本发明专利技术公开了一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置，旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于晶圆承载座；旋涂废液收集杯内设置有清洗液喷座，清洗液喷座设置在旋涂废液收集杯清洗辅助工具下端；旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：清洗底座，设于晶圆承载座并覆盖晶圆承载座的顶面；入液腔体，围绕清洗底座设置，设有朝向清洗液喷座的入液开口，以及位于入液开口远离清洗底座一侧的集液槽，清洗液从入液开口进入由入液腔体的内壁阻挡后进入集液槽；多个出液口，连通集液槽并朝向旋涂废液收集杯的内壁，至少包括两种高度不同的出液口。本发明专利技术有效解决旋涂工艺中多余的光刻胶和显影液飞溅至旋涂废液收集杯内，旋涂废液收集杯清洗效率低的问题。低的问题。低的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置
[0001]本专利技术涉及半导体行业晶圆领域，尤其涉及一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制造硅半导体电路所用的硅晶片，其是制造芯片的基本材料。随着半导体行业的晶圆制造技术的发展，芯片的电路结构趋于复杂，其加工的难度也逐渐增加。
[0003]在晶圆的旋涂工艺中，晶圆放在承载座上旋转，光刻胶和显影液不可避免的会溅到上旋涂废液收集杯的表面。当承载座的电机转速由于不同工艺要求而改变时，多余的光刻胶或显影液在旋涂工艺过程中飞溅出一个扇形的圆周，造成顶部的旋涂废液收集杯脏污，如果清理不及时则会造成晶圆的污染问题。
[0004]目前，直接手动清洗旋涂废液收集杯内壁的方式效率低，操作困难；而拆卸旋涂废液收集杯单独清洗，又需要花费拆装的时间，因此清洗不方便。
技术实现思路
[0005]因此，本专利技术实施例提供一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置，有效解决旋涂工艺中多余的光刻胶和显影液飞溅至旋涂废液收集杯内，旋涂废液收集杯清洗效率低的问题。
[0006]一方面，本专利技术实施例提供一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于晶圆承载座；所述旋涂废液收集杯内设置有清洗液喷座，所述清洗液喷座环绕设置在旋涂废液收集杯清洗辅助工具下端；所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：清洗底座，所述清洗底座设于所述晶圆承载座并覆盖所述晶圆承载座的顶面；入液腔体，所述入液腔体围绕清洗底座设置，所述入液腔体设有朝向所述清洗液喷座的入液开口，以及位于所述入液开口远离所述清洗底座一侧的集液槽，其中，清洗液从所述入液开口进入，由所述入液腔体的内壁阻挡后进入所述集液槽；多个出液口，所述出液口连通所述集液槽，并朝向所述旋涂废液收集杯的内壁，其中，多个所述出液口中至少包括两种高度不同的所述出液口。
[0007]与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：清洗液喷座喷出的清洗液受到所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具阻挡后，不会从所述旋涂废液收集杯顶部喷出，而是可以导入所述集液槽中，实现缓冲，清洗液在集液槽中沿圆周方向铺开，再从所述出液口喷出，因此清洗液不会以集中的水柱状态接触所述旋涂废液收集杯，使清洗液充分利用；清洗液从所述集液槽中沿多个不同高度的所述出液口喷出，从而清洗所述旋涂废液收集杯内壁不同高度的位置，在所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具与所述晶圆承载座固定后，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具随所述晶圆承载座旋转，从而实现所述旋涂废液收集杯的充分清洗，提高了清洗效率；在清洗前所述旋涂废液收集杯无需拆卸，因此清洗过程更加方便。
[0008]进一步的，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具还包括：导流件，所述导流件围绕所述清洗底座设置，所述导流件和所述清洗底座之间形成所述入液开口，所述集液槽设于所述导流件远离所述清洗液喷座的一侧。
[0009]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述导流件用于设置所述集液槽以容纳清洗液，并引导清洗液从所述出液口喷出。
[0010]进一步的，所述导流件包括集液板和连接件，所述集液槽开设于所述集液板，所述连接件设于所述集液板远离所述入液开口的一侧；其中，出液口开设于所述连接件。
[0011]采用该技术方案后所达到的技术效果：从所述入液开口进入的清洗液被所述入液腔体的内壁阻挡后可以进入所述集液槽，得到初步缓冲，集液槽内的清洗液从出液口喷出，得到进一步限流和缓冲，清洗液经过多个出液口后能够均匀清洗所述旋涂废液收集杯。
[0012]进一步的，所述集液槽底面为斜面，所述集液槽底面靠近所述入液开口的一侧，高于所述集液槽底面远离所述入液开口的一侧。
[0013]采用该技术方案后所达到的技术效果：清洗液进入所述集液槽后能够沿集液槽的方向从靠近所述入液开口的一侧流动至远离所述入液开口的一侧，便于清洗液从出液口喷出。
[0014]进一步的，所述连接件周向设置多个出液单元，每个出液单元由至少两种不同高度和/或不同倾斜程度的所述出液口组成。
[0015]采用该技术方案后所达到的技术效果：每个所述出液单元能够对所述旋涂废液收集杯的一侧进行清洗，通过设置不同高度的出液口，可以对所述旋涂废液收集杯对应一侧的不同高度位置进行清洗，而设置不同倾斜程度的出液口，还可以对所述旋涂废液收集杯的任意位置进行不同方向的冲洗，因此有效提高了所述旋涂废液收集杯的清洗效果。
