【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学，更具体地说，涉及一种光强调节机构、照明装置及光学检测系统。
技术介绍
1、在半导体晶圆检测系统中，照明光源采用高亮度激光激发光源，光源亮度无法通过光源控制器的电流或者电压调节。目前常用的方法是采用光强调节机构来实现照明光的强度调整，由于照明光强一般需要连续调节，因此，光强调节机构所配备的滤光片需要采用光束透过率渐变的滤光片，但正因为如此，滤光片对应通光孔径内的透过率会存在不均匀的情况。
2、综上所述，如何解决光强调节机构的滤光片对应通光孔径内的透过率会存在不均匀的问题已经成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种光强调节机构、照明装置及光学检测系统，以解决光强调节机构的滤光片对应通光孔径内的透过率会存在不均匀的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种光强调节机构，包括：
4、滤光片组，所述滤光片组包括两个至少部分呈重叠布置的滤光片，且在重叠布置的区域中的至少部分区域配置为通光区域，所述滤光片包括全通区域和透过率渐变区域；
5、驱动组件，用于驱动所述滤光片组的两个所述滤光片执行第一运动行程和第二运动行程；
6、其中，所述第一运动行程配置为两个所述滤光片的全通区域在所述通光区域重叠，所述第二运动行程配置为两个所述滤光片的透过率渐变区域在所述通光区域以透过率相互对等补偿的方式重叠。
7、可选地，所述滤光片组的两个所述滤光片均为
8、可选地，所述滤光片组的两个所述滤光片为部分重叠且二者呈中心对称布置，所述通光区域的中心位于两个所述滤光片的对称中心；
9、其中，所述驱动组件用于驱动所述滤光片组的两个所述滤光片同向转动，且所述滤光片组的两个所述滤光片所配置的透过率渐变区域的透过率渐变方向相同。
10、可选地，所述透过率渐变区域为设置于所述滤光片上的渐变镀膜，所述滤光片组的两个所述滤光片呈中心对称配置为两个所述滤光片上的渐变镀膜呈中心对称。
11、可选地，所述滤光片组的两个所述滤光片为完全重叠且二者的转轴重合，所述通光区域的中心偏离所述滤光片的转轴预设距离，
12、其中，所述驱动组件用于驱动所述滤光片组的两个所述滤光片反向转动，且所述滤光片组的两个所述滤光片所配置的透过率渐变区域的透过率渐变方向相反。
13、可选地，所述透过率渐变区域的光密度曲线配置为：od＝(θ-90)*odmax/270，t＝10^(-od)；
14、其中，od为光密度，θ为以所述圆形转轮滤光片的中心为圆心的极坐标角度，odmax为所述圆形转轮滤光片的最大光密度，t为所述透过率渐变区域中与θ相对应位置的透过率。
15、可选地，所述滤光片组的两个所述滤光片为两个部分区域重叠的线性渐变滤光片，所述驱动机构用于驱动两个所述线性渐变滤光片相向运动，所述全通区域及所述透过率渐变区域在所述线性渐变滤光片的线性方向依次布置，所述透过率渐变区域的透过率沿所在区域的线性方向渐变，且两个所述线性渐变滤光片所配置的透过率渐变区域的透过率渐变方向相反。
16、可选地，所述驱动组件包括第一驱动机构和第二驱动机构，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构分别用于驱动所述滤光片组的两个所述滤光片运动。
17、可选地，所述第一驱动机构与所述第二驱动机构采用相互独立的驱动电机；或，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构共用一个驱动电机。
18、相比于
技术介绍
介绍内容，上述光强调节机构，包括滤光片组和驱动组件，其中，滤光片组包括两个至少部分呈重叠布置的滤光片，且在重叠布置的区域中的至少部分区域配置为通光区域，滤光片包括全通区域和透过率渐变区域；驱动组件用于驱动滤光片组的两个滤光片执行第一运动行程和第二运动行程；并且第一运动行程配置为两个滤光片的全通区域在通光区域重叠，第二运动行程配置为两个滤光片的透过率渐变区域在通光区域以透过率相互对等补偿的方式重叠。该光强调节机构，在实际应用过程中，通过驱动组件驱动滤光片组的两个滤光片执行第一运动行程，在该第一运动行程下，两个滤光片的全通区域在通光区域重叠，届时光强调节机构能够实现光束的无衰减通过通光区域；通过驱动组件驱动滤光片组的两个滤光片执行第二运动行程，在该第二运动行程下，两个滤光片的透过率渐变区域在通光区域以透过率相互对等补偿的方式重叠，从而能够调节光束以不同衰减程度的方式穿过通光区域，从而实现光强的调节；另外由于两个滤光片的透过率渐变区域在通光区域以透过率相互对等补偿的方式重叠，因此，能够使得透过通光区域的光束强度分布更加均匀，也即使得光强调节机构的滤光片对应通光孔径内的透过率更加均匀。
19、另外，本技术还提供了一种照明装置，所述照明装置用于向待测物发射照明光束，在所述照明光束的光线传播路径上设置有上述任一方案所描述的光强调节机构。由于上述光强调节机构具有上述技术效果，因此具有该光强调节机构的照明装置也应具有相应的技术效果，在此不再赘述。
20、可选地，所述光线传播路径包括汇聚段，所述光强调节机构设置于所述汇聚段；
21、和/或，所述光线传播路径包括发散段，所述光强调节机构设置于所述发散段。
22、可选地，所述照明装置包括沿所述光线传播路径依次布置的光源、耦合管镜、波段滤光组件、照明管镜、分光镜和物镜，所述光强调节机构设置于所述波段滤光组件与所述照明管镜之间的光路上。
23、此外，本技术还提供了一种光学检测系统，包括照明装置和成像装置，所述照明装置为上述任一方案所描述的照明装置，用于调整照明光束并发射至待测物；所述成像装置用于接收所述照明光束在所述待测物上形成的检测光束，并基于所述检测光束对所述待测物进行取像。由于前述照明装置具有前述技术效果，因此具有该照明装置的光学检测系统也应具有相应的技术效果，在此不再赘述。
