本实用新型专利技术涉及晶圆片集料技术，用于解决晶圆片在夹持堆叠时容易划伤晶圆片同时晶圆片堆叠时容易偏移倒塌的问题，具体为一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置；本实用新型专利技术中通过吸盘对晶圆片进行吸取，避免了夹持装置损坏晶圆片的可能，从而保证晶圆片在生产中的良品率，同时双模组保证了晶圆片拿取过程中的运动稳定性，避免晶圆片与装置型材发生碰撞，通过在晶圆片的托板上开设多组限位插孔，使得限位杆可以插接在不同位置的两组相对称的限位插孔中，通过限位杆对堆叠的晶圆片辅助定位，使得晶圆片组堆叠整齐，防止偏移倒塌，而越靠近中线的限位插孔在间距越小，使得限位杆能够适配不同尺寸的晶圆片，提高了装置在使用时的普适性。普适性。普适性。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置
[0001]本技术涉及晶圆片集料技术，具体为一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置。
技术介绍
[0002]目前半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，自动化设备对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果，现有的晶圆片在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片贴在陶瓷盘上经加工后需要进行铲片处理，铲片后的晶圆片经收集后进入下一工位；现有技术中铲片后的晶圆片都是通过手动送入对应的收集机构内存放，不仅费时费力，而且容易造成晶圆片表面损坏。
[0003]目前，虽然出现部分能够自动收纳晶圆片的机构，但是大多数机构都是通过夹持的方式对晶圆片进行堆叠，容易划伤晶圆片，同时晶圆片在堆叠时容易发生偏移倒塌，从而损坏晶圆片，导致生产过程中的经济损失，降低了企业的效益。
[0004]针对上述技术问题，本申请提出一种解决方案。
技术实现思路
[0005]本技术中在对晶圆片进行堆叠时，通过吸盘对晶圆片进行吸取，避免了夹持装置损坏晶圆片的可能，从而保证晶圆片在生产中的良品率，提高经济效益，同时双模组保证了晶圆片拿取过程中的运动稳定性与灵活性，避免晶圆片与装置型材发生碰撞，通过在晶圆片的托板上开设多组限位插孔，使得限位杆可以插接在不同位置的两组相对称的限位插孔中，通过限位杆对堆叠的晶圆片辅助定位，使得晶圆片组堆叠整齐，防止偏移倒塌，而越靠近中线的限位插孔在间距越小，使得限位杆能够适配不同尺寸的晶圆片，提高了装置在使用时的普适性，解决晶圆片在夹持堆叠时容易划伤晶圆片同时晶圆片堆叠时容易偏移倒塌的问题，而提出一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置。
[0006]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0007]一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，包括晶圆生产装置，所述晶圆生产装置上表面固定安装有龙门架，所述龙门架呈U字形机构，所述龙门架侧壁固定安装有底板，所述底板侧壁固定安装有盖板，所述盖板外壁滑动连接有连接板；
[0008]所述连接板外壁固定安装有型材管，所述型材管顶端固定安装有间接马达罩，所述间接马达罩远离型材管的一端固定安装有驱动马达，所述型材管与驱动马达位于间接马达罩内部的部分通过皮带相连接，所述型材管内部滑动连接有连接杆，所述连接杆底端固定连接有连接箱，所述连接箱底部固定安装有吸盘头。
[0009]作为本技术的一种优选实施方式，所述晶圆生产装置上表面还固定安装有硅片托板，所述硅片托板位于龙门架一侧的支腿处，所述硅片托板上方插接有限位杆，所述硅片托板上表面堆放有硅片。
[0010]作为本技术的一种优选实施方式，所述连接板远离型材管的一侧固定安装有滑动板，所述连接板与滑动板套接在盖板外壁，所述滑动板外壁固定安装有滑块与滑动座，两组所述滑块分布于滑动板上下两侧，所述滑动座位于两组滑块之间。
[0011]作为本技术的一种优选实施方式，所述底板一端固定安装有驱动电机，所述底板内部转动连接有丝杆，所述驱动电机输出轴与底板内部的丝杆相连接。
[0012]作为本技术的一种优选实施方式，所述滑动座外壁与底板两端均固定安装有防撞垫块，所述防撞垫块呈锥台形结构。
[0013]作为本技术的一种优选实施方式，所述硅片托板上表面呈箭头状开设有多组限位插孔，每组所述限位插孔均能与限位杆相连接。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1、本技术中，在对晶圆片进行堆叠时，通过吸盘对晶圆片进行吸取，避免了夹持装置损坏晶圆片的可能，从而保证晶圆片在生产中的良品率，提高经济效益，同时双模组保证了晶圆片拿取过程中的运动稳定性与灵活性，避免晶圆片与装置型材发生碰撞。
