一种晶圆烘烤设备制造技术

本发明专利技术涉及晶圆烘烤技术领域，具体而言，涉及一种晶圆烘烤设备，本发明专利技术解决的问题：晶圆烘烤设备的排风不均匀导致加热盘表面温度不均匀的问题，本发明专利技术实施例提供一种烘烤设备，烘烤设备包括：烘烤装置；排风装置，排风装置与烘烤装置本体可拆卸连接，排风装置与烘烤装置之间形成容纳空间，排风装置设有多层导风装置，每层导风装置上均设有导风口，相邻层数的导风口错位设置，容纳空间与各层的导风口之间形成出气通道；进气口，进气口设于排风装置远离烘烤装置一侧，并与容纳空间连通，气体沿第一方向进入容纳空间，气体经烘烤装置加热后产生废气；其中，出气通道沿第二方向设置，用于排出废气，第一方向与第二方向相反。第一方向与第二方向相反。第一方向与第二方向相反。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆烘烤设备


[0001]本专利技术涉及晶圆烘烤
，具体而言，涉及一种晶圆烘烤设备。

技术介绍

[0002]在生产晶圆的过程中，时常需要将晶圆置入烘烤装置，通过烤盘的适当温度来将晶圆上的光刻胶体等等，进行物理性或是化学性的转变，目前，普通使用的晶圆烘烤设备的排风不均匀，其会导致加热盘表面温度不均匀，影响晶圆烘烤品质。

