本发明专利技术涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。本发明专利技术通过衬底保持部将衬底以水平姿势保持。在处理位置，通过下表面刷子将由衬底保持部保持的衬底的下表面洗净。在与由衬底保持部保持的衬底于上下方向重叠且位于处理位置的下方的待机位置，通过刷子洗净部将下表面刷子洗净。下表面刷子通过下表面刷子升降驱动部在处理位置与待机位置之间升降。在处理位置与待机位置之间升降。在处理位置与待机位置之间升降。
【技术实现步骤摘要】
衬底洗净装置及衬底洗净方法
[0001]本专利技术涉及一种将衬底的下表面洗净的衬底洗净装置及衬底洗净方法。
技术介绍
[0002]为了对用于液晶显示装置或有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置等的FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用衬底、半导体衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、磁光盘用衬底、光罩用衬底、陶瓷衬底或太阳能电池用衬底等各种衬底进行各种处理，使用衬底处理装置。为了将衬底洗净，使用衬底洗净装置。
[0003]例如，专利第5904169号公报所记载的衬底洗净装置具备保持晶圆的背面周缘部的2个吸附垫、保持晶圆的背面中央部的旋转夹盘、及洗净晶圆的背面的刷子。2个吸附垫保持晶圆且横向移动。于所述状态下，用刷子洗净晶圆的背面中央部。之后，旋转夹盘从吸附垫接收晶圆，旋转夹盘保持晶圆的背面中央部且旋转。于所述状态下，用刷子洗净晶圆的背面周缘部。
技术实现思路
[0004]于衬底洗净装置中，随着重复衬底的洗净，刷子的清净度逐渐降低。如果刷子的清净度降低，那么无法有效率地将衬底洗净。因此，谋求将刷子的清净度维持固定以上。然而，不降低产能地维持刷子的清净度并不容易。
[0005]本专利技术的目的在于提供一种能不降低产能地维持刷子的清净度的衬底洗净装置及衬底洗净方法。
[0006](1)根据本专利技术的一方面的衬底洗净装置具备：衬底保持部，将衬底以水平姿势保持；下表面刷子，在处理位置，将由衬底保持部保持的衬底的下表面洗净；刷子洗净部，在与由衬底保持部保持的衬底于上下方向重叠且位于处理位置的下方的待机位置，将下表面刷子洗净；及下表面刷子升降驱动部，使下表面刷子于处理位置与待机位置之间升降。
[0007]于所述衬底洗净装置中，由于下表面刷子的待机位置与由衬底保持部保持的衬底于上下方向重叠，所以即便在下表面刷子相对大型的情况下，占据面积也几乎不增加。因此，能通过使用较大型的下表面刷子，以短时间将衬底的下表面洗净。因此，即便在设置了将下表面刷子洗净的步骤的情况下，产能也几乎不会变化。由此，能不降低产能地维持下表面刷子的清净度。
[0008](2)还可为，衬底洗净装置还具备将由衬底保持部保持的衬底的上表面洗净的上表面洗净部，下表面刷子升降驱动部以在通过上表面洗净部将衬底的上表面洗净的期间，执行衬底的下表面的洗净及下表面刷子的洗净的方式，使下表面刷子于处理位置与待机位置之间升降。所述情况下，由于在通过上表面洗净部将衬底的上表面洗净的期间执行衬底的下表面的洗净及下表面刷子的洗净，所以能不降低产能地维持下表面刷子的清净度。
[0009](3)还可为，下表面刷子升降驱动部以执行多次衬底的下表面的洗净及下表面刷子的洗净的方式，使下表面刷子于处理位置与待机位置之间反复升降。所述情况下，能以短
时间将下表面刷子清净化。
[0010](4)还可为，刷子洗净部包含对下表面刷子的中央部喷出洗净液的第1液体喷嘴、与对下表面刷子的端部喷出洗净液的第2液体喷嘴。根据所述构成，即便于下表面刷子相对大型的情况下，也能容易地将下表面刷子整体洗净。
[0011](5)还可为，刷子洗净部包含贮存浸渍下表面刷子的洗净液的洗净槽。根据所述构成，即便于下表面刷子相对大型的情况下，也能容易地将下表面刷子整体洗净。另外，能以短时间将下表面刷子清净化。
[0012](6)还可为，衬底保持部及下表面刷子各自具有圆形的外形，且下表面刷子的直径比衬底保持部的直径大。所述情况下，能将下表面刷子相对大型化。
[0013](7)还可为，衬底及下表面刷子各自具有圆形的外形，且下表面刷子的直径比衬底的直径的1/3大。所述情况下，能将下表面刷子相对大型化。
[0014](8)根据本专利技术的另一方面的衬底洗净方法包含：通过衬底保持部将衬底以水平姿势保持；在处理位置，通过下表面刷子将由衬底保持部保持的衬底的下表面洗净；在与由衬底保持部保持的衬底于上下方向重叠且位于处理位置的下方的待机位置，通过刷子洗净部将下表面刷子洗净；及使下表面刷子于处理位置与待机位置之间升降。
