一种OLED蚀刻设备用密封结构制造技术

本实用新型专利技术的一种OLED蚀刻设备用密封结构，属于显示技术领域，包括溶液框架，所述溶液框架上表面卡接有玻璃框架；本实用新型专利技术的有益效果是通过打开第一设备门，将准备蚀刻的物料放入操作框架内，关闭第一设备门，减少操作框架内部与外部接触时间，降低了操作框架内部的污染物，人员通过穿过操作孔，戴上操作孔内的橡胶手套，可对物料进行人工操作，通过门把手，方便人员打开第二设备门，可将物料放入蚀刻框架中，关闭第二设备门，蚀刻框架进入溶液框架中，对溶液进蚀刻，将真空阀门与真空泵连接，通过真空泵工作，可排出蚀刻时产生的气体，保证了溶液框架与玻璃框架内的真空环境，防止污染物对蚀刻产生影响，提高了的蚀刻效果。提高了的蚀刻效果。提高了的蚀刻效果。

【技术实现步骤摘要】
一种OLED蚀刻设备用密封结构


[0001]本技术涉及显示
，具体讲是一种OLED蚀刻设备用密封结构。

技术介绍

[0002]1978年，自从双层、高效率的有机电致发光器件被报道以来，由于与CRT,LCD,PDP以及无机发光二极管相比，OLED具有许多的优点，如高亮度、高效率、宽视角、自主发光、全固态、超薄超轻、制作工艺简单、较快的响应速度、可实现全彩化显示以及良好的机械加工性能，可以制成形状不同的显示器等，在过去的三十年里，引起了人们广泛的关注和研究，所以OLED被誉为继LCD以及PDP之后的最理想、最具潜力的下一代平板显示技术,OLED蚀刻设备在蚀刻时具备很高的密闭性，防止外部杂质对蚀刻造成影响，同时时刻产生的气体也会对蚀刻造成影响，导致OLED蚀刻效果差，浪费率高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种OLED蚀刻设备用密封结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本技术的技术方案是：包括溶液框架，所述溶液框架上表面卡接有玻璃框架，且玻璃框架下表面设置有第一密封垫，所述第一密封垫设置在所述溶液框架与所述玻璃框架之间，所述玻璃框架右侧外壁设置有真空阀门，所述玻璃框架外壁开设有门洞，且门洞内壁铰接有第二设备门，所述门洞内壁设置有设备台，且第二设备门设置在所述设备台左侧表面，所述设备台左侧表面设置有第二密封垫，所述第二设备门左侧外壁设置有门把手，所述溶液框架外壁设置有操作框架，且操作框架外壁开设有操作孔，所述操作孔内壁设置有橡胶手套，所述操作框架外壁开设有设备孔，且操作框架开设的设备孔内壁卡接有第一设备门。
[0005]进一步的，所述溶液框架外壁设置有加热层。
[0006]进一步的，所述加热层外壁设置有隔热层
[0007]进一步的，所述隔热层外壁设置有保护层。
[0008]进一步的，所述玻璃框架右侧外壁设置有气压表。
[0009]进一步的，所述门把手外壁设置有橡胶层。
[0010]本技术通过改进在此提供一种OLED蚀刻设备用密封结构，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
[0011]其一：本技术通过打开第一设备门，将准备蚀刻的物料放入操作框架内，关闭第一设备门，减少操作框架内部与外部接触时间，降低了操作框架内部的污染物，人员通过穿过操作孔，戴上操作孔内的橡胶手套，可对物料进行人工操作，通过门把手，方便人员打开第二设备门，可将物料放入蚀刻框架中，关闭第二设备门，蚀刻框架进入溶液框架中，对溶液进蚀刻，将真空阀门与真空泵连接，通过真空泵工作，可排出蚀刻时产生的气体，保证了溶液框架与玻璃框架内的真空环境，防止污染物对蚀刻产生影响，提高了的蚀刻效果。
[0012]其二：本技术通过加热层，使蚀刻溶液升温，加快物料蚀刻速度，减少侧蚀和突沿，提高蚀刻系数。
附图说明
[0013]下面结合附图和实施例对本技术作进一步解释:
[0014]图1为本技术的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术的溶液框架正剖视结构示意图；
[0016]图3为本技术的第二设备门正视结构示意图；
[0017]图4为本技术的第二设备门侧剖视结构示意图；