[0016]进一步的，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：连接盘，所述连接盘覆盖于所述导流件和所述清洗底座的顶部；并且，所述连接盘与所述导流件可拆卸连接，和/或，所述连接盘与所述清洗底座可拆卸连接。
[0017]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述连接盘与所述导流件可拆卸连接，便于单独加工所述连接盘与所述导流件，因此所述集液槽和所述出液口的加工更加方便，同时，分离所述连接盘与所述导流件，便于所述集液槽和所述出液口的清洗；所述连接盘与所述清洗底座可拆卸连接，便于单独加工所述连接盘与所述清洗底座。
[0018]另一方面，本专利技术实施例还提供一种旋涂装置，包括上述任一实施例提供的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述旋涂装置还包括：旋涂废液收集杯，所述旋涂废液收集杯内具有匀胶腔体；晶圆承载座，所述晶圆承载座设于所述匀胶腔体，用于承载所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具；清洗液喷座，设于所述晶圆承载座周侧，所述清洗液喷座朝向所述入液开口。
[0019]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述旋涂装置将所述晶圆承载座上的晶圆替换为所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述晶圆承载座通过真空吸附或静电吸附的方式固定所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具，此时开启所述清洗液喷座，清洗液经过所述集液槽实现缓冲并沿圆周方向铺开，经过多个不同高度的所述出液口实现对所述旋涂废液收集杯内壁的均匀清洗。
[0020]进一步的，所述旋涂废液收集杯还包括：第一开口，所述第一开口能够容纳所述旋
涂废液收集杯清洗辅助工具；第一挡液件，所述第一挡液件周向设于所述第一开口，并朝向所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具。
[0021]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一开口便于装入旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具阻挡清洗液从所述第一开口喷出；所述第一挡液件用于阻挡所述旋涂废液收集杯内壁的清洗液反溅至所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具上方，导致所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具上方被污染。
[0022]进一步的，所述旋涂装置还包括：第二壳体，所述第二壳体位于所述旋涂废液收集杯内，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于所述旋涂废液收集杯和所述第二壳体之间，所述第二壳体包括：第二开口和围绕所述第二开口的第二挡液件，所述第二挡液件朝向所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具。
[0023]采用该技术方案后所达到的技术效果：清洗液经过所述入液腔体缓冲后，一部分从出液口喷出用于清洗所述旋涂废液收集杯的内表面，另一部分流动至第二壳体的上表面，用于 清洗所述第二壳体的上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于晶圆承载座；所述旋涂废液收集杯内设置有清洗液喷座，所述清洗液喷座环绕设置在旋涂废液收集杯清洗辅助工具下端；所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：清洗底座，所述清洗底座设于所述晶圆承载座并覆盖所述晶圆承载座的顶面；入液腔体，所述入液腔体围绕所述清洗底座设置，所述入液腔体设有朝向所述清洗液喷座的入液开口，以及位于所述入液开口远离所述清洗底座一侧的集液槽，其中，清洗液从所述入液开口进入，由所述入液腔体的内壁阻挡后进入所述集液槽；多个出液口，所述出液口连通所述集液槽，并朝向所述旋涂废液收集杯的内壁，其中，多个所述出液口中至少包括两种高度不同的所述出液口。2.根据权利要求1所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具还包括：导流件，所述导流件围绕所述清洗底座设置，所述导流件和所述清洗底座之间形成所述入液开口，所述集液槽设于所述导流件远离所述清洗液喷座的一侧。3.根据权利要求2所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述导流件包括集液板和连接件，所述集液槽开设于所述集液板，所述连接件设于所述集液板远离所述入液开口的一侧；其中，所述出液口开设于所述连接件。4.根据权利要求3所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述集液槽底面为斜面，所述集液槽底面靠近所述入液开口的一侧，高于所述集液槽底面远离所述入液开口的一侧。5.根据权利要求3所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述连接件周向设置多个出液单元，每个出液单元由至少两种不同高度和/或不同倾斜程度的所述出...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿克涛，姜岩松，刘长伟，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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