脚固定装置，其特征在于，所述适配斜面和倾斜施压面的其中一个上设有导向滑槽，所述导向滑槽沿所述固定柱的轴线延伸，所述倾斜施压面和适配斜面的另一个上设有导向凸起，所述导向凸起用于沿所述导向滑槽滑动。
3.如权利要求1所述的地脚固定装置，其特征在于，所述基座上设有容纳槽，所述胀紧件的至少一部分嵌入所述容纳槽中，所述胀紧件支撑在所述容纳槽的槽底壁上，所述容纳槽的槽底壁上设有穿孔，所述固定柱从所述穿孔中穿出。
4.如权利要求1至3中任一项所述的地脚固定装置，其特征在于，各所述胀紧件和所述施压件可在所述活动平面上沿第一方向同步平移，所述驱动件连接在所述基座上，所述施压件上设有避让空间，所述避让空间用于在胀紧件和施压件平移时避让所述驱动件。
5.如权利要求4所述的地脚固定装置，其特征在于，所述驱动件为驱动螺钉，所述基座上设有供驱动螺钉连接的螺纹孔；所述施压件上设有螺钉穿孔，所述驱动螺钉的杆部穿过所述螺钉穿孔并连接至所述螺纹孔。
6.如权利要求5所述的地脚固定装置，其特征在于，所述螺钉穿孔为沿所述第一方向延伸的长孔，所述避让空间由所述长孔形成。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，黄有为，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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