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本申请提供了一种光罩传送装置，所述光罩传送装置包括：环形支架；光罩定位装置，位于所述环形支架中；其中所述光罩定位装置包括与所述环形支架可拆卸安装的第一定位组件和第二定位组件，且所述第一定位组件和第二定位组件上下对接并形成所述光罩的存放空间。...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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