光罩传送装置制造方法及图纸

本申请提供了一种光罩传送装置，所述光罩传送装置包括：环形支架；光罩定位装置，位于所述环形支架中；其中所述光罩定位装置包括与所述环形支架可拆卸安装的第一定位组件和第二定位组件，且所述第一定位组件和第二定位组件上下对接并形成所述光罩的存放空间。本申请的光罩传送装置能够在光罩传送的过程中减少污染物的引入，进而降低光罩的报废率。进而降低光罩的报废率。进而降低光罩的报废率。

【技术实现步骤摘要】
光罩传送装置


[0001]本申请涉及光罩
，特别涉及一种光罩传送装置。

技术介绍

[0002]在现有的光罩制程中，光罩经常会被放到运输载体中，进行制程设备间的运输及加载/卸载(load/unload)。但各个制程设备的光罩在load/unload的朝向会有不同，有些制程设备要求光罩的正面朝上，有些制程设备要求光罩的正面朝下。因此，经常需要将光罩从运输载体中拿出进行翻面动作，而这种操作会在光罩上引入污染物，增大光罩报废的风险。

技术实现思路

[0003]本申请要解决的技术问题是提供一种光罩传送装置，能够在光罩传送的过程中减少污染物的引入，进而降低光罩的报废率。
[0004]为解决上述技术问题，本申请提供了一种光罩传送装置，包括：环形支架；光罩定位装置，位于所述环形支架中；其中所述光罩定位装置包括与所述环形支架可拆卸安装的第一定位组件和第二定位组件，且所述第一定位组件和第二定位组件上下对接并形成所述光罩的存放空间。
[0005]在一些实施例中，所述第一定位组件和第二定位组件包括：保护罩，所述保护罩与所述环形支架可拆卸地安装；固定支架，与所述保护罩连接，且包括凹进部；其中所述第一定位组件和第二定位组件的凹进部对接，形成所述光罩的存放空间。
[0006]在一些实施例中，所述保护罩和所述环形支架为卡扣连接。
[0007]在一些实施例中，所述保护罩包括连接的罩座和罩身，其中所述罩座安装有锁杆机构，所述环形支架上设有与所述锁杆机构匹配的凹槽，且所述锁杆机构和所述凹槽相互配合实现卡扣连接。
[0008]在一些实施例中，所述锁杆机构包括安装在所述罩座上的凸台齿轮以及与所述凸台齿轮啮合的锁杆，通过所述凸台齿轮的旋转带动所述锁杆进出所述凹槽。
[0009]在一些实施例中，所述罩身设有供所述锁杆贯穿的孔，且所述孔与所述凹槽的位置对应。
[0010]在一些实施例中，所述罩座还设有定位块，且所述定位块上设有供所述锁杆移动的导向槽。
[0011]在一些实施例中，所述罩座上设有解锁孔，用于控制所述凸台齿轮的旋转。
[0012]在一些实施例中，所述第一定位组件和所述第二定位组件的结构对称。
[0013]在一些实施例中，所述环形支架的上、下两面设有定位孔。
[0014]与现有技术相比，本申请技术方案的光罩传送装置至少具有如下有益效果：
[0015]在环形支架中设置光罩定位装置，且光罩定位装置第一定位组件和第二定位组件构成，其中第一定位组件和第二定位组件通过上下对接形成光罩的存放空间，第一定位组件和第二定位组件的位置可以上下对调，即第一定位组件和第二定位组件均可以作为底座
使用，因此需要对光罩进行翻面时，只需将光罩定位装置进行翻面即可，因此避免了现有技术中经常需要将光罩从运输载体中拿出进行翻面的动作，大幅度降低光罩报废的风险。
[0016]第一定位组件和第二定位组件的固定支架包括凹进部，当第一定位组件和第二定位组件上下对接时，使得上下的凹进部也相应对接，可以形成光罩的存放空间。
[0017]第一定位组件和第二定位组件的保护罩与环形支架通过卡扣连接的方式实现可拆卸地安装，使得放置光罩时可以打开保护罩，在运送光罩的过程中可以保证保护罩为关闭状态。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为现有的光罩传送装置的结构示意图；
[0020]图2为本申请实施例的光罩传送装置的结构示意图；
[0021]图3为本申请实施例的环形支架的俯视图；
[0022]图4为本申请实施例的第二定位组件的剖视图；
[0023]图5为本申请实施例的第二定位组件的俯视图；
[0024]图6为本申请实施例的保护罩的结构示意图；
[0025]图7为本申请实施例的凸台齿轮和锁杆的俯视图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0027]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含的包括一个或者更多个该特征。而且，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
[0028]参考图1现有的光罩传送装置1包括保护罩11、光罩支架12以及底座13，所述光罩支架12上设有放置光罩的凹进部，使用时将光罩14放置在所述凹进部上将所述保护罩11盖在所述底座13上后可以将光罩14运送至指定位置。需要对所述光罩14进行翻面时，需要打开所述保护罩11，将所述光罩14进行翻面，然后再关上所述保护罩11。其中在打开所述保护
罩11并对所述光罩14 进行翻面的过程中会引入污染物，增大光罩报废的风险。
[0029]基于此，本申请技术方案通过设置环形支架，并在环形支架中设置光罩定位装置，所述光罩定位装置包括第一定位组件和第二定位组件，将第一定位组件和第二定位组件进行上下对接可以形成光罩的存放空间，其中第一定位组件和第二定位组件均可作为底座，因此要对光罩进行翻面时，只需将第一定位组件和第二定位组件上下颠倒即可，无需将光罩取出进行翻面。
[0030]参考图2，本申请实施例的光罩传送装置10包括：环形支架100和光罩定位装置200。所述环形支架100的上下两面设有定位孔110，所述定位孔110用于将所述光罩传送装置10固定在其他设备上。所述环形支架100的俯视图可参见图3所示。
[0031]所述光罩定位装置200位于所述环形支架100中，并包括第一定位组件210 和第二定位组件220，所述第一定位组件210和第二定位组件220分别与所述环形支架100进行可拆卸地安装，使所述第一定位组件210和第二定位组件220 能够相对于所述环形支架100打开或闭合。所述第一定位组件210和第二定位组件220通过上下对接形成光罩300的存放空间。所述第一定位组件210和第二定位组件220的位置可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩传送装置，其特征在于，包括：环形支架；光罩定位装置，位于所述环形支架中；其中所述光罩定位装置包括与所述环形支架可拆卸安装的第一定位组件和第二定位组件，且所述第一定位组件和第二定位组件上下对接并形成所述光罩的存放空间。2.根据权利要求1所述的光罩传送装置，其特征在于，所述第一定位组件和第二定位组件包括：保护罩，所述保护罩与所述环形支架可拆卸地安装；固定支架，与所述保护罩连接，且包括凹进部；其中所述第一定位组件和第二定位组件的凹进部对接，形成所述光罩的存放空间。3.根据权利要求2所述的光罩传送装置，其特征在于，所述保护罩和所述环形支架为卡扣连接。4.根据权利要求3所述的光罩传送装置，其特征在于，所述保护罩包括连接的罩座和罩身，其中所述罩座安装有锁杆机构，所述环形支架上设有与所述锁杆机构匹配的凹槽，且所述锁杆机...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌文君，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：