[0016]2、本技术中，通过在晶圆片的托板上开设多组限位插孔，使得限位杆可以插接在不同位置的两组相对称的限位插孔中，通过限位杆对堆叠的晶圆片辅助定位，使得晶圆片组堆叠整齐，防止偏移倒塌，而越靠近中线的限位插孔在间距越小，使得限位杆能够适配不同尺寸的晶圆片，提高了装置在使用时的普适性。
附图说明
[0017]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0018]图1为本技术的结构主视示意图；
[0019]图2为本技术的连接箱结构示意图；
[0020]图3为本技术的丝杆结构示意图；
[0021]图4为本技术的滑动座结构示意图；
[0022]图5为本技术的硅片托板结构示意图。
[0023]图中：1、晶圆生产装置；2、龙门架；3、盖板；4、底板；5、型材管；6、间接马达罩；7、驱动马达；8、硅片托板；9、限位杆；10、吸盘头；11、连接箱；12、丝杆；13、驱动电机；14、连接板；15、滑动板；16、滑块；17、滑动座；18、防撞垫块；19、限位插孔；20、连接杆。
具体实施方式
[0024]下面将结合实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例一：
[0026]目前，虽然出现部分能够自动收纳晶圆片的机构，但是大多数机构都是通过夹持的方式对晶圆片进行堆叠，容易划伤晶圆片，而人工堆叠效率低下，同时也容易划伤晶圆片，导致生产过程中的经济损失，降低了企业的效益。
[0027]请参阅图1－图4所示，一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，包括晶圆生产
装置1，晶圆生产装置1上表面固定安装有龙门架2，龙门架2呈U字形机构，横跨与晶圆生产装置1两端，其中龙门架2下方设置有晶圆片烘干装置与晶圆片堆叠托板，龙门架2侧壁固定安装有底板4，底板4横截面呈U型结构，底板4侧壁固定安装有盖板3，盖板3与底板4侧边留有间隙，盖板3外壁滑动连接有连接板14，连接板14远离型材管5的一侧固定安装有滑动板15，连接板14与滑动板15套接在盖板3外壁，使得连接板14与滑动板15能够在盖板3外壁滑动，滑动板15外壁固定安装有滑块16与滑动座17，两组滑块16分布于滑动板15上下两侧，滑动座17位于两组滑块16之间，滑动座17外壁与底板4两端均固定安装有防撞垫块18，防撞垫块18呈锥台形结构，防止滑动座17与底板4两端发生碰撞，底板4一端固定安装有驱动电机13，底板4内部转动连接有丝杆12，驱动电机13输出轴与底板4内部的丝杆12相连接，通过丝杆12带动滑动座17移动，滑块16与底板4内部的滑轨相连接，以增加滑动座17移动时的稳定性；
[0028]连接板14外壁固定安装有型材管5，型材管5起到支撑连接的作用，型材管5顶端固定安装有间接马达罩6，间接马达罩6远离型材管5的一端固定安装有驱动马达7，型材管5与驱动马达7本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，包括晶圆生产装置(1)，其特征在于，所述晶圆生产装置(1)上表面固定安装有龙门架(2)，所述龙门架(2)呈U字形机构，所述龙门架(2)侧壁固定安装有底板(4)，所述底板(4)侧壁固定安装有盖板(3)，所述盖板(3)外壁滑动连接有连接板(14)；所述连接板(14)外壁固定安装有型材管(5)，所述型材管(5)顶端固定安装有间接马达罩(6)，所述间接马达罩(6)远离型材管(5)的一端固定安装有驱动马达(7)，所述型材管(5)与驱动马达(7)位于间接马达罩(6)内部的部分通过皮带相连接，所述型材管(5)内部滑动连接有连接杆(20)，所述连接杆(20)底端固定连接有连接箱(11)，所述连接箱(11)底部固定安装有吸盘头(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，其特征在于，所述晶圆生产装置(1)上表面还固定安装有硅片托板(8)，所述硅片托板(8)位于龙门架(2)一侧的支腿处，所述硅片托板(8)上方插接有限位杆(9)，所述硅片托板(8)上表面堆放有硅片。3.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹金余，
申请(专利权)人：常州顺钿精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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