[0015]根据所述衬底洗净方法，由于下表面刷子的待机位置与由衬底保持部保持的衬底于上下方向重叠，所以即便在下表面刷子相对大型的情况下，占据面积也几乎不会增加。因此，能通过使用相对大型的下表面刷子，以短时间将衬底的下表面洗净。因此，即便在设置了将下表面刷子洗净的步骤的情况下，产能也几乎不会变化。由此，能不降低产能地维持下表面刷子的清净度。
[0016](9)还可为，衬底洗净方法还包含通过上表面洗净部将由衬底保持部保持的衬底的上表面洗净，且衬底的下表面的洗净及下表面刷子的洗净于通过上表面洗净部将衬底的上表面洗净的期间执行。所述情况下，由于在通过上表面洗净部将衬底的上表面洗净的期间执行衬底的下表面的洗净及下表面刷子的洗净，所以能不降低产能地维持下表面刷子的清净度。
[0017](10)还可为，以执行多次衬底的下表面的洗净及下表面刷子的洗净的方式反复使下表面刷子于处理位置与待机位置之间升降。所述情况下，能以短时间将下表面刷子清净化。
[0018](11)还可为，通过刷子洗净部将下表面刷子洗净包含通过第1液体喷嘴对下表面刷子的中央部喷出洗净液、与通过第2液体喷嘴对下表面刷子的端部喷出洗净液。根据所述构成，即便于下表面刷子相对大型的情况下，也能容易地将下表面刷子整体洗净。
[0019](12)还可为，通过刷子洗净部将下表面刷子洗净包含使下表面刷子浸渍于贮存在洗净槽的洗净液中。根据所述构成，即便于下表面刷子相对大型的情况下，也能容易地将下表面刷子整体洗净。另外，能以短时间将下表面刷子清净化。
[0020](13)还可为，衬底保持部及下表面刷子各自具有圆形的外形，且下表面刷子的直径比衬底保持部的直径大。所述情况下，能将下表面刷子相对大型化。
[0021](14)还可为，衬底及下表面刷子各自具有圆形的外形，且下表面刷子的直径比衬底的直径的1/3大。所述情况下，能将下表面刷子相对大型化。
附图说明
[0022]图1为本专利技术的第1实施方式的衬底洗净装置的示意性俯视图。
[0023]图2为表示图1的衬底洗净装置的内部构成的外观立体图。
[0024]图3为表示衬底洗净装置的控制系统的构成的框图。
[0025]图4为用来说明图1的衬底洗净装置的概略动作的示意图。
[0026]图5为用来说明图1的衬底洗净装置的概略动作的示意图。
[0027]图6为用来说明图1的衬底洗净装置的概略动作的示意图。
[0028]图7为用来说明图1的衬底洗净装置的概略动作的示意图。
[0029]图8为用来说明图1的衬底洗净装置的概略动作的示意图。
[0030]图9为用来说明图1的衬底洗净装置的概略动作的示意图。
[0031]图10为用来说明图1的衬底洗净装置的概略动作的示意图。
[0032]图11为用来说明图1的衬底洗净装置的概略动作本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种衬底洗净装置，具备：衬底保持部，将衬底以水平姿势保持；下表面刷子，在处理位置，将由所述衬底保持部保持的所述衬底的下表面洗净；刷子洗净部，在与由所述衬底保持部保持的所述衬底于上下方向重叠且位于所述处理位置的下方的待机位置，将所述下表面刷子洗净；及下表面刷子升降驱动部，使所述下表面刷子于所述处理位置与所述待机位置之间升降。2.根据权利要求1所述的衬底洗净装置，还具备：上表面洗净部，将由所述衬底保持部保持的所述衬底的上表面洗净；且所述下表面刷子升降驱动部以于由所述上表面洗净部将所述衬底的上表面洗净的期间，执行所述衬底的下表面的洗净及所述下表面刷子的洗净的方式，使所述下表面刷子于所述处理位置与所述待机位置之间升降。3.根据权利要求I或2所述的衬底洗净装置，其中所述下表面刷子升降驱动部以执行多次所述衬底的下表面的洗净及所述下表面刷子的洗净的方式，使所述下表面刷子于所述处理位置与所述待机位置之间反复升降。4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中所述刷子洗净部包含对所述下表面刷子的中央部喷出洗净液的第1液体喷嘴、与对所述下表面刷子的端部喷出洗净液的第2液体喷嘴。5.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中所述刷子洗净部包含贮存浸渍所述下表面刷子的洗净液的洗净槽。6.根据权利要求1到5中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中所述衬底保持部及所述下表面刷子各自具有圆形的外形；所述下表面刷子的直径比所述衬底保持部的直径大。7.根据权利要求1到5中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中所述衬底及所述下表面刷子各自具有圆形的外形；所述下表面刷子的直径比所述衬底的直...
【专利技术属性】
技术研发人员：中村一树，石井淳一，筱原智之，髙桥拓马，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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