【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆片加工领域，尤其涉及一种多线切割机主辊的集成式加工装置。
技术介绍
1、光伏产业对硅片的需求日益增大，为保证高质量、高效率和低损耗地对硅棒进行切割，多线切割技术在切片加工中得到了广泛的应用。多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法，数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式；
2、多线切割机主辊是一根高精度主轴，主辊是多线切割机主轴系统的关键零件，要求具有足够的刚性、强度以及较轻的重量来实现高速旋转运动，它的精度对切割材料的精度起着至关重要的作用。现有技术中，通常采用车刀加工主辊上的线槽，且自动化程度较低，人为操作失误较多，加工精度难以保证，槽型也不工整，形状和精度都比较差，目前多线切割机主辊加工时的基准难以统一，也就难以保证图纸要求的各项形位精度。
3、因此，亟需一种多线切割机主辊的集成式加工装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种多线切割机主辊的集成式加工装置。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种多线切割机主辊的集成式加工装置，包括机身，所述机身内壁设置有线槽加工机构，所述线槽加工机构包括安装于机身顶部的第一导轨组，所述第一导轨组活动连接有第一位移板与第二位移板，所述第一位移板顶部固接有夹持卡盘，所述第二
4、同轴度调节组件，所述同轴度调节组件设置在线槽加工机构上，所述线槽加工机构内设置有用于检测加工精度的激光测量传感器。
5、优选地，所述刀架一侧上安装有用于磨削工件的磨片，所述磨片通过刀架驱动旋转磨削工件。
6、优选地，所述夹持卡盘卡接与工件的一侧，所述夹持卡盘通过伺服电机驱动带动工件转动。
7、优选地，所述机身一侧壁固定连接有数字控制面板，所述数字控制面板用于控制线槽加工机构的运动。
8、优选地，所述激光测量传感器通过距离监测用于控制液压伸缩器的进给量，所述激光测量传感器通过检测工件轮廓用于检测工件的加工精度。
9、优选地，所述激光测量传感器探测口安装有用于格挡碎屑的挡板。
10、优选地，所述同轴度调节组件包括尾顶杆，所述尾顶杆侧壁上安装有相同的四个第一距离探测器，所述相同的四个第一距离探测器分别两两呈90°，所述尾顶杆的一侧安装有相同的四个液压调节杆，所述相同的四个液压调节杆分别两两呈90°，所述夹持卡盘上固定安装有的探测杆，所述探测杆上安装有相同的四个第二距离探测器，所述相同的四个第二距离探测器分别两两呈90°。
11、优选地，所述尾顶杆与探测杆位于同一水平直线。
12、优选地，所述相同的四个第一距离探测器与相同的四个液压调节杆一一对应分布，所述相同的四个第一距离探测器与相同的四个第二距离探测器一一对应分布。
13、优选地，所述尾顶杆上安装有用于转动的滚珠轴承。
14、本专利技术的有益效果：
15、1、通过线槽加工机构模块化，夹持卡盘与尾顶架可纵向运动，刀架可纵向与横向运动，当工件长度较小时可通过工件移动磨削，当工件长度较大时，可通过刀架移动磨削加工，提高了整机的工作效率与加工精度，提升了设备适应范围。
16、2、通过同轴度调节组件的自动调整工件的同轴度，由距离探测器实时探测工件内壁两侧的位置，并由液压调节杆调节工件两端的位置，达到处于水平直线，自动调节工件同轴度，确保加工精度，提高工作效率，减少人为失误。
17、3、通过激光测量传感器检测工件轮廓用于检测工件的加工精度，通过激光测量传感器的精确定位，大大的提高了价格效率。
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1.一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述刀架（28）一侧上安装有用于磨削工件的磨片，所述磨片通过刀架（28）驱动旋转磨削工件。
3.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述夹持卡盘（24）卡接与工件的一侧，所述夹持卡盘（24）通过伺服电机驱动带动工件转动。
4.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述机身（1）一侧壁固定连接有数字控制面板，所述数字控制面板用于控制线槽加工机构（2）的运动。
5.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述激光测量传感器（4）通过距离监测用于控制液压伸缩器（210）的进给量，所述激光测量传感器（4）通过检测工件轮廓用于检测工件的加工精度。
6.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述激光测量传感器（4）探测口安装有用于格挡碎屑的挡板。
7.根据权利要求1所述的一
8.根据权利要求6所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述尾顶杆（31）与探测杆（33）位于同一水平直线。
9.根据权利要求6所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述相同的四个第一距离探测器（35）与相同的四个液压调节杆（32）一一对应分布，所述相同的四个第一距离探测器（35）与相同的四个第二距离探测器（34）一一对应分布。
10.根据权利要求6所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述尾顶杆（31）上安装有用于转动的滚珠轴承。
...【技术特征摘要】
1.一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述刀架（28）一侧上安装有用于磨削工件的磨片，所述磨片通过刀架（28）驱动旋转磨削工件。
3.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述夹持卡盘（24）卡接与工件的一侧，所述夹持卡盘（24）通过伺服电机驱动带动工件转动。
4.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述机身（1）一侧壁固定连接有数字控制面板，所述数字控制面板用于控制线槽加工机构（2）的运动。
5.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述激光测量传感器（4）通过距离监测用于控制液压伸缩器（210）的进给量，所述激光测量传感器（4）通过检测工件轮廓用于检测工件的加工精度。
6.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述激光测量传感器（4）探测口安装有用于格挡碎屑的挡板。
7.根据权利要求1所述的一种多线...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永平，曹金余，
申请(专利权)人：常州顺钿精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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