【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体检测，尤其涉及一种检测区域确定方法、检测区域确定装置及计算机可读存储介质。
技术介绍
1、工件缺陷检测过程中通常采用模板匹配法检测工件(例如晶圆)的表面缺陷，但在模板匹配法进行检测前需将待测图像和标准图像先进行对齐处理。对齐处理通常会直接将待测图像与标准图像逐像素相对滑动，并进行匹配；当待测图像与标准图像匹配度最高时，待测图像与标准图像对齐。然而，上述方法，计算量巨大且耗时长。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本申请提供一种检测区域确定方法、检测区域确定装置、缺陷检测设备及计算机可读存储介质，可以减少确定检测区域的计算量，提高从待测图像中确定检测区域的速度，缩短区域定位时间，提高区域定位效率。
2、为达到上述目的，本申请实施例的技术方案是这样实现的：
3、第一方面，本申请实施例提供一种检测区域确定方法，包括：
4、获取目标对象的待测图像；
5、根据参考图像的尺寸大小确定所述参考图像在所述待测图像上进行匹配的搜索窗口，通过所述搜索窗口按设定步距在所述待测物图像上依序滑动，得到与各滑动位置分别对应的多个搜索区域；
6、基于所述参考图像的像素灰度总和分别与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，确定检测区域，所述检测区域为与所述参考图像匹配的搜索区域；
7、第二方面，本申请实施例提供一种检测区域确定装置，包括：
8、待测图像获取模块，用于获取目标对象的待测图像；
9、搜索区域得
10、检测区域确定模块，用于基于所述参考图像的像素灰度总和分别与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，确定检测区域，所述检测区域为与所述参考图像匹配的搜索区域。
11、第三方面，本申请实施例提供一种缺陷检测设备，包括处理器及存储器，所述存储器内存储有可被所述处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现本申请任一实施例所述的检测区域确定方法。
12、第四方面，本申请实施例提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被控制器执行时实现本申请任一实施例所述的检测区域确定方法。
13、本申请上述实施例提供检测区域确定方法、检测区域确定装置、缺陷检测设备及计算机可读存储介质，可以获取目标对象的待测图像，根据参考图像的尺寸大小确定所述参考图像在所述待测图像上进行匹配的搜索窗口，通过搜索窗口按设定步距在待测物图像上依序滑动，得到与各滑动位置分别对应的多个搜索区域。如此，通过滑动窗口可以从待测物图像中得到多个与参考图像待匹配的搜索区域。并且，通过参考图像的像素灰度总和分别与各个搜索区域的像素灰度总和的差值即可从多个搜索区域中快速定位与参考图像匹配的检测区域。如此，可以无需逐个像素做差分计算即可快速从待测图像定位出检测区域，减少计算量，缩短区域定位时间，提高区域定位效率。
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1.一种检测区域确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的检测区域确定方法，其特征在于，在所述基于所述参考图像的像素灰度总和分别与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，确定检测区域之后，还包括：
3.根据权利要求1所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述基于所述参考图像的像素灰度总和分别与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，确定检测区域，包括：
4.根据权利要求1所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述基于所述参考图像的像素灰度总和分别与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，确定检测区域，包括：
5.根据权利要求4所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述分别确定所述参考图像的像素灰度总和与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，包括：
6.根据权利要求5所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述对于任意相邻的两个搜索区域，基于所述设定步距以及滑动方向确定两个所述搜索区域之间的增减区域，基于所述参考图像的像素灰度总和与在先所述搜索区域的像素灰度总和的差值，以及所述增减区域对应的像素灰度和，确定所述参考图像的像素灰
7.根据权利要求4至6任一所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述分别确定所述参考图像的像素灰度总和与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，包括：
8.根据权利要求4所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述分别确定所述参考图像的像素灰度总和与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，包括：
9.根据权利要求8所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述分别确定各所述搜索区域的像素灰度总和，包括：
10.根据权利要求9所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述对于任意相邻的两个搜索区域，基于所述设定步距以及滑动方向确定两个所述搜索区域之间的增减区域，基于在先所述搜索区域的像素灰度总和以及所述增减区域对应的像素灰度和，确定在后所述搜索区域的像素灰度总和，包括：
11.根据权利要求8至10任一所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述分别确定各所述搜索区域的像素灰度总和，还包括：
12.根据权利要求9所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述对于任意相邻的两个搜索区域，基于所述设定步距以及滑动方向确定两个所述搜索区域之间的增减区域，基于在先所述搜索区域的像素灰度总和以及所述增减区域对应的像素灰度和，确定在后所述搜索区域的像素灰度总和，包括：
13.根据权利要求7或11所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述将第一个所述搜索区域的像素的灰度值进行累加，得到第一个所述搜索区域的像素灰度总和，包括：
14.一种检测区域确定装置，其特征在于，包括：
15.一种缺陷检测设备，其特征在于，包括处理器及存储器，所述存储器内存储有可被所述处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至13中任一项所述的检测区域确定方法。
16.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被控制器执行时实现如权利要求1至13中任一项所述的检测区域确定方法。
...【技术特征摘要】
1.一种检测区域确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的检测区域确定方法，其特征在于，在所述基于所述参考图像的像素灰度总和分别与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，确定检测区域之后，还包括：
3.根据权利要求1所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述基于所述参考图像的像素灰度总和分别与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，确定检测区域，包括：
4.根据权利要求1所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述基于所述参考图像的像素灰度总和分别与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，确定检测区域，包括：
5.根据权利要求4所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述分别确定所述参考图像的像素灰度总和与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，包括：
6.根据权利要求5所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述对于任意相邻的两个搜索区域，基于所述设定步距以及滑动方向确定两个所述搜索区域之间的增减区域，基于所述参考图像的像素灰度总和与在先所述搜索区域的像素灰度总和的差值，以及所述增减区域对应的像素灰度和，确定所述参考图像的像素灰度总和与在后所述搜索区域的像素灰度总和的差值，包括:
7.根据权利要求4至6任一所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述分别确定所述参考图像的像素灰度总和与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，包括：
8.根据权利要求4所述的检测区域确定方法，其特征在于，所述分别确定所述参考图像的像素灰度总和与各个所述搜索区域的像素灰度总和的差值，包括：
9.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，肖遥，张鹏斌，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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