【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光机承载结构。
技术介绍
1、一些光学设备对精密度要求较高，各光学元件之间需要保证非常稳定的相对位置关系。例如，半导体行业中用于对晶圆、芯片、掩膜版等产品进行检测的光学检测/量测设备，其中涉及很多光学模块(如镜筒、镜组、镜头、相机等组件，以及透镜、反射镜、分光片等单个光学元件)，这些光学模块往往可拆卸地安装在一个光机背板上，相互之间保持一定的位置关系。
2、光学模块可拆卸地安装在同一光机背板上的好处是便于单个光学模块的拆装和光学装调，但是，这种结构也存在不利之处，比如光机背板发生轻微形变或者某个光学模块松动时，各光学模块之间的位置关系就会发生改变，容易导致光路发生改变，从而造成光学检测的失败。
技术实现思路
1、本技术主要解决光学设备的光学模块之间易发生位置关系改变而影响光路稳定的技术问题。
2、第一方面，本技术提供了一种光机承载结构。
3、一种光机承载结构，包括：
4、光机背板；
5、承载支座，所述承载支座与所述光机背...
【技术保护点】
1.一种光机承载结构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光机承载结构，其特征在于，所述加强支撑组件包括斜撑梁，所述斜撑梁相对于所述光机背板倾斜布置，所述斜撑梁的一端与所述光机背板连接，另一端与所述承载支座连接。
3.如权利要求1所述的光机承载结构，其特征在于，所述承载支座包括法兰连接部，所述法兰连接部用于供可拆卸支座连接，所述法兰连接部具有用于朝向所述可拆卸支座的对接面和与所述对接面相背的背面，所述加强支撑组件连接在所述背面与所述光机背板之间。
4.如权利要求3所述的光机承载结构，其特征在于，所述承载支座的光学腔室具有第一光...
【技术特征摘要】
1.一种光机承载结构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光机承载结构，其特征在于，所述加强支撑组件包括斜撑梁，所述斜撑梁相对于所述光机背板倾斜布置，所述斜撑梁的一端与所述光机背板连接，另一端与所述承载支座连接。
3.如权利要求1所述的光机承载结构，其特征在于，所述承载支座包括法兰连接部，所述法兰连接部用于供可拆卸支座连接，所述法兰连接部具有用于朝向所述可拆卸支座的对接面和与所述对接面相背的背面，所述加强支撑组件连接在所述背面与所述光机背板之间。
4.如权利要求3所述的光机承载结构，其特征在于，所述承载支座的光学腔室具有第一光轴方向，所述法兰连接部的所述对接面与所述第一光轴方向垂直；其中，所述第一光轴方向配置为所述光机背板的运动方向。
5.如权利要求4所述的光机承载结构，其特征在于，至少一个所述通光口沿第二光轴方向设置，所述第二光轴方向与所述第一光轴方向垂直；所述光学腔室内用于设置分光元件或反射元件，以将全部或部分的光束从第二光轴方向引导至第一光轴方向。
6.如权利要求1至4中任一项所述的光机承载结构，其特征在于，所述加强支撑组件与所述光机背板、所述承载支座连为一体化结构。
7.如权利要求1或2所述的光机承载结构，其特征在于，还包括可拆卸支座，所述可拆卸支座具有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部分别位于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡志伟，姚本溪，吕肃，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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