技术实现思路

[0003]本专利技术解决的问题：晶圆烘烤设备的排风不均匀导致加热盘表面温度不均匀的问题。
[0004]为解决上述问题，本专利技术实施例提供一种烘烤设备，烘烤设备包括：烘烤装置；排风装置，排风装置与烘烤装置本体可拆卸连接，排风装置与烘烤装置之间形成容纳空间，排风装置设有多层导风装置，每层导风装置上均设有导风口，相邻层数的导风口错位设置，容纳空间与各层的导风口之间形成出气通道；进气口，进气口设于排风装置远离烘烤装置一侧，并与容纳空间连通，气体沿第一方向进入容纳空间，气体经烘烤装置加热后产生废气；其中，出气通道沿第二方向设置，用于排出废气，第一方向与第二方向相反。
[0005]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过进气口的进气和排风装置的排气，实现容纳空间内部的散热，保证烘烤装置能够顺利的烘烤晶圆，且方便拿取，多层导风口的错位设置，让容纳空间内的气体进入第一层导风装置的各个导风口的气流量一致，改善了容纳空间内废气排出的均匀性，让烘烤装置表面的温度均匀，改善晶圆的烘烤效果，避免晶圆边缘翘起，造成损坏。
[0006]在本专利技术的一个实施例中，每层导风装置的导风口的个数沿第二方向逐渐减少，上一层的每个导风口位于下一层的相邻两个导风口之间。
[0007]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：导风口错位的设置让废气经过一层导风口后需要在该层导风装置内流动，上一层的每个导风口位于下一层的相邻两个导风口之间的设置，让下一层每一个导风口通上来的废气所需要移动的距离缩短，保证气流流动均匀。
[0008]在本专利技术的一个实施例中，上一层的每个导风口距离下一层的相邻两个导风口之间的距离一致。
[0009]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：上一层的每个导风口距离下一层的相邻两个导风口之间的距离一致的设定让进入两个相邻的导风口的废气量相同，确保同一层导风装置上每一个导风口经过的气流量相等。
[0010]在本专利技术的一个实施例中，烘烤设备还包括：顶盖，顶盖与排风装置配合连接，进气口设于顶盖；出气口，出气口设于顶盖，出气口与出气通道连通，废气通过出气口从出气通道内排出。
[0011]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：出气口与进气口配合，实现容纳空间内部的换气，通过控制冷空气进入量和废气的排放量，达到容纳空间内部气流流动方向均匀。
[0012]在本专利技术的一个实施例中，导风装置包括：第一连接件，第一连接件与烘烤装置配合连接；第一导风组件，第一导风组件与第一连接件配合连接，第一导风组件的内侧设有第一凸棱，第一凸棱上设有第一导风口；其中，第一导风口与容纳空间连通。
[0013]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一连接件的设置增加了导风装置与烘烤装置之间的距离，以便形成容纳空间，第一导风组件与第一连接件固定连接的设置，便于排风装置整体的拆装与移动，第一导风口的设置让容纳空间内产生的废气能够向出风口方向移动。
[0014]在本专利技术的一个实施例中，烘烤装置包括：底座，底座的外侧设有安装槽，第一连接件与安装槽可拆卸连接；支撑柱，支撑柱与底座连接，支撑柱上设有支撑板；加热盘，加热盘置于支撑板上。
[0015]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：安装槽的设置让第一连接件的安装更加稳定，支撑柱的设置让加热盘的高度在第二方向上得到了提高，也让支撑板更加稳定，提升了烘烤装置的稳定性。
[0016]在本专利技术的一个实施例中，导风装置还包括：第二导风组件，第二导风组件与第一导风组件连接，第二导风组件的外侧设有第二凸棱，第二凸棱朝第一导风组件的方向延伸，第二凸棱上设有第二导风口；其中，第一凸棱与第二凸棱之间具有第一间隙，便于废气从容纳空间通过第一导风口进入第一间隙，第二凸棱有多个，每个第二凸棱上均设有第二导风口，相邻的第二凸棱之间具有第二间隙。
[0017]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第二导风口的设置让容纳空间内产生的废气向出风口方向移动时需要更多次的进行气流量均分，让气流量变得更加均衡。
[0018]在本专利技术的一个实施例中，排风装置还包括：顶盖靠近加热盘一侧设有过气槽，过气槽与第二导风口连通，出气口设于过气槽内。
[0019]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：过气槽的设置让顶盖上具有了能够让气流流动的通道，便于废气排出。
[0020]在本专利技术的一个实施例中，排风装置还包括：进气隔板，进气隔板与第二导风组件连接，并位于第二导风组件远离第一导风组件一侧，进气隔板上设有多个通孔，加热盘与进气隔板之间形成容纳空间。
[0021]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一进气隔板与第二进气隔板的设置，让冷空气在进入容纳空间时尽可能的均匀，保证在开始烘烤时，加热盘表面的温度处于均匀的状态，工作过程中通过排风装置让加热盘表面的温度维持均匀，提升烘烤设备烘烤晶圆的效果。
附图说明
[0022]图1为本专利技术烘烤设备整体结构示意图；
[0023]图2为本专利技术顶盖整体结构示意图；
[0024]图3为本专利技术第一连接件与第一导风组件配合连接示意图；
[0025]图4为本专利技术第二导风组件整体结构示意图；
[0026]图5为图4的俯视图；
[0027]图6为图4的仰视图；
[0028]图7为本专利技术进气隔板与导风组件配合连接示意图；
[0029]图8为本专利技术进气隔板具体结构示意图；
[0030]图9为本专利技术第一导风组件俯视图；
[0031]图10为本专利技术烘烤装置具体结构示意图；
[0032]图11为本专利技术烘烤设备截面图。
[0033]附图标记说明：
[0034]100
‑
烘烤设备；110
‑
顶盖；111
‑
出气口；112
‑
进气口；113
‑
过气槽；114
‑
盖板；120
‑
容纳空间；210
‑
第一连接件；220
‑
第一导风组件；221
‑
第一凸棱；222
‑
第一导风口；230
‑
第二导风组件；231
‑
第二凸棱；232
‑
第二导风口；240
‑
进气隔板；241
‑
第一进气隔板；242
‑
第二进气隔板；300
‑
烘烤装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备包括：烘烤装置；排风装置，所述排风装置与所述烘烤装置本体可拆卸连接，所述排风装置与所述烘烤装置之间形成容纳空间，所述排风装置设有多层导风装置，每层导风装置上均设有导风口，相邻层数的所述导风口错位设置，所述容纳空间与各层的所述导风口之间形成出气通道；进气口，所述进气口设于所述排风装置远离所述烘烤装置一侧，并与所述容纳空间连通，气体沿第一方向进入所述容纳空间，所述气体经所述烘烤装置加热后产生废气；其中，所述出气通道沿第二方向设置，用于排出所述废气，所述第一方向与所述第二方向相反。2.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，每层导风装置的所述导风口的个数沿所述第二方向逐渐减少，上一层的每个所述导风口位于下一层的相邻两个所述导风口之间。3.根据权利要求2所述的烘烤设备，其特征在于，上一层的每个所述导风口距离下一层的相邻两个所述导风口之间的距离一致。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备还包括：顶盖，所述顶盖与所述排风装置配合连接，所述进气口设于所述顶盖；出气口，所述出气口设于所述顶盖，所述出气口与所述出气通道连通，所述废气通过所述出气口从所述出气通道内排出。5.根据权利要求4所述的烘烤设备，其特征在于，所述导风装置包括：第一连接件，所述第一连接件与所述烘烤装置配合连接；第一导风组件，所述第一导风组件与所述第一连接件配合连...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈理，刘长伟，陈胜华，马锦程，马金亮，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：