[0018]附图标记说明：1、玻璃框架；2、溶液框架；3、真空阀门；4、气压表；5、操作框架；6、操作孔；7、第一设备门；8、加热层；9、隔热层；10、保护层；11、橡胶层；12、设备台；13、第一密封垫；14、第二密封垫；15、第二设备门；16、门把手。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图1至图4对本技术进行详细说明，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]本技术通过改进在此提供一种OLED蚀刻设备用密封结构，如图1
‑
图4所示，包括包括溶液框架2，溶液框架2上表面卡接有玻璃框架1，且玻璃框架1下表面设置有第一密封垫13，第一密封垫13设置在溶液框架2与玻璃框架1之间，玻璃框架1右侧外壁设置有真空阀门3，玻璃框架1外壁开设有门洞，且门洞内壁铰接有第二设备门15，门洞内壁设置有设备台12，且第二设备门15设置在设备台12左侧表面，设备台12左侧表面设置有第二密封垫14，第二设备门15左侧外壁设置有门把手16，溶液框架2外壁设置有操作框架5，且操作框架5外壁开设有操作孔6，操作孔6内壁设置有橡胶手套，操作框架5外壁开设有设备孔，且操作框架5开设的设备孔内壁卡接有第一设备门7，通过打开第一设备门7，将准备蚀刻的物料放入操作框架5内，关闭第一设备门7，减少操作框架5内部与外部接触时间，降低了操作框架5内部的污染物，人员通过穿过操作孔6，戴上操作孔6内的橡胶手套，可对物料进行人工操作，通过门把手16，方便人员打开第二设备门15，可将物料放入蚀刻框架中，关闭第二设备门15，蚀刻框架进入溶液框架2中，对溶液进蚀刻，将真空阀门3与真空泵连接，通过真空泵工作，可排出蚀刻时产生的气体，保证了溶液框架2与玻璃框架1内的真空环境，防止污染物对蚀刻产生影响，提高了的蚀刻效果，通过第一密封垫13，为溶液框架2与玻璃框架1之间提供密封性，通过第二密封垫14，提高了第二设备门15与玻璃框架1之间的密闭性。
[0021]溶液框架2外壁设置有加热层8，通过加热层8，使蚀刻溶液升温，加快物料蚀刻速度，减少侧蚀和突沿，提高蚀刻系数。
[0022]加热层8外壁设置有隔热层9，通过隔热层9，可以防止加热层8高温对外部的影响，提高了设备的安全性。
[0023]隔热层9外壁设置有保护层10，通过保护层10，提高了设备的防护能力。
[0024]玻璃框架1右侧外壁设置有气压表4，通过观察气压表4，可对溶液框架2与玻璃框
架1之间的气压进行观察，保证溶液框架2与玻璃框架1之间的真空性。
[0025]门把手16外壁设置有橡胶层11，通过橡胶层11，提高了门把手16的摩擦力，防止人员打滑。
[0026]工作原理：首先通过打开第一设备门7，将准备蚀刻的物料放入操作框架5内，关闭第一设备门7，减少操作框架5内部与外部接触时间，降低了操作框架5内部的污染物，人员通过穿过操作孔6，戴上操作孔6内的橡胶手套，可对物料进行人工操作，通过门把手16，方便人员打开第二设备门15，可将物料放入蚀刻框架中，关闭第二设备门15，蚀刻框架进入溶液框架2中，对溶液进蚀刻，将真空阀门3与真空泵连接，通过真空泵工作，可排出蚀刻时产生的气体，保证了溶液框架2与玻璃框架1内的真空环境，防止污染物对蚀刻产生影响，提高了的蚀刻效果，通过第一密封垫13，为溶液框架2与玻璃框架1之间提供密封性，通过第二密封垫14，提高了第二设备门15与玻璃框架1之间的密闭性，然后通过加热层8，使蚀刻溶液升温，加快本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OLED蚀刻设备用密封结构，其特征在于：包括溶液框架(2)，所述溶液框架(2)上表面卡接有玻璃框架(1)，且玻璃框架(1)下表面设置有第一密封垫(13)，所述第一密封垫(13)设置在所述溶液框架(2)与所述玻璃框架(1)之间，所述玻璃框架(1)右侧外壁设置有真空阀门(3)，所述玻璃框架(1)外壁开设有门洞，且门洞内壁铰接有第二设备门(15)，所述门洞内壁设置有设备台(12)，且第二设备门(15)设置在所述设备台(12)左侧表面，所述设备台(12)左侧表面设置有第二密封垫(14)，所述第二设备门(15)左侧外壁设置有门把手(16)，所述溶液框架(2)外壁设置有操作框架(5)，且操作框架(5)外壁开设有操作孔(6)，所述操作孔(6)内壁设置有橡胶手套...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔璨，何海军，
申请(专利权)人：上海熹贾精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：