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1.一种光强调节机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光强调节机构，其特征在于，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)均为圆形转轮滤光片，所述驱动组件(12)用于驱动所述圆形转轮滤光片转动，所述全通区域(111a)及所述透过率渐变区域(111b)为所述圆形转轮滤光片上沿圆周方向依次布置的扇形区域，且所述透过率渐变区域(111b)的透过率沿所在的扇形区域的圆弧方向渐变。
3.如权利要求2所述的光强调节机构，其特征在于，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)为部分重叠且二者呈中心对称布置，所述通光区域(112)的中心位于两个所述滤光片(111)的对称中心；
4.如权利要求3所述的光强调节机构，其特征在于，所述透过率渐变区域(111b)为设置于所述滤光片(111)上的渐变镀膜，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)呈中心对称配置为两个所述滤光片(111)上的渐变镀膜呈中心对称。
5.如权利要求2所述的光强调节机构，其特征在于，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)为完全重叠且二者的转轴重合，所述通
6.如权利要求2所述的光强调节机构，其特征在于，所述透过率渐变区域(111b)的光密度曲线配置为：OD＝(θ-90)*ODmax/270，T＝10^(-OD)；
7.如权利要求1所述的光强调节机构，其特征在于，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)为两个部分区域重叠的线性渐变滤光片，所述驱动组件(12)用于驱动两个所述线性渐变滤光片相向运动，所述全通区域(111a)及所述透过率渐变区域(111b)在所述线性渐变滤光片的线性方向依次布置，所述透过率渐变区域(111b)的透过率沿所在区域的线性方向渐变，且两个所述线性渐变滤光片所配置的透过率渐变区域(111b)的透过率渐变方向相反。
8.如权利要求1所述的光强调节机构，其特征在于，所述驱动组件(12)包括第一驱动机构(121)和第二驱动机构(122)，所述第一驱动机构(121)和所述第二驱动机构(122)分别用于驱动所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)运动。
9.如权利要求8所述的光强调节机构，其特征在于，所述第一驱动机构(121)与所述第二驱动机构(122)采用相互独立的驱动电机；或，所述第一驱动机构(121)和所述第二驱动机构(122)共用一个驱动电机。
10.一种照明装置，其特征在于，所述照明装置用于向待测物发射照明光束，在所述照明光束的光线传播路径上设置有如权利要求1-9中任一项所述光强调节机构(1)。
11.如权利要求10所述的照明装置，其特征在于，所述光线传播路径包括汇聚段，所述光强调节机构(1)设置于所述汇聚段；
12.如权利要求10所述的照明装置，其特征在于，所述照明装置包括沿所述光线传播路径依次布置的光源(2)、耦合管镜(3)、波段滤光组件(4)、照明管镜(5)、分光镜(6)和物镜(7)，所述光强调节机构(1)设置于所述波段滤光组件(4)与所述照明管镜(5)之间的光路上。
13.一种光学检测系统，包括照明装置和成像装置，其特征在于，所述照明装置为如权利要求10-12中任一项所述的照明装置，用于调整照明光束并发射至待测物；
...【技术特征摘要】
1.一种光强调节机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光强调节机构，其特征在于，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)均为圆形转轮滤光片，所述驱动组件(12)用于驱动所述圆形转轮滤光片转动，所述全通区域(111a)及所述透过率渐变区域(111b)为所述圆形转轮滤光片上沿圆周方向依次布置的扇形区域，且所述透过率渐变区域(111b)的透过率沿所在的扇形区域的圆弧方向渐变。
3.如权利要求2所述的光强调节机构，其特征在于，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)为部分重叠且二者呈中心对称布置，所述通光区域(112)的中心位于两个所述滤光片(111)的对称中心；
4.如权利要求3所述的光强调节机构，其特征在于，所述透过率渐变区域(111b)为设置于所述滤光片(111)上的渐变镀膜，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)呈中心对称配置为两个所述滤光片(111)上的渐变镀膜呈中心对称。
5.如权利要求2所述的光强调节机构，其特征在于，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)为完全重叠且二者的转轴重合，所述通光区域(112)的中心偏离所述滤光片(111)的转轴预设距离，
6.如权利要求2所述的光强调节机构，其特征在于，所述透过率渐变区域(111b)的光密度曲线配置为：od＝(θ-90)*odmax/270，t＝10^(-od)；
7.如权利要求1所述的光强调节机构，其特征在于，所述滤光片组(11)的两个所述滤光片(111)为两个部分区域重叠的线性渐变滤光片，所述驱动组件(12)用于驱动两个所述线性渐变滤光片相向运动，所述全通...
【专利技术属性】
技术研发人员：何明扬，韦康，胡诗铭，张鹏斌，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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