【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学检测设备，具体涉及一种光学调节装置。
技术介绍
1、半导体晶圆的表面缺陷主要是通过光学成像技术进行检测，行业内在对晶圆表面缺陷进行检测时，往往需要用到照明系统中的光学调节装置对入射光束的偏振态进行调整，从而得到多种照明光束，方便后续根据不同晶圆表面特性选择不同照明光束，使晶圆表面多种类型的缺陷特征清晰易见。
2、光学调节装置中会用到偏振片和波片，偏振片与波片的组合、转向对光束的偏振态调节起到决定作用，以往通常通过手动调整的方式调节偏振片和波片的转向，调节精度低且无法满足动态调整的应用需求。
技术实现思路
1、本申请提供一种光学调节装置和照明系统，以解决现有技术光学调节装置的调节精度低且无法满足动态调整需求的技术问题。
2、根据本申请的一方面，一种实施例中提供一种光学调节装置，包括调节组件，所述调节组件包括：
3、筒体，具有供入射光束通过的中心通道，所述筒体内安装有用于调节入射光束的光学元件；
4、支座，具有安装孔，所述筒体通过轴承可转动地安装于所述安装孔内；
5、驱动件，用于通过传动机构驱动所述筒体转动，所述传动机构包括从动件，所述从动件环绕设于所述筒体的外侧；
6、锁止件，连接在所述筒体上并与所述从动件相抵持，用于限制所述从动件和所述筒体的相对转动。
7、在一种可选的实施例中，所述调节组件还包括固定件，所述固定件安装于所述支座上，所述固定件与所述支座配合以夹持固定所述轴承的外圈。p>
8、在一种可选的实施例中，所述调节组件还包括制动件，所述制动件连接于所述筒体的外侧，所述制动件用于抵持限制所述轴承的内圈。
9、在一种可选的实施例中，在所述筒体的轴向上，所述从动件位于所述制动件与所述锁止件之间，所述从动件与所述制动件连接。
10、在一种可选的实施例中，所述从动件为从动齿轮，所述传动机构包括与所述从动齿轮啮合的主动齿轮，所述驱动件的输出端与所述主动齿轮连接。
11、在一种可选的实施例中，所述调节组件还包括锁定环，所述锁定环与所述筒体连接，且与所述光学元件在所述筒体的轴向上相抵持，以限制所述光学元件从所述筒体脱出。
12、在一种可选的实施例中，所述调节组件的数量为两个，两个所述调节组件中各所述筒体同轴布置；两个所述调节组件中的各所述光学元件位于入射光束的传输光路上，用于配合调整入射光束的状态。
13、在一种可选的实施例中，在两个所述调节组件中，两个所述光学元件中一者为偏振片，另一者为二分之一波片，所述偏振片和所述二分之一波片的配合用于入射光束的偏振方向或光束功率的调节。
14、在一种可选的实施例中，在两个所述调节组件中，两个所述光学元件中一者为二分之一波片，另一者为四分之一波片，所述二分之一波片和所述四分之一波片的配合用于将入射光束转换成圆偏振光或椭圆偏振光，实现入射光束偏振态的调节。
15、在一种可选的实施例中，所述筒体在所述支座的两侧分为第一端和第二端，所述光学元件内置所述筒体的第一端，所述从动件外置于所述筒体的第二端。
16、在一种可选的实施例中，在所述筒体的轴向上，所述驱动件和所述光学元件位于所述从动件的同一侧；两个所述调节组件中的各所述筒体的第一端相对设置。
17、在一种可选的实施例中，所述光学调节装置还包括连接筒，所述连接筒的开口两端分别与两个所述调节组件中的各支座连接，两个所述筒体的各所述第一端均位于所述连接筒内。
18、在一种可选的实施例中，所述光学调节装置还包括吹扫组件，所述吹扫组件具有进气口和出气口，所述进气口用于与外部气源连接，所述出气口用于向所述连接筒内的各所述光学元件吹气除尘。
19、在一种可选的实施例中，所述吹扫组件包括导流件，所述导流件位于所述连接筒内，所述导流件具有通光孔，所述出气口设置于所述通光孔的孔壁上，所述导流件具有用于引导气流至各所述光学元件的导流面。
20、根据本申请的一方面，一种实施例中提供一种照明系统，包括光源和上述任一项所述的光学调节装置，所述光源用于产生光束，所述筒体的中心通道供所述光束通过。
21、依据上述实施例的光学调节装置和照明系统，由于光学调节装置中调节组件包括筒体、支座、驱动件和锁止件，筒体内安装有光学元件，筒体通过轴承可转动地安装在支座上，驱动件通过传动机构与筒体连接，传动机构中从动件环绕筒体外侧以带动筒体转动，而锁止件连接在筒体上与从动件相抵持以限制从动件和筒体相对转动，这样能够使整个调节组件形成稳定的传动连接结构，驱动件输出的动力通过传动机构带动筒体转动，以实现筒体内光学元件的角度调节，与通过手动调节的方式相比，本申请中在稳定的传动连接结构中通过驱动件带动筒体转动的光学元件调节方式能够提高光学元件的调整精度，并且能够满足光学元件的动态调整需求。
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1.一种光学调节装置，其特征在于，包括调节组件，所述调节组件包括：
2.如权利要求1所述的光学调节装置，其特征在于，所述调节组件还包括固定件，所述固定件安装于所述支座上，所述固定件与所述支座配合以夹持固定所述轴承的外圈。
3.如权利要求1所述的光学调节装置，其特征在于，所述调节组件还包括制动件，所述制动件连接于所述筒体的外侧，所述制动件用于抵持限制所述轴承的内圈。
4.如权利要求3所述的光学调节装置，其特征在于，在所述筒体的轴向上，所述从动件位于所述制动件与所述锁止件之间，所述从动件与所述制动件连接。
5.如权利要求1所述的光学调节装置，其特征在于，所述从动件为从动齿轮，所述传动机构包括与所述从动齿轮啮合的主动齿轮，所述驱动件的输出端与所述主动齿轮连接。
6.如权利要求1所述的光学调节装置，其特征在于，所述调节组件还包括锁定环，所述锁定环与所述筒体连接，且与所述光学元件在所述筒体的轴向上相抵持，以限制所述光学元件从所述筒体脱出。
7.如权利要求1至6中任一项所述的光学调节装置，其特征在于，所述调节组件的数量为
8.如权利要求7所述的光学调节装置，其特征在于，在两个所述调节组件中，两个所述光学元件中一者为偏振片，另一者为二分之一波片，所述偏振片和所述二分之一波片的配合用于入射光束的偏振方向或光束功率的调节。
9.如权利要求7所述的光学调节装置，其特征在于，在两个所述调节组件中，两个所述光学元件中一者为二分之一波片，另一者为四分之一波片，所述二分之一波片和所述四分之一波片的配合用于将入射光束转换成圆偏振光或椭圆偏振光，实现入射光束偏振态的调节。
10.如权利要求7所述的光学调节装置，其特征在于，所述筒体在所述支座的两侧分为第一端和第二端，所述光学元件内置所述筒体的第一端，所述从动件外置于所述筒体的第二端。
11.如权利要求10所述的光学调节装置，其特征在于，在所述筒体的轴向上，所述驱动件和所述光学元件位于所述从动件的同一侧；两个所述调节组件中的各所述筒体的第一端相对设置。
12.如权利要求10所述的光学调节装置，其特征在于，所述光学调节装置还包括连接筒，所述连接筒的开口两端分别与两个所述调节组件中的各支座连接，两个所述筒体的各所述第一端均位于所述连接筒内。
13.如权利要求12所述的光学调节装置，其特征在于，所述光学调节装置还包括吹扫组件，所述吹扫组件具有进气口和出气口，所述进气口用于与外部气源连接，所述出气口用于向所述连接筒内的各所述光学元件吹气除尘。
14.如权利要求13所述的光学调节装置，其特征在于，所述吹扫组件包括导流件，所述导流件位于所述连接筒内，所述导流件具有通光孔，所述出气口设置于所述通光孔的孔壁上，所述导流件具有用于引导气流至各所述光学元件的导流面。
15.一种照明系统，其特征在于，包括光源和权利要求1至14中任一项所述的光学调节装置，所述光源用于产生光束，所述筒体的中心通道供所述光束通过。
...【技术特征摘要】
1.一种光学调节装置，其特征在于，包括调节组件，所述调节组件包括：
2.如权利要求1所述的光学调节装置，其特征在于，所述调节组件还包括固定件，所述固定件安装于所述支座上，所述固定件与所述支座配合以夹持固定所述轴承的外圈。
3.如权利要求1所述的光学调节装置，其特征在于，所述调节组件还包括制动件，所述制动件连接于所述筒体的外侧，所述制动件用于抵持限制所述轴承的内圈。
4.如权利要求3所述的光学调节装置，其特征在于，在所述筒体的轴向上，所述从动件位于所述制动件与所述锁止件之间，所述从动件与所述制动件连接。
5.如权利要求1所述的光学调节装置，其特征在于，所述从动件为从动齿轮，所述传动机构包括与所述从动齿轮啮合的主动齿轮，所述驱动件的输出端与所述主动齿轮连接。
6.如权利要求1所述的光学调节装置，其特征在于，所述调节组件还包括锁定环，所述锁定环与所述筒体连接，且与所述光学元件在所述筒体的轴向上相抵持，以限制所述光学元件从所述筒体脱出。
7.如权利要求1至6中任一项所述的光学调节装置，其特征在于，所述调节组件的数量为两个，两个所述调节组件中各所述筒体同轴布置；两个所述调节组件中的各所述光学元件位于入射光束的传输光路上，用于配合调整入射光束的状态。
8.如权利要求7所述的光学调节装置，其特征在于，在两个所述调节组件中，两个所述光学元件中一者为偏振片，另一者为二分之一波片，所述偏振片和所述二分之一波片的配合用于入射光束的偏振方向或光束功率的调节。
9.如权利要求7所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王朋辉，黄有为，李光蕊，宋